微波技术与天线 9787111434597 机械工业出版社 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025

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傅文斌 著

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• 微波器件

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出版社： 机械工业出版社

ISBN：9787111434597

商品编码：29222658519

包装：平装

出版时间：2013-08-01

基本信息

书名：微波技术与天线

定价：38.00元

作者：傅文斌

出版社：机械工业出版社

出版日期：2013-08-01

ISBN：9787111434597

字数：

页码：

版次：2

装帧：平装

开本：大16开

商品重量：0.581kg

编辑推荐

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内容提要

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《微波技术与天线（第2版）/普通高等教育“十一五”*规划教材·国家精品课程教材》主要介绍电磁场、微波技术与天线的基本理论、基本概念、基本技术和基本分析方法。《微波技术与天线（第2版）/普通高等教育“十一五”*规划教材·国家精品课程教材》共分8章，包括电磁场理论基础、微波传输线、规则波导和空腔谐振器、无源微波器件、电磁辐射理论基础、线天线、面天线及几个专题简介。每章附有一定数量的具有启发性、工程性的例题和习题。为适应课程体系改革的需要，编者将原电磁场与电磁波课程和微波技术与天线课程的内容进行了精选、整合，新增了介绍光导纤维、雷达散射截面、计算电磁学、基于MATLAB的虚拟实验等反映学科发展的新内容。
　　《微波技术与天线（第2版）/普通高等教育“十一五”*规划教材·国家精品课程教材》可作为高等工科院校电子信息类各专业本科生的教材，也可供从事雷达、通信、电子对抗工程技术的科研人员阅读和参考

目录

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作者介绍

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文摘

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序言

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精细微纳制造技术及其在先进器件中的应用 简介 本书深入探讨了精细微纳制造技术的核心理论、关键工艺以及在各类先进器件中的创新应用。内容涵盖了从基础的材料选择与制备，到复杂的微纳加工流程，再到最终器件的性能表征与优化。全书旨在为从事微纳器件研发、设计、制造及相关领域研究的工程师、研究人员和高年级本科生提供一套全面、系统且极具实践指导意义的知识体系。 第一章：微纳制造技术基础 本章首先阐述了微纳制造技术的定义、发展历程及其重要性。我们将从宏观尺度与微观尺度的差异入手，深入理解微纳尺度下物质的物理、化学和机械行为所呈现出的独特性质。随后，详细介绍微纳制造技术的分类，包括但不限于： 光刻技术 (Photolithography)： 这是微纳制造领域最核心和最常用的技术之一。我们将从基础的光刻原理讲起，详细剖析不同类型的光刻技术，如紫外光刻（g-line, i-line, DUV）、极紫外光刻（EUV）和电子束光刻（EBL）。重点讲解掩模版（mask/reticle）的设计与制造、光刻胶（photoresist）的化学原理、曝光过程中的衍射与干涉效应、显影与蚀刻过程中的关键参数控制。对于EUV光刻，还将深入探讨其光学系统、光源技术以及对材料和工艺的特殊要求。 干法刻蚀技术 (Dry Etching)： 与湿法刻蚀相比，干法刻蚀具有更高的精度、更好的方向性以及更小的侧向腐蚀。本章将详细介绍等离子体刻蚀（Plasma Etching）的原理，包括反应离子刻蚀（RIE）、电感耦合等离子体刻蚀（ICP-RIE）等。我们会深入分析刻蚀机理，如物理溅射、化学反应、离子轰击对刻蚀速率、选择性、各向异性以及表面形貌的影响。同时，还会介绍反应离子束刻蚀（RIBE）和电子回旋共振刻蚀（ECR）等高级干法刻蚀技术。 湿法刻蚀技术 (Wet Etching)： 尽管存在一定局限性，湿法刻蚀因其成本低廉、设备简单等优点，在某些应用中仍然不可替代。我们将详细介绍各类湿法刻蚀剂（etchants）的化学成分、刻蚀机理以及针对不同材料（如硅、二氧化硅、金属等）的刻蚀工艺。重点关注刻蚀速率的控制、各向同性与各向异性的权衡以及在复杂结构中的应用。 薄膜沉积技术 (Thin Film Deposition)： 微纳器件的性能很大程度上取决于其薄膜层的质量。本章将系统介绍各种薄膜沉积技术，包括： 物理气相沉积 (PVD)： 如真空蒸镀（Evaporation）、溅射（Sputtering，包括射频溅射、直流溅射、磁控溅射等）。详细分析它们的原理、优缺点、工艺参数对薄膜结构、成分、形貌和性能的影响。 化学气相沉积 (CVD)： 如常压CVD（APCVD）、低压CVD（LPCVD）、等离子体增强CVD（PECVD）、金属有机化学气相沉积（MOCVD）等。深入讲解反应机理、前驱体选择、温度、压力、载气等工艺参数对薄膜质量的影响，特别是在制备高质量绝缘层、半导体层和导电层方面的应用。 原子层沉积 (ALD)： 一种基于化学反应的自限性沉积过程，能够实现原子层级别的精确厚度控制和优异的保形性。我们将详细介绍ALD的工作原理，包括脉冲式反应、自限性化学吸附，并探讨其在制备超薄、均匀、致密薄膜方面的独特优势。 微纳加工辅助技术： 包括光刻胶涂布（spin coating）、预烘烤（pre-bake）、显影（developing）、硬化（hard bake）、去除光刻胶（stripping/ashing）等。对这些过程中的关键参数和影响因素进行深入剖析。 第二章：先进微纳加工工艺 本章将聚焦于实现复杂三维微纳结构和高性能器件的关键先进加工工艺。 深硅刻蚀 (Deep Reactive Ion Etching, DRIE)： 特别关注Bosch工艺和Analog Devices工艺，详细分析其交替刻蚀与沉积的原理，如何实现高深宽比（High Aspect Ratio, HAR）结构的精确制造。我们将探讨其在MEMS（微机电系统）领域的广泛应用，如微镜阵列、微泵、微阀等。 三维微纳制造技术： 多层光刻与堆叠技术： 如何通过多次光刻、刻蚀和沉积过程，实现复杂的三维器件结构。 立体光刻 (Stereolithography, SLA) 和数字光处理 (Digital Light Processing, DLP)： 介绍基于光固化树脂的增材制造技术，以及其在微流控芯片、生物支架等领域的应用。 聚焦离子束 (Focused Ion Beam, FIB)： 讲解FIB的 Milling（铣削）和 Deposition（沉积）功能，及其在纳米器件的精确修改、修复和制造中的作用。 纳米压印技术 (Nanoimprint Lithography, NIL)： 介绍NIL的基本原理，包括压印模具的设计与制造、压印过程的压力、温度控制，以及后处理。重点分析其在制备周期性纳米结构、光学器件和高密度存储介质方面的潜力，特别是其低成本、高分辨率的优势。 自组装技术 (Self-Assembly)： 探讨自然界中存在的自组装现象，以及如何在微纳尺度上利用化学、物理相互作用实现特定结构的有序排列。例如，基于DNA的自组装、块共聚物的微相分离等。 表面处理与改性技术： 包括等离子体处理、化学处理、机械抛光等，用于优化材料表面性能，改善界面特性，提高器件的可靠性和稳定性。 第三章：微纳器件设计与仿真 在掌握了微纳制造技术后，本章将重点关注如何进行高效的微纳器件设计与仿真。 微纳器件的设计流程： 从概念提出、功能定义、结构设计到工艺流程规划。 仿真工具与方法： 电磁场仿真： 使用COMSOL Multiphysics、ANSYS HFSS、CST Studio Suite等软件，对微波器件（如微带线、耦合器、滤波器、天线单元）进行电磁场分布、S参数、阻抗匹配、辐射特性等的仿真分析。 热场仿真： 分析器件工作过程中的温度分布、热应力等，评估器件的散热性能和可靠性。 流体仿真： 对于微流控器件，进行流体流动、传质、传热等过程的仿真。 多物理场耦合仿真： 针对MEMS器件，耦合力学、电学、光学、热学等多种物理场，全面评估器件性能。 设计规则与约束： 介绍在实际制造过程中需要遵守的设计规则，如最小线宽、最小间距、层间对齐精度等，以及如何将这些约束融入设计过程。 性能优化策略： 基于仿真结果，对器件结构、材料参数、工艺流程进行迭代优化，以达到最佳性能。 第四章：微纳器件在通信与传感领域的应用 本章将深入探讨微纳制造技术如何赋能各类先进通信与传感器件的开发。 微波与射频器件： 微带和带状线滤波器： 讲解不同拓扑结构（如平行耦合线、交指型、梳状线）的设计与制造，以及其在频率选择性方面的应用。 耦合器与功率分配器： 如90度混合耦合器、定向耦合器，介绍其工作原理、结构设计和实际应用。 相控阵天线： 探讨如何利用微纳制造技术实现高密度、小型化的天线单元阵列，以及移相器的集成，从而实现波束的电子扫描。 RF MEMS（射频微机电系统）： 介绍RF MEMS开关、调谐器、谐振器等，分析其工作原理、材料选择和优势（如低损耗、高隔离度、低功耗）。 微纳传感器： 压力传感器与加速度计： 介绍基于压阻效应、压电效应或电容变化的微纳传感器设计与制造。 气体传感器与化学传感器： 探讨利用纳米材料（如氧化物纳米线、石墨烯）的高比表面积和特殊吸附性能，实现对特定气体的灵敏检测。 生物传感器： 介绍如何将微纳加工技术与生物识别元件（如抗体、DNA探针）结合，实现对生物分子的高灵敏度检测，应用于疾病诊断、环境监测等领域。 光学传感器： 如光电探测器、微型光谱仪，以及基于表面等离激元共振（SPR）的传感器。 微流控芯片 (Microfluidic Chips)： 实验室芯片 (Lab-on-a-Chip, LOC)： 介绍微流控芯片的设计、制造（如PDMS、玻璃、聚碳酸酯材料），以及其在样品处理、混合、分离、检测等方面的集成应用。 微反应器： 探讨微流控技术在化学合成、催化反应中的优势，如传质传热效率高、反应可控性好。 集成电路与先进封装： 三维集成电路 (3D IC)： 探讨垂直堆叠芯片的技术，以及如何通过微纳制造实现芯片间的TSV（Through-Silicon Via）连接。 先进封装技术： 如扇出型晶圆级封装（Fan-Out WLP）、晶圆对晶圆键合（Wafer-to-Wafer Bonding）等，提升器件集成度和性能。 第五章：微纳制造的挑战与未来发展趋势 本章将对当前微纳制造技术面临的挑战进行梳理，并展望未来的发展方向。 关键挑战： 成本控制： 高端微纳制造设备和材料的成本居高不下，如何降低制造成本以实现大规模应用。 良率提升： 微纳器件加工过程复杂，影响因素多，如何提高生产良率和产品一致性。 材料限制： 针对特定应用，新型高性能材料的开发与应用。 新工艺开发： 突破现有技术瓶颈，开发更高效、更精密的加工方法。 知识产权保护： 在快速发展的领域，如何有效地保护创新成果。 未来发展趋势： 更高精度与更小尺寸： 随着电子器件集成度的不断提高，对制造精度的要求将越来越苛刻，趋向于原子级甚至亚原子级的控制。 柔性与可穿戴电子器件： 基于柔性基底和可印刷微纳制造技术的兴起。 生物与纳米技术的融合： 生物启发式制造、生物集成器件的发展。 人工智能与大数据在制造中的应用： 通过机器学习优化工艺参数，预测设备故障，提升生产效率。 量子计算与新材料的制造： 为未来颠覆性技术提供制造基础。 绿色制造与可持续发展： 减少能源消耗和环境污染，开发环保型工艺。 结论 本书旨在为读者提供一个关于精细微纳制造技术全面而深入的视角。通过对基础理论、关键工艺、设计方法以及广泛应用的详细阐述，我们期望读者能够深刻理解微纳世界的神奇之处，并能够将其应用于实际的科研和工程实践中，推动相关领域的创新与发展。

评分☆☆☆☆☆

我是一名刚刚进入射频工程领域的新人，对微波技术和天线方面的知识还处于非常基础的阶段。在工作中，我常常会听到一些术语，但并不完全理解其含义，这让我感到有些力不从心。《微波技术与天线》这本书，是我入职后，部门同事推荐给我的。我了解到这本书是由机械工业出版社出版的，这让我对它的质量有了一定的信心。我主要关注的是书中关于天线参数的定义和测量方法，比如驻波比、增益、方向图等，我希望能够通过这本书，清晰地理解这些参数的意义，以及它们对系统性能的影响。另外，对于不同类型天线的结构和设计思路，我也想有更深入的了解，例如偶极天线、螺旋天线、喇叭天线等。我希望这本书能够提供一些实用的设计案例或者计算方法，让我能够学以致用。这本书给我一种“导师指导”的感觉，就像一位经验丰富的学长，带着你在陌生的领域里，找到前进的方向和学习的方法。

评分☆☆☆☆☆

说实话，我最近正在为我的毕业设计犯愁，我的课题涉及到无线射频信号的传输和接收，这让我不得不深入了解微波技术和天线相关的知识。我之前尝试阅读过一些网络上的资料，但感觉零散且不成体系，很难建立起完整的认知。《微波技术与天线》这本书，我是在图书馆偶然发现的，它的封面设计虽然朴实，但内容却给我一种厚重感。我翻看了几页，发现它不像我之前看过的那些论文或者技术博客，而是以一种更系统、更循序渐进的方式来讲解。我尤其对其中关于微波器件的分类和工作原理的介绍很感兴趣，例如功率放大器、混频器、滤波器等，这些都是构成微波链路不可或缺的组成部分。还有关于各种天线的优缺点分析，以及它们适用的场景，这对我选择合适的天线类型有着重要的参考价值。我希望通过阅读这本书，能够不仅完成我的毕业设计，更重要的是，能够为我将来在射频通信领域的发展打下坚实的基础。这本书给我一种“沉下心来学习”的感觉，就像在一位经验丰富的老师的引导下，一步步探索未知的领域。

评分☆☆☆☆☆

作为一名在通信领域摸爬滚打多年的工程师，我深知一本优秀的教材对于一个技术人员的重要性。市面上充斥着各种快餐式的技术文档，它们或许能解决眼前的问题，却无法帮助我们构建起坚实的理论基础。《微波技术与天线》这本书，我个人认为，正好弥补了这一市场空白。我比较看重的是它能否提供一个系统性的知识框架，而不是零散的零碎知识点。我特别关注书中对微波传播机制、损耗因素、以及不同天线类型在特定环境下的性能表现的阐述。我曾经在实际工作中遇到过信号衰减严重的问题，但碍于理论知识的不足，只能采取一些“头痛医头，脚痛医脚”的临时解决方案。我希望通过这本书，能够真正理解其背后的物理原理，从而能够从根本上解决这些难题。另外，对于天线的设计部分，我希望能看到更多关于阻抗匹配、增益优化、以及方向性控制的深入讨论。这些都是影响无线通信系统性能的关键因素。这本书的出版，对于正在从事或即将从事微波和天线相关工作的技术人员来说，无疑是一份宝贵的财富。我期待它能成为我案头常备的参考书，并在我的职业生涯中发挥重要的指导作用。

评分☆☆☆☆☆

这次偶然翻到了这本《微波技术与天线》，虽然我不是专业人士，但凭借着多年的电子爱好者经验，我对一些基础概念还是有所了解的。我一直对无线通信的世界充满好奇，而微波技术和天线正是这个世界的基石。市面上关于这方面的书籍很多，有的是偏理论计算，有的则侧重工程实践。我选择这本书，主要还是看中了它的出版社，机械工业出版社的书籍一向以严谨和实用著称。拿到书后，我被它厚实的封面和清晰的排版所吸引。我先粗略地翻阅了一下目录，发现内容涵盖了从微波电路的基础知识，到各种天线的原理和设计，再到一些实际应用场景的介绍，感觉内容非常全面。我尤其对其中关于电磁场和波的传播理论的部分比较感兴趣，希望能够通过这本书更深入地理解这些抽象的概念。虽然我还没来得及深入阅读，但仅仅是浏览，我就已经能感受到这本书的扎实功底和作者在相关领域的深厚积累。我期待着能够通过这本书，在我的业余项目中，比如DIY一些无线通信设备，或者优化现有的信号接收效果时，获得更专业的指导和灵感。这本书给我一种“可以信赖”的感觉，就像一个经验丰富的老工程师，准备将他的知识倾囊相授。

评分☆☆☆☆☆

对于我这种对物理和工程领域充满好奇但又并非专业出身的读者来说，一本好的技术书籍，首先要能“讲得明白”。我不太喜欢那种上来就充斥着晦涩公式和专业术语的书籍，那样很容易让人望而却步。《微波技术与天线》这本书，我第一眼看到它的标题，就觉得内容可能比较硬核，但拿到手里翻阅后，意外地发现它的语言风格相对亲切。我尝试阅读了其中关于电磁波基本特性的部分，作者的解释方式让我感觉更容易理解。比如，他对波的衍射和反射的描述，结合了一些生活中常见的例子，这让我能够更好地将抽象的理论与实际联系起来。我特别希望这本书能够详细介绍一下常见的微波应用，比如雷达、卫星通信、以及手机通信等，并分析其中微波技术和天线所扮演的角色。这样，我才能更直观地感受到这些技术在我们生活中的重要性。这本书给我一种“循循善诱”的感觉，就像一位善于沟通的朋友，耐心地为你解答疑惑，引导你发现知识的乐趣。