內容簡介
《材料研究與應用著作:低溫等離子體錶麵強化技術》從實際應用角度闡述低溫等離子體在錶麵強化領域的應用。首先對低溫等離子體的本質、不同等離子體源的特性進行瞭探討,然後介紹等離子體輔助物理氣相沉積、等離子體增強化學氣相沉積、等離子體輔助熱處理、等離子體浸沒離子注入與沉積、電弧噴塗、等離子噴塗以及堆焊等各種低溫等離子體錶麵強化技術的原理、設備和應用。
《材料研究與應用著作:低溫等離子體錶麵強化技術》可作為從事材料錶麵強化工作的技術人員、高等學校相關專業研究生和高年級本科生的參考書。
內頁插圖
目錄
第1章 緒論
1.1 機械零部件的失效
1.2 磨損失效
1.3 腐蝕失效
1.4 低溫等離子體錶麵強化
參考文獻
第2章 等離子體與等離子體源
2.1 等離子體的概念和特點
2.1.1 等離子體
2.1.2 等離子體産生的方式
2.1.3 等離子體的溫度
2.1.4 等離子體的特點
2.2 冷等離子體
2.2.1 直流輝光放電等離子體
2.2.2 脈衝輝光放電等離子體
2.2.3 磁控等離子體
2.2.4 電容耦閤射頻等離子體
2.2.5 電感耦閤射頻等離子體
2.2.6 微波等離子體
2.3 熱等離子體
2.3.1 電弧
2.3.2 真空電弧等離子體
2.3.3 等離子弧
2.3.4 等離子弧的壓縮作用
2.3.5 等離子弧的分類
2.3.6 等離子弧的特點
2.4 等離子體源
2.4.1 熱陰極等離子體源
2.4.2 電容耦閤射頻等離子體源
2.4.3 電感耦閤射頻等離子體(ICP)源
2.4.4 螺鏇波等離子體源
2.4.5 微波等離子體源
2.4.6 空心陰極等離子體源
2.4.7 金屬蒸氣真空電弧(MEVVA)等離子體源
2.4.8 磁控管
參考文獻
第3章 等離子體輔助物理氣相沉積
3.1 物理氣相沉積的概念和分類
3.2 濺射沉積
3.2.1 濺射沉積的原理
3.2.2 直流濺射沉積
3.2.3 射頻濺射沉積
3.2.4 磁控濺射沉積
3.3 真空電弧沉積
3.3.1 真空電弧沉積的原理及其優缺點
3.3.2 真空電弧沉積的宏觀顆粒汙染
3.3.3 陽極電弧沉積
3.4 離子鍍
參考文獻
第4章 等離子體增強化學氣相沉積
4.1 等離子體增強化學氣相沉積的原理
4.1.1 等離子體對CVD過程的影響
4.1.2 PECVD沉積薄膜的形成過程
4.2 等離子體增強化學氣相沉積的特點
4.2.1 PECVD的優點
4.2.2 PECVD的缺點
4.3 等離子體增強化學氣相沉積技術
4.3.1 PECVD技術分類
4.3.2 PECVD工藝裝置
4.3.3 PECVD工藝參數
4.3.4 直流等離子體增強化學氣相沉積技術(DC-PECVD)
4.3.5 脈衝直流等離子體增強化學氣相沉積(脈衝DC-PECVD)
4.3.6 射頻等離子體增強化學氣相沉積(RF-PECVD)
4.3.7 微波等離子體增強化學氣相沉積(MW-PECVD)
4.3.8 電子迴鏇共振等離子體增強化學氣相沉積(ECR-PECVD)
參考文獻
第5章 等離子化學熱處理
5.1 等離子滲氮
5.1.1 等離子滲氮原理
5.1.2 等離子滲氮鋼的組織
5.1.3 等離子滲氮工藝參數
5.1.4 等離子滲氮設備
5.1.5 等離子滲氮優缺點
5.1.6 等離子滲氮新進展
5.2 等離子滲碳
5.2.1 等離子滲碳原理
5.2.2 等離子滲碳組織
5.2.3 等離子滲碳工藝參數
5.2.4 等離子滲碳設備
5.2.5 等離子滲碳優缺點
5.3 等離子滲氮碳
5.3.1 等離子滲氮碳原理
5.3.2 等離子滲氮碳組織
5.3.3 等離子滲氮碳工藝參數
5.4 等離子滲金屬
5.4.1 雙層輝光等離子滲金屬原理
5.4.2 雙層輝光等離子滲金屬組織
5.4.3 雙層輝光等離子滲金屬工藝參數
5.4.4 雙層輝光等離子滲金屬特點
5.4.5 雙層輝光等離子滲金屬設備
5.4.6 雙層輝光等離子滲金屬技術的發展
參考文獻
第6章 等離子體浸沒離子注入與沉積
6.1 等離子體浸沒離子注人原理
6.1.1 等離子體浸沒離子注入原理
6.1.2 動態鞘層擴展模型
6.1.3 PIII的優缺點
6.2 PIII設備
6.2.1 真空係統
6.2.2 等離子體源
6.2.3 高壓係統
6.2.4 供氣係統
6.3 等離子體浸沒離子注入與沉積
6.4 金屬等離子體浸沒離子注入與沉積
6.5 PIIID在耐磨防腐方麵的應用
參考文獻
第7章 電弧噴塗
7.1 電弧噴塗的原理和特點
7.1.1 電弧噴塗的原理
7.1.2 電弧噴塗的特點
7.2 電弧噴塗設備
7.2.1 電弧噴塗主體設備
7.2.2 電弧噴塗輔助設備
7.3 電弧噴塗工藝
7.3.1 噴塗前處理
7.3.2 主要噴塗工藝參數
7.3.3 塗層的後處理
7.4 電弧噴塗材料
7.4.1 塗層材料的分類及對塗層材料的基本要求
7.4.2 電弧噴塗用金屬絲材
參考文獻
第8章 等離子噴塗
8.1 等離子噴塗的原理和特點
8.1.1 等離子噴塗的原理
8.1.2 等離子噴塗的工作氣體
8.1.3 等離子噴塗的特點
8.1.4 等離子噴塗的分類
8.2 等離子噴塗設備
8.2.1 電源
8.2.2 控製係統
8.2.3 等離子噴塗槍
8.2.4 送粉器
8.2.5 水冷係統
8.3 等離子噴塗工藝參數
8.4 等離子噴塗塗層的形成和結構
8.5 等離子噴塗塗層的性能及其檢測
8.5.1 塗層外觀
8.5.2 塗層結閤強度
8.5.3 塗層孔隙率
8.5.4 塗層厚度
8.5.5 塗層硬度
8.5.6 塗層耐蝕性
8.5.7 塗層耐磨性
8.5.8 熱震性能
8.6 等離子噴塗材料
8.6.1 對等離子噴塗材料的要求
8.6.2 金屬粉末
8.6.3 陶瓷粉末
8.6.4 其他粉末
8.7 其他等離子噴塗方法
8.7.1 超音速等離子噴塗
8.7.2 微束等離子噴塗
8.7.3 低壓等離子噴塗
8.7.4 感應等離子噴塗
8.7.5 液相等離子噴塗
8.7.6 反應等離子噴塗
8.7.7 三陰極軸嚮送粉等離子噴塗
8.8 等離子噴塗的危害及安全防護
8.8.1 等離子噴塗的危險及危害因素
8.8.2 等離子噴塗的安全防護
參考文獻
第9章 堆焊
9.1 手工電弧堆焊
9.2 埋弧堆焊
9.3 熔化極氣體保護堆焊
9.4 鎢極氬弧堆焊
9.5 自保護藥芯焊絲明弧堆焊
9.6 冷金屬過渡(CMT)堆焊
9.7 等離子粉末堆焊
9.8 等離子熔化注射和氬弧熔敷注射
參考文獻
術語索引
前言/序言
等離子體常被人們稱為物質的第四態,這說明它從本質上和我們常見的物質是相同的,但在形態上和物質的氣態、液態、固態又有非常大的差彆。通過對這些差異的有效利用,人們可以獲得一些通過物質常規狀態無法獲得的有利性能。其中之一,就是把等離子體用在材料錶麵性能的改變上,特彆是金屬材料錶麵性能的強化上。通過使用等離子體作為錶麵強化的處理環境或處理材料,可以在材料錶麵獲得更高的耐磨性、耐蝕性、耐熱性等多種所需的性.能。
按照等離子體所處的溫度範圍,將工業中應用的等離子體分為高溫等離子體和低溫等離子體。用於材料錶麵強化的屬於低溫等離子體。低溫等離子體具有化學活性高,能夠和電磁場産生相互作用的特點,在錶麵強化領域有著得天獨厚的優勢。采用等離子體進行錶麵強化處理,可以降低處理溫度、加快處理速度、提高處理質量、增強強化效果、降低處理成本、延長零部件使用壽命。
本書從實際應用角度闡述低溫等離子體在錶麵強化領域的應用。首先對低溫等離子體的本質、不同等離子體源的特性進行探討,然後介紹等離子體輔助物理氣相沉積、等離子體增強化學氣相沉積、等離子化學熱處理、等離子體浸沒離子注入與沉積、電弧噴塗、等離子噴塗以及堆焊等各種低溫等離子體錶麵強化技術的原理、設備和應用。
本書打破瞭傳統學科領域劃分的薄膜製備技術、塗層製備技術、熔敷堆焊技術之間的界限,從低溫等離子體的共性及本質齣發,對不同的低溫等離子體錶麵強化技術的原理、特性和局限性進行瞭探討,揭示齣不同錶麵強化技術的共同本質,為跨越傳統界限的低溫等離子體錶麵強化技術找到瞭理論基礎,將對新的低溫等離子體錶麵強化技術的誕生起到促進作用。
本書由瀋陽理工大學劉愛國、孫煥煥、孟凡玲撰寫,其中第1、2、3、6、7、9章由劉愛國編寫,第4、5章由孫煥煥編寫,第8章由孟凡玲編寫。
本書可作為從事材料錶麵強化工作的技術人員和高等學校相關專業研究生和高年級本科生的參考書。
由於時間倉促,作者水平有限,書中疏漏在所難免,請同行專傢不吝賜教。
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