齣版社： 上海科學技術齣版社
ISBN：9787547809808
版次：1
商品編碼：11003031
包裝：平裝
齣版時間：2012-07-01
頁數：252
具體描述
內容簡介
《MOS集成電路工藝與製造技術》全麵介紹瞭MOS集成電路工藝和製造技術。內容包括：矽晶圓襯底，氧化，擴散，離子注入，外延，化學汽相澱積，光刻，付蝕與刻蝕等，PNOS，NMOS，CMOS，LV HV兼容CMOS等製造工藝。前言/序言
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