MEMS材料与工艺手册

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RezaGhodssi 著
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店铺: 文轩网旗舰店
出版社: 东南大学出版社
ISBN:9787564140533
商品编码:1211272850
出版时间:2014-03-01

具体描述

作  者:Reza Ghodssi 著作 黄庆安 等 译者 定  价:198 出 版 社:东南大学出版社 出版日期:2014年03月01日 页  数:966 装  帧:平装 ISBN:9787564140533 1 MEMS设计流程2 半导体和介质材料的添加工艺
3 金属材料的添加工艺
4 聚合物材料的添加工艺
5 压电材料的添加工艺:压电MEMS
6 形状记忆合金材料与工艺
7 微机械加工中的干法刻蚀
8 MEMS湿法腐蚀工艺和过程
9 MEMS光刻和微加工技术
10 MEMS中的掺杂工艺
11 圆片键合
12 MEMS封装材料
13 表面处理及平坦化
14 MEMS工艺集成
……

内容简介

微机电系统(mems)技术是一个快速发展的前沿技术领域,使用的材料种类多、工艺方法复杂,需要系统地归纳、分析与整理,以便于读者查阅。《mems材料与工艺手册》由利萨·格迪斯著,内容包括mems材料,mems加工工艺和制造工艺,mems工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。本手册适合相关专业高年级本科生、研究生及工程科研技术人员阅读和参考。

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