微机电系统(MEMS)制造技术

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苑伟政,乔大勇 著
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出版社: 科学出版社
ISBN:9787030399748
版次:31
商品编码:12136119
包装:精装
丛书名: 纳米制造的基础研究学术著作丛书
开本:32开
出版时间:2017-07-01
页数:256
正文语种:中文

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