基本信息
书名:纳米级CMOS超大规模集成电路可制造性设计
定价:58.00元
作者:(美)Sandip Kundu等著
出版社:科学出版社
出版日期:2014-04-01
ISBN:9787030400345
字数:
页码:
版次:1
装帧:平装
开本:16开
商品重量:0.4kg
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内容提要
《纳米级CMOS超大规模集成电路可制造性设计》的内容包括:CMOSVLSI电路设计的技术趋势;半导体制造技术;光刻技术;工艺和器件的扰动和缺陷分析与建模;面向可制造性的物理设计技术;测量、制造缺陷和缺陷提取;缺陷影响的建模和合格率提高技术;物
目录
作者介绍
文摘
序言
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