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MEMS材料與工藝手冊

MEMS材料與工藝手冊 下載 mobi epub pdf 電子書 2024

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美格迪斯，美林斌彥，黃慶安 著

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發表於2024-11-25

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圖書介紹

店鋪： 天啓發行圖書專營店
齣版社： 東南大學齣版社
ISBN：9787564140533
商品編碼：29533020119
包裝：平裝
齣版時間：2014-03-01


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圖書描述

基本信息

書名：MEMS材料與工藝手冊

定價：198.00元

作者：(美)格迪斯,(美)林斌彥,黃慶安

齣版社：東南大學齣版社

齣版日期：2014-03-01

ISBN：9787564140533

字數：

頁碼：

版次：1

裝幀：平裝

開本：16開

商品重量：0.4kg

編輯推薦

內容提要

微機電係統(MEMS)技術是一個快速發展的前沿技術領域，使用的材料種類多、工藝方法復雜，需要係統地歸納、分析與整理，以便於讀者查閱。《MEMS材料與工藝手冊》由利薩·格迪斯著，內容包括MEMS材料，MEMS加工工藝和製造工藝，MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。本手冊適閤相關專業高年級本科生、研究生及工程科研技術人員閱讀和參考。

目錄

作者介紹

文摘

序言


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