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店铺： 旷氏文豪图书专营店

出版社： 电子工业出版社

ISBN：9787121243363

商品编码：1460636531

芯片制造:半导体工艺制程实用教程(第六版)英文版+中文版 2本

9787121243783 9787121243363

芯片制造——半导体工艺制程实用教程 第六版

基本信息

• 作者：   
• 译者： 
• 丛书名：
• 出版社：
• ISBN：9787121243363
• 出版日期：2015 年1月
• 开本：16
• 页码：388
• 版次：1-1
• 所属分类：
  定价：59.00

编辑推荐

本书可作为高等院校电子信息等相关**和职业技术培训的教材，也可作为半导体**人员的参考书。

内容简介

本书是一本介绍半导体集成电路和器件制造技术的**书籍， 在半导体领域享有很高的声誉。本书的讨论范围包括半导体工艺的每个阶段： 从原材料的制备到封装、 测试和成品运输， 以及传统的和现代的工艺。全书提供了详细的插图和实例， 每章包含回顾总结和习题， 并辅以丰富的术语表。第六版修订了微芯片制造领域的新进展， 讨论了用于图形化、 掺杂和薄膜步骤的先进工艺和尖端技术， 使隐含在复杂的现代半导体制造材料与工艺中的物理、 化学和电子的基础信息更易理解。本书的主要特点是避开了复杂的数学问题介绍工艺技术内容， 并加入了半导体业界的新成果， 可以使读者了解工艺技术发展的趋势。 

目录

第1章 半导体产业
1.1 引言
1.2 一个产业的诞生
1.3 固态时代
1.4 集成电路
1.5 工艺和产品趋势
1.6 半导体产业的构成
1.7 生产阶段
1.8 微芯片制造过程发展的
60年
1.9 纳米时代
习题
参考文献
第2章 半导体材料和化学品的特性
2.1 引言
2.2 原子结构
2.3 元素周期表
2.4 电传导
2.5 绝缘体和电容器
2.6 本征半导体
2.7 掺杂半导体
2.8 电子和空穴传导
2.9 半导体生产材料
2.10 半导体化合物
2.11 锗化硅
2.12 衬底工程
2.13 铁电材料
2.14 金刚石半导体
2.15 工艺化学品
2.16 物质的状态
2.17 物质的性质
2.18 压力和真空
2.19 酸、 碱和溶剂
2.20 化学纯化和清洗
习题
参考文献
第3章 晶体生长与硅晶圆制备
3.1 引言
3.2 半导体硅制备
3.3 晶体材料
3.4 晶体定向
3.5 晶体生长
3.6 晶体和晶圆质量
3.7 晶圆准备
3.8 切片
3.9 晶圆刻号
3.10 磨片
3.11 化学机械抛光
3.12 背面处理
3.13 双面抛光
3.14 边缘倒角和抛光
3.15 晶圆评估
3.16 氧化
3.17 包装
3.18 工程化晶圆（衬底）
习题
参考文献
第4章 晶圆制造和封装概述
4.1 引言
4.2 晶圆生产的目标
4.3 晶圆术语
4.4 芯片术语
4.5 晶圆生产的基础工艺
4.6 薄膜工艺
4.7 晶圆制造实例
4.8 晶圆中测
4.9 集成电路的封装
4.10 小结
习题
参考文献
第5章 污染控制
5.1 引言
5.2 污染源
5.3 净化间的建设
5.4 净化间的物质与供给
5.5 净化间的维护
5.6 晶片表面清洗
习题
参考文献
第6章 生产能力和工艺良品率
6.1 引言
6.2 良品率测量点
6.3 累积晶圆生产良品率
6.4 晶圆生产良品率的制约因素
6.5 封装和*终测试良品率
6.6 整体工艺良品率
习题
参考文献
第7章 氧化
7.1 引言
7.2 二氧化硅层的用途
7.3 热氧化机制
7.4 氧化工艺
7.5 氧化后评估
习题
参考文献
第8章 十步图形化工艺流程——从表面
制备到曝光
8.1 引言
8.2 光刻工艺概述
8.3 光刻十步法工艺过程
8.4 基本的光刻胶化学
8.5 光刻胶性能的要素
8.6 光刻胶的物理属性
8.7 光刻工艺： 从表面准备到曝光
8.8 表面准备
8.9 涂光刻胶（旋转式）
8.10 软烘焙
8.11 对准和曝光
8.12 先进的光刻
习题
参考文献
第9章 十步图形化工艺流程——从显影到*终检验
9.1 引言
9.2 硬烘焙
9.3 刻蚀
9.4 湿法刻蚀
9.5 干法刻蚀
9.6 干法刻蚀中光刻胶的影响
9.7 光刻胶的去除
9.8 去胶的新挑战
9.9 *终目检
9.10 掩模版的制作
9.11 小结
习题
参考文献
第10章 下一代光刻技术
10.1 引言
10.2 下一代光刻工艺的挑战
10.3 其他曝光问题
10.4 其他解决方案及其挑战
10.5 晶圆表面问题
10.6 防反射涂层
10.7 **光刻胶工艺
10.8 改进刻蚀工艺
10.9 自对准结构
10.10 刻蚀轮廓控制
习题
参考文献
第11章 掺杂
11.1 引言
11.2 扩散的概念
11.3 扩散形成的掺杂区和结
11.4 扩散工艺的步骤
11.5 淀积

丛书名 ：

著    者：

作 译 者：

出版时间：2014-12 千 字 数：1026 版    次：01-01 页    数：568 开    本：16(185*235) 装    帧： I S B N ：9787121243783   换    版：

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纸质书定价：￥79.0

本书是一本介绍半导体集成电路和器件制造技术的**书籍，在半导体领域享有很高的声誉。本书的范围包括半导体工艺的每个阶段：从原材料的制备到封装、测试和成品运输，以及传统的和现代的工艺。全书提供了详细的插图和实例，每章包含回顾总结和习题，并辅以丰富的术语表。第六版修订了微芯片制造领域的新进展，讨论了用于图形化、掺杂和薄膜步骤的先进工艺和尖端技术，使隐含在复杂的现代半导体制造材料和工艺中的物理、化学和电子的基础知识更易理解。本书的主要特点是避开了复杂的数学问题介绍工艺技术内容；加入了半导体业界的新成果，可以使读者了解工艺技术发展的趋势。

Contents

1    The Semiconductor Industry    1

Introduction    1

Birth of an Industry    1

The Solid-State Era    3

Integrated Circuits (ICs)    4

Process and Product Trends    5

Moore’s Law    6

Decreasing Feature Size    6

Increasing Chip and Wafer Size    8

Reduction in Defect Density    9

Increase in Interconnection Levels     10

The Semiconductor Industry Association Roadmap     10

Chip Cost     11

Industry Organization     11

Stages of Manufacturing     12

Six Decades of Advances in Microchip Fabrication Processes     14

The Nano Era     16

Review Topics     17

References     17

2    Properties of Semiconductor Materials and Chemicals    19

Introduction     19

Atomic Structure     19

The Bohr Atom     19

The Periodic Table of the Elements     20

Electrical Conduction     23

Conductors     23

Dielectrics and Capacitors     23

Resistors     24

Intrinsic Semiconductors     24

Doped Semiconductors     25

Electron and Hole Conduction     26

Carrier Mobility     28

Semiconductor Production Materials     29

Germanium and Silicon     29

Semiconducting Compounds     29

Silicon Germanium     31

Engineered Substrates     31

Ferroelectric Materials     31

Diamond Semiconductors     32

Process Chemicals     32

Molecules, Compounds, and Mixtures     32

Ions     33

States of Matter     34

Solids, Liquids, and Gases     34

Plasma State     34

Properties of Matter     34

Temperature     34

Density, Specic Gravity, and Vapor Density     35

Pressure and Vacuum     36

Acids, Alkalis, and Solvents     37

Acids and Alkalis     37

Solvents     38

Chemical Purity and Cleanliness     38

Safety Issues     38

The Material Safety Data Sheet     39

Review Topics     39

References     39

3    Crystal Growth and Silicon Wafer Preparation     41

Introduction     41

Semiconductor Silicon Preparation     41

Silicon Wafer Preparation Stages     42

Crystalline Materials     42

Unit Cells     43

Poly and Single Crystals     43

Crystal Orientation     44

Crystal Growth     45

Czochralski Method     45

Liquid-Encapsulated Czochralski     47

Float Zone     47

Crystal and Wafer Quality     49

Point Defects     49

Dislocations     50

Growth Defects     50

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