国外电子电气经典教材系列：微机电系统基础（原书第2版） pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025

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Chang Liu 著

图书标签:

• MEMS
• 微机电系统
• 传感器
• 微电子机械系统
• 电子工程
• 电气工程
• MEMS技术
• 微纳技术
• 工程技术
• 经典教材

出版社： 机械工业出版社

ISBN：9787111406570

版次：1

商品编码：11194550

品牌：机工出版

包装：平装

丛书名： 国外电子电气经典教材系列

开本：16开

出版时间：2013-03-01

内容简介

　　《国外电子电气经典教材系列：微机电系统基础（原书第2版）》第1版被翻译成3种文字出版发行，并已被美国一些著名大学作为教科书，在MEMS领域享有较高声誉。全书共分15章。第1、2章概括了基本传感原理和制造方法；第3章讨论了当今MEMS实践中所必需的电学和机械工程基本知识；第4～9章分别描述了静电、热、压阻、压电、磁敏感与执行方法，及其相关的传感器与执行器；第10～11章详细介绍了微制造中最常用的体微机械加工和表面微机械加工技术，而器件制造方法则插入到实例研究中；第12章讨论了工艺技术的综合应用；第13章介绍了与聚合物有关的MEMS制造技术；第14章讨论了微流控原理及应用。根据这些敏感与执行方法以及制造方法；第15章选择了MEMS商业化产品实例进行介绍。
　　《国外电子电气经典教材系列：微机电系统基础（原书第2版）》循序渐进，体系严密，适合作为微机电系统（MEMS）、传感器、微电子、机械工程、仪器仪表等专业的高年级本科生和研究生教材，也适合于这些领域的科技人员参考。

内页插图

目录

第2版译者序
第1版译者序
教师备忘录
前言
第1章 绪论
1.0预览
1.1 MEMS发展史
1.1.1 从诞生到1990年
1.1.2 从1990年到2001年
1.1.3 从2002年到现在
1.1.4 未来发展趋势
1.2 MEMS的本质特征
1.2.1 小型化
1.2.2 微电子集成
1.2.3 高精度的并行制造
1.3 器件：传感器和执行器
1.3.1 能量域和换能器
1.3.2 传感器考虑
1.3.3 传感器噪声及设计复杂性
1.3.4 执行器考虑
1.4 总结
习题
参考文献

第2章 微制造导论
2.0预览
2.1 微制造概述
2.2 常用微制造工艺概述
2.2.1 光刻
2.2.2 薄膜沉积
2.2.3 硅热氧化
2.2.4 湿法刻蚀
2.2.5 硅的各向异性刻蚀
2.2.6 等离子刻蚀和反应离子刻蚀
2.2.7 掺杂
2.2.8 圆片划片
2.2.9 圆片键合
2.3 微电子制造工艺流程
2.4 硅基MEMS工艺
2.5 封装与集成
2.5.1 集成方法
2.5.2 密封
2.6 新材料和新制造工艺
2.7 工艺选择与工艺设计
2.7.1 淀积工艺中需要考虑的问题
2.7.2 刻蚀工艺中需要考虑的问题
2.7.3 构造工艺流程的理想规则
2.7.4 构造鲁棒性工艺的规则
2.8 总结
习题
参考文献

第3章 电学与机械学基本概念
3.0预览
3.1 半导体的电导率
3.1.1 半导体材料
3.1.2 载流子浓度的计算
3.1.3 电导率和电阻率
3.2 晶面和晶向
3.3 应力和应变
3.3.1 内力分析：牛顿运动定律
3.3.2 应力和应变的定义
3.3.3 张应力和张应变之间的一般标量关系
3.3.4 硅和相关薄膜的力学特性
3.3.5 应力-应变的一般关系
3.4 简单负载条件下挠性梁的弯曲
3.4.1 梁的类型
3.4.2 纯弯曲下的纵向应变
3.4.3 梁的挠度
3.4.4 求解弹簧常数
3.5 扭转变形
3.6 本征应力
3.7 动态系统、谐振频率和品质因数
3.7.1 动态系统和控制方程
3.7.2 正弦谐振激励下的响应
3.7.3 阻尼和品质因数
3.7.4 谐振频率和带宽
3.8 弹簧常数和谐振频率的主动调节
3.9 推荐教科书清单
3.1 0总结
习题
参考文献

第4章 静电敏感与执行原理
4.0预览
4.1 静电传感器与执行器概述
4.2 平行板电容器
4.2.1 平行板电容
4.2.2 偏压作用下静电执行器的平衡位置
4.2.3 平行板执行器的吸合效应
4.3 平行板电容器的应用
4.3.1 惯性传感器
4.3.2 压力传感器
4.3.3 流量传感器
4.3.4 触觉传感器
4.3.5 平行板执行器
4.4 叉指电容器
4.5 梳状驱动器件的应用
4.5.1 惯性传感器
4.5.2 执行器
4.6 总结
习题
参考文献

第5章 热敏感与执行原理
5.0预览
5.1 引言
5.1.1 热传感器
5.1.2 热执行器
5.1.3 热传递的基本原理
5.2 基于热膨胀的传感器和执行器
5.2.1 热双层片原理
5.2.2 单一材料组成的热执行器
5.3 热电偶
5.4 热电阻器
5.5 应用
5.5.1 惯性传感器
5.5.2 流量传感器
5.5.3 红外传感器
5.5.4 其他传感器
5.6 总结
习题
参考文献

第6章 压阻传感器
6.0预览
6.1 压阻效应的起源和表达式
6.2 压阻传感器材料
6.2.1 金属应变计
6.2.2 单晶硅
6.2.3 多晶硅
6.3 机械元件的应力分析
6.3.1 弯曲悬臂梁中的应力
6.3.2 薄膜中的应力和变形
6.4 压阻传感器的应用
6.4.1 惯性传感器
6.4.2 压力传感器
6.4.3 触觉传感器
6.4.4 流量传感器
6.5 总结
习题
参考文献

第7章 压电敏感与执行原理
7.0预览
7.1 引言
7.1.1 背景
7.1.2 压电材料的数学描述
7.1.3 悬臂梁式压电执行器模型
7.2 压电材料的特性
7.2.1 石英
7.2.2 PZT
7.2.3 PVDF
7.2.4 ZnO
7.2.5 其他材料
7.3 应用
7.3.1 惯性传感器
7.3.2 声学传感器
7.3.3 触觉传感器
7.3.4 流量传感器
7.3.5 弹性表面波
7.4 总结
习题
参考文献

第8章 磁执行原理
8.0预览
8.1 基本概念和原理
8.1.1 磁化及术语
8.1.2 微磁执行器的原理
8.2 微型磁性元件的制造
8.2.1 磁性材料的沉积
8.2.2 磁性线圈的设计与制造
8.3 MEMS磁执行器的实例研究
8.4 总结
习题
参考文献

第9章 敏感与执行原理总结
9.0预览
9.1 主要敏感与执行方式的比较
9.2 其他敏感与执行方法
9.2.1 隧道效应敏感
9.2.2 光学敏感
9.2.3 场效应晶体管
9.2.4 射频谐振敏感
9.3 总结
习题
参考文献

第10章 体微机械加工与硅各向异性
刻蚀
10.0预览
10.1 引言
10.2 各向异性湿法刻蚀
10.2.1 简介
10.2.2 硅各向异性刻蚀规则——简单结构
10.2.3 硅各向异性刻蚀规则——复杂结构
10.2.4 凸角刻蚀
10.2.5 独立掩膜图形之间的刻蚀相互作用
10.2.6 设计方法总结
10.2.7 硅各向异性湿法刻蚀剂
10.3 干法刻蚀与深反应离子刻蚀
10.4 各向同性湿法刻蚀
10.5 汽相刻蚀剂
10.6 本征氧化层
10.7 专用圆片与专用技术
10.8 总结
习题
参考文献

第11章 表面微机械加工
11.0预览
11.1 表面微机械加工基本工艺
11.1.1 牺牲层刻蚀工艺
11.1.2 微型马达制造工艺——第一种方案
11.1.3 微型马达制造工艺——第二种方案
11.1.4 微型马达制造工艺——第三种方案
11.2 结构层材料和牺牲层材料
11.2.1 双层工艺中的材料选择标准
11.2.2 薄膜的低压化学汽相淀积
11.2.3 其他表面微机械加工材料与工艺
11.3 加速牺牲层刻蚀的方法
11.4 黏附机制和抗黏附方法
11.5 总结
习题
参考文献

第12章 工艺组合
12.0预览
12.1 悬空梁的制造工艺
12.2 悬空薄膜的制造工艺
12.3 悬臂梁的制造工艺
12.3.1 扫描探针显微镜（SPM）技术
12.3.2 制造微尖的常用方法
12.3.3 带有集成微尖的悬臂梁
12.3.4 带有传感器的悬臂梁SPM探针
12.3.5 带有执行器的SPM探针
12.4 影响MEMS成品率的因素
12.5 总结
习题
参考文献

第13章 聚合物MEMS
13.0预览
13.1 引言
13.2 MEMS中的聚合物
13.2.1 聚酰亚胺
13.2.2 SU��8
13.2.3 液晶聚合物（LCP）
13.2.4 PDMS
13.2.5 PMMA
13.2.6 聚对二甲苯
13.2.7 碳氟化合物
13.2.8 其他聚合物
13.3 典型应用
13.3.1 加速度传感器
13.3.2 压力传感器
13.3.3 流量传感器
13.3.4 触觉传感器
13.4 总结
习题
参考文献

第14章 微流控应用
14.0预览
14.1 微流控的发展动机
14.2 生物基本概念
14.3 流体力学基本概念
14.3.1 雷诺数与黏性
14.3.2 通道中流体的驱动方法
14.3.3 压力驱动
14.3.4 电致流动
14.3.5 电泳和介电泳
14.4 微流控元件的设计与制造
14.4.1 通道
14.4.2 阀
14.5 总结
习题
参考文献

第15章 MEMS典型产品实例
15.0预览
15.1 案例分析：血压（BP）传感器
15.1.1 背景及历史
15.1.2 器件设计考虑
15.1.3 商业化实例：NovaSensor公司的血压传感器
15.2 案例分析：微麦克风
15.2.1 背景及历史
15.2.2 器件设计考虑
15.2.3 商业化实例：Knowles公司的微麦克风
15.3 案例分析：加速度传感器
15.3.1 背景及历史
15.3.2 器件设计考虑
15.3.3 商业化实例：AD公司和MEMSIC公司的加速度传感器
15.4 案例分析：陀螺
15.4.1 背景及历史
15.4.2 Coriolis力
15.4.3 MEMS陀螺设计
15.4.4 单轴陀螺动力学
15.4.5 商业化实例：InvenSense公司的陀螺
15.5 MEMS产品开发需要考虑的主要因素
15.5.1 性能和精度
15.5.2 可重复性和可靠性
15.5.3 MEMS产品的成本管理
15.5.4 市场、投资和竞争
15.6 总结
习题
参考文献

附录A 典型MEMS材料特性
附录B 梁、悬臂梁、板的常用力学公式
附录C 处理二阶动态系统的基本方法
附录D 常用材料的制备方法、刻蚀剂和能够承受的最高温度
附录E 常用材料去除工艺
附录F 材料和工艺之间的兼容性总结
附录G 商用惯性传感器比较部分习题答案

前言/序言

微机电系统（MEMS）基础：探索微观世界的工程奇迹 想象一下，在一个肉眼难以察觉的微观尺度上，工程师们如何精巧地设计和制造出能够感知、响应甚至与物理世界互动的微小装置。这就是微机电系统（MEMS）的迷人之处。MEMS技术将机械、电子、光学、化学等多种学科的原理融为一体，创造出体积微小、功能强大的集成器件。本书将带领您深入理解MEMS系统的设计、制造、表征及其广泛的应用，为您揭示这个充满潜力的微观工程世界的奥秘。 MEMS：微观世界的精密构建 MEMS，顾名思义，是指集成了微型机械部件与电子元件的系统。它并非简单地将机械装置缩小，而是通过先进的微加工技术，在微米甚至纳米尺度上构建出具有特定功能的机械结构，并将其与微电子电路集成在一起，实现信息感知、处理与执行。这种微型化带来了诸多优势：体积小、重量轻、功耗低、集成度高，并且能够实现批量化生产，极大地降低了成本。 本书的核心内容概览： 本书将从MEMS的基本原理出发，逐步深入到各个关键技术领域，为您构建一个全面而系统的MEMS知识体系。 MEMS的起源与发展： 了解MEMS技术是如何应运而生，以及它在过去几十年里所经历的革命性发展。我们将回顾早期的MEMS器件，如压力传感器，并追溯其如何演变成如今无处不在的微型设备。 微加工技术： 这是MEMS制造的核心。本书将详细介绍各种微加工技术，包括： 体硅微加工 (Bulk Micromachining)： 利用化学腐蚀等手段，从硅晶圆本体上“挖空”形成三维结构。我们将探讨干法腐蚀（如RIE）和湿法腐蚀的原理、优缺点以及在实际应用中的考量。 表面硅微加工 (Surface Micromachining)： 在硅衬底上通过淀延（deposition）和图案化（patterning）技术，逐层构建微型结构。我们将深入讲解各种淀延技术（如LPCVD、PECVD）以及光刻和刻蚀工艺在其中扮演的角色。 LIGA工艺： 一种强大的微加工技术，利用X射线光刻、电镀和模具成型来制造高深宽比的微结构。我们将解析其独特的工艺流程和优势。 其他微加工技术： 还会涉及一些新兴的或特定应用的微加工技术，例如微注塑、3D打印等，拓宽您的视野。 MEMS材料： MEMS器件的性能很大程度上取决于所使用的材料。本书将深入探讨： 硅及其衍生物： 硅作为MEMS最核心的材料，其优良的机械、电气和热学性能使其成为不二之选。我们将讨论多晶硅、氮化硅、氧化硅等材料的特性。 聚合物： 聚合物材料以其易加工性、柔韧性和低成本等特点，在某些MEMS应用中展现出巨大的潜力。 金属与其他材料： 介绍其他用于MEMS器件的金属、陶瓷等材料，以及它们在特定功能实现中的作用。 MEMS器件设计与建模： 精确的设计是实现高性能MEMS器件的关键。本书将涵盖： 静力学与动力学分析： 学习如何运用力学原理分析微型机械结构的受力、变形和运动特性。 有限元分析 (FEA)： 介绍如何使用FEA工具对MEMS器件进行数值仿真，优化设计参数，预测器件性能。 耦合场分析： MEMS器件往往涉及电、热、力、磁等多种物理场的相互作用。我们将探讨如何进行多物理场耦合仿真，以准确评估器件的行为。 MEMS器件的表征与测试： 制造出的MEMS器件需要经过严格的表征和测试，以确保其性能符合设计要求。本书将介绍： 光学显微镜与扫描电子显微镜 (SEM)： 用于观察微观结构的形貌和尺寸。 原子力显微镜 (AFM)： 用于表征微观表面的形貌、高度和力学性质。 电气性能测试： 测量器件的电信号输出、阻抗、灵敏度等参数。 机械性能测试： 评估器件的响应速度、可靠性、耐久性等。 MEMS的应用领域： MEMS技术已经渗透到我们生活的方方面面，从智能手机到汽车，从医疗设备到工业自动化。本书将重点介绍： 传感器： 加速度计： 用于测量加速度，是智能手机、游戏控制器、汽车安全气囊等的核心组件。 陀螺仪： 用于测量角速度，实现导航和姿态控制。 压力传感器： 用于测量压力，广泛应用于汽车、航空航天、医疗等领域。 麦克风： 将声波转化为电信号，是我们日常交流和语音交互的重要组成部分。 生物传感器： 用于检测生物分子或生理信号，推动了体外诊断和个性化医疗的发展。 执行器： 微型马达： 实现微观物体的运动和定位。 微阀门与微泵： 在微流控系统中精确控制流体的输送。 微反射镜 (DMD)： 用于数字投影技术。 微流控系统 (Microfluidics)： 在微通道中对微量液体进行精确操控，在生物化学分析、药物筛选等方面具有革命性意义。 射频MEMS (RF MEMS)： 用于无线通信领域，如射频开关、调谐器等，提升无线设备的性能和能效。 学习这本书，您将收获： 无论您是相关专业的学生、科研人员，还是对前沿科技充满好奇的技术爱好者，本书都将为您提供宝贵的知识和洞见。通过系统学习，您将能够： 深刻理解MEMS的工作原理： 掌握 MEMS 器件从设计到制造再到应用的全过程。 掌握MEMS设计与仿真技能： 学习使用专业工具进行 MEMS 器件的性能预测和优化。 了解MEMS制造的关键工艺： 熟悉主流的微加工技术及其适用范围。 洞察MEMS技术的最新发展趋势： 把握 MEMS 在各个领域的应用前景和创新方向。 激发您的创新灵感： 为您在 MEMS 领域的进一步研究和开发打下坚实基础。 让我们一起踏上这场探索微观工程奇迹的旅程，解锁 MEMS 技术带来的无限可能！

评分☆☆☆☆☆

我是一名电子工程专业的学生，在学习过程中，一直对微机电系统（MEMS）这个交叉学科领域充满好奇，但苦于找不到一本系统且深入浅出的教材。直到我偶然发现了这本《微机电系统基础（原书第2版）》，我才觉得找到了“救星”。这本书的编排逻辑非常清晰，从最基础的概念讲起，循序渐进地引入更复杂的知识点，让我感觉学习过程一点也不枯燥。尤其是书中关于各种MEMS器件的分类和工作原理的讲解，非常到位。例如，在讲解压阻式传感器时，它不仅阐述了基本的物理原理，还详细介绍了不同材料的选择、器件的结构设计以及影响其性能的关键因素，这对我理解传感器的实际应用非常有帮助。书中还涉及了一些MEMS系统的整体设计思路，这让我意识到MEMS并非孤立的器件，而是需要与其他电子元件协同工作的复杂系统。这对于我们未来的跨学科学习和研究非常有指导意义。书中的插图和图表非常精美，而且数量众多，能够非常直观地帮助我们理解抽象的概念。我特别喜欢其中对一些经典MEMS器件的案例分析，这些案例让我对MEMS技术的实际应用有了更深刻的认识，也激发了我进一步探索的兴趣。总体而言，这本书是我在MEMS领域学习的基石，它的深度和广度都让我感到非常满意。

评分☆☆☆☆☆

作为一名资深技术爱好者，我对各种新兴技术都抱有浓厚的兴趣，而MEMS技术正是近些年来让我着迷的一项。这本《微机电系统基础（原书第2版）》可以说是满足了我对MEMS技术所有美好的期待。书中的内容非常全面，从材料选择、微纳加工工艺，到各种传感器、执行器的原理和设计，再到系统集成和应用，几乎涵盖了MEMS领域的方方面面。我特别喜欢书中对MEMS器件性能的深入分析，它不仅介绍了各种影响性能的因素，还给出了优化设计的思路和方法。例如，在讲解MEMS陀螺仪的误差分析时，书中详细阐述了零偏不稳定性、角随机游走等概念，并提供了相应的补偿方法，这对于我理解如何提高MEMS器件的精度和可靠性非常有帮助。此外，书中还讨论了MEMS技术在智能交通、工业自动化等领域的广泛应用，让我看到了MEMS技术在赋能各行各业方面的巨大潜力。这本书的语言风格流畅易懂，即使是对于MEMS领域的新手，也能够轻松地掌握其中的精髓。

评分☆☆☆☆☆

这本书虽然我还没来得及从头到尾细读，但光是翻阅目录和几个章节的标题，我就被深深吸引了。它涵盖的范围之广，让我对微机电系统（MEMS）这个我一直以来都觉得有些神秘的领域有了初步但清晰的认知。从最基础的材料学原理，到复杂的传感器和执行器设计，再到系统集成和应用，这本书仿佛是一张详尽的地图，为初学者指明了前进的方向。我尤其注意到其中关于微纳制造工艺的章节，那些关于光刻、刻蚀、薄膜沉积的描述，虽然我不是专业人士，但能感受到其精妙之处。书中的图例和公式也非常丰富，很多都配有详细的解释，这对于我这样需要将理论与实践相结合的学习者来说，简直是福音。我感觉这本书不单单是知识的堆砌，更是一种思维方式的引导，它教会我如何从微观世界的尺度去理解宏观世界的运行规律，这在很多其他领域同样适用。这本书的出版，无疑为广大学习者提供了一个非常宝贵的学习资源，它的内容严谨且系统，适合不同程度的读者进行学习和参考。对于那些对MEMS技术感兴趣，或者正在从事相关研究和开发工作的朋友们，这本书绝对是值得拥有的。我非常期待在接下来的时间里，能更深入地研读它，挖掘出更多的宝藏。

评分☆☆☆☆☆

作为一名在自动化领域工作多年的工程师，我一直关注着新技术的发展，而MEMS技术无疑是当前最热门和最具潜力的领域之一。这本《微机电系统基础（原书第2版）》可以说是为我打开了一扇新的大门。我尤其欣赏书中对于MEMS器件在不同应用场景下的优劣势分析。例如，在讨论惯性传感器时，书中详细对比了微机械陀螺仪和微机械加速度计在不同应用中的适用性，以及它们各自的局限性。这对我评估和选择合适的传感器方案提供了宝贵的参考。此外，书中还涉及到MEMS驱动器的设计和制造，这对于我理解如何将电信号转化为机械运动，以及如何控制微小规模的机械结构非常有启发。我注意到书中对静电驱动、压电驱动等多种驱动方式都进行了详细的介绍，并分析了它们各自的特点和应用范围。这对于我今后在产品设计中选择合适的驱动方案提供了理论依据。虽然我对MEMS的专业知识有限，但这本书的叙述方式让我能够相对轻松地理解那些复杂的原理。它没有过多的学术腔调，而是用一种更接近工程师思维的方式来阐述问题，这让我感觉非常实用。

评分☆☆☆☆☆

这本书的内容之丰富，远超我的想象。在翻阅的过程中，我不仅对MEMS有了更系统的认识，也对一些之前模糊不清的概念有了豁然开朗的感觉。比如，书中对于微纳加工技术的详尽描述，让我理解了制造这些微小器件背后的复杂工艺流程。我印象深刻的是关于“深硅刻蚀”技术的介绍，它能够实现非常高的纵横比，这对于制造一些具有特殊结构的MEMS器件至关重要。书中还详细讲解了不同的封装技术，因为MEMS器件的性能很大程度上受到封装的影响。它强调了在设计之初就要考虑封装的问题，这让我意识到MEMS的设计是一个从微观器件到宏观系统的全方位考量。我尤其喜欢书中关于MEMS可靠性和测试方法的章节，这些内容对于确保MEMS器件在实际应用中的稳定性和准确性至关重要。它提出了很多实用的测试方法和失效分析的思路，这对于我们进行产品验证和质量控制非常有帮助。这本书不仅仅是知识的传授，更是一种解决问题的方法论的引导。

评分☆☆☆☆☆

我是一位MEMS领域的初学者，这本书带给我的惊喜远不止一点点。原本以为MEMS是一个非常高深莫测的领域，但通过这本书的学习，我发现它其实是有章可循的。从最基础的微加工技术，到各种传感器和执行器的原理，再到系统集成和应用，这本书就像一位循循善诱的老师，一步步引导我进入这个美妙的微观世界。我特别喜欢书中对各种MEMS器件的分类和对比分析，例如，它会详细介绍不同类型的加速度计，并对比它们的优缺点，这让我能够更好地理解不同传感器在实际应用中的选择依据。书中对于MEMS在不同领域的应用案例分析也让我大开眼界，从消费电子到医疗器械，再到汽车工业，MEMS技术无处不在，展现出巨大的潜力。我非常期待在接下来的学习中，能够更加深入地理解书中的内容，并且尝试将这些知识应用到我的实际项目开发中。这本书的印刷质量和排版设计也非常优秀，阅读起来非常舒适，不会有任何视觉疲劳。

评分☆☆☆☆☆

这本书所涵盖的知识体系之庞大，让我惊叹不已。在初步浏览过后，我发现它不仅仅是一本MEMS基础知识的汇集，更是一本关于MEMS技术发展脉络和未来趋势的深度解读。书中对MEMS在生物医学领域的应用尤为详尽，这正是我目前最感兴趣的方向。例如，在讲解微流控芯片时，它不仅介绍了芯片的设计原理和制造工艺，还详细阐述了微流控技术在DNA测序、药物筛选、细胞分析等方面的应用，这让我看到了MEMS技术在推动生命科学研究方面的巨大潜力。此外，书中还涉及到了MEMS传感器在环境监测领域的应用，例如气体传感器、湿度传感器等，这些内容对于我理解如何利用MEMS技术解决现实生活中的环境问题非常有启发。书中的学术严谨性毋庸置疑，但作者的表达方式却充满了人文关怀，使得即使是非专业人士也能从中受益。对于我这样一个需要在不同学科之间进行知识整合的研究者来说，这本书无疑提供了宝贵的理论基础和灵感来源。

评分☆☆☆☆☆

我是一名在光学工程领域的研究者，偶然的机会接触到MEMS技术，并被其精巧的设计和广泛的应用所吸引。这本《微机电系统基础（原书第2版）》给我带来了极大的启发。书中关于MEMS在光学领域的应用，比如MEMS扫描镜、MEMS滤波器等，都让我耳目一新。它详细介绍了这些MEMS光学器件的工作原理，以及它们在投影显示、光通信、光谱分析等领域的应用。我尤其喜欢书中关于MEMS扫描镜的设计和控制方法的讲解，它展示了如何通过微小的机械结构实现精确的光束控制，这对于我今后的光学系统设计具有重要的参考价值。此外，书中还对MEMS与光学耦合的机理进行了深入的探讨，这让我对MEMS技术在光学器件中的集成和优化有了更深刻的认识。这本书的内容不仅具有很高的学术价值，而且对于从事相关领域研究和开发的工程师来说，也具有很强的指导意义。

评分☆☆☆☆☆

我是一名MEMS领域的学生，正在为我的毕业设计收集资料，而这本《微机电系统基础（原书第2版）》无疑是我近来最大的收获。这本书的内容深度和广度都让我印象深刻。我尤其关注书中关于MEMS器件的建模和仿真部分的讲解，它详细介绍了如何利用数学模型来描述MEMS器件的行为，以及如何通过仿真软件来优化器件设计，这对于我进行实际的仿真工作非常有指导意义。书中还提供了大量的仿真实例和代码片段，这大大降低了我的学习门槛。此外，书中对MEMS系统的集成和测试技术也进行了详细的阐述，这让我了解到，一个完整的MEMS产品不仅仅是单个器件的设计，更需要考虑如何将多个器件有效地集成起来，并进行严格的性能测试。这些内容对于我完成毕业设计中的系统设计和验证环节至关重要。这本书的作者在MEMS领域拥有丰富的经验，这使得书中的内容既有深度又不失实用性，我感觉自己受益匪浅。

评分☆☆☆☆☆

这本书带给我的感受，是一种对微观世界无限好奇心的满足，以及对工程技术深刻敬畏的体验。在阅读的过程中，我仿佛置身于一个奇妙的微型工厂，看着那些微小的机器如何被设计、制造和操控。书中关于MEMS器件的可靠性和失效机制的分析，让我深刻理解了任何精密技术的背后，都离不开对各种潜在问题的严谨考虑和预判。它强调了材料的疲劳、应力的集中、环境的影响等因素，并提供了相应的分析方法和设计策略，这对于任何希望将MEMS技术转化为实际产品的工程师来说，都是宝贵的财富。我注意到书中还探讨了MEMS技术的成本效益分析和市场前景，这让我看到了MEMS技术不仅仅是实验室里的研究，更是具有巨大商业价值的未来产业。这本书的内容之丰富，让我感觉到它不仅仅是一本教材，更是一部关于MEMS技术发展史和未来展望的百科全书。

评分☆☆☆☆☆

简单明了，思路清晰！

评分☆☆☆☆☆

正在看，不敢胡乱评价，看完再说！

评分☆☆☆☆☆

很好的一本教材，希望商家能找到英文版的一起买，但是字有些大小编排的错误。

评分☆☆☆☆☆

到货很快，书是正版，感觉还不错，好好学习

评分☆☆☆☆☆

呵呵哈哈哈哈哈哈哈哈哈哈哈哈

评分☆☆☆☆☆

价格实惠，送货速度快，不错的一本书。

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到货很快，书是正版，感觉还不错，好好学习

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都碎了！什么包装都没有！

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很好的一本教材，希望商家能找到英文版的一起买，但是字有些大小编排的错误。