真空科学技术丛书：真空镀膜 下载 mobi epub pdf 电子书 2024

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内容简介

　　 《真空科学技术丛书：真空镀膜》是本着突出近代真空镀膜技术进步，注重系统性、强调实用性而编著的。全书共11章，内容包涵了真空镀膜中物理基础，各种蒸发源与溅射靶的设计、特点、使用要求，各种真空镀膜方法以及薄膜的测量与监控，真空镀膜工艺对环境的要求等。本书具有专业性、实用性和通用性。
　　 《真空科学技术丛书：真空镀膜》可作为从事真空镀膜技术的技术人员、真空专业的本科生、研究生教材使用，亦可供镀膜、表面改型等专业和真空行业技术人员参考。

目录

第1章真空镀膜概论
1.1概述
1.2影响固体表面结构、形貌及其性能的因素
1.2.1原子和分子构成固体物质
1.2.2多晶体物质结构
1.2.3材料受到的各种应力负荷
1.2.4材料加工所带来的缺陷
1.2.5基片表面涂敷硬质薄膜的必要性
1.3真空镀膜及其工艺特点和应赋予涂层的功能
1.4薄膜的特征
1.4.1薄膜的结构特征
1.4.2金属薄膜的电导特征
1.4.3金属薄膜电阻温度系数特征
1.4.4薄膜的密度特征
1.4.5薄膜的时效变化特征
1.5薄膜的应用
1.5.1电子工业用薄膜
1.5.2光学工业中应用的各种光学薄膜
1.5.3机械、化工、石油等工业中应用的硬质膜、耐蚀膜和润滑膜
1.5.4有机分子薄膜
1.5.5民用及食品工业中的装饰膜和包装膜
1.6真空镀膜的发展历程及最新进展
参考文献
第2章真空镀膜技术基础
2.1真空镀膜物理基础
2.1.1真空及真空状态的表征和测量
2.1.2气体的基本性质
2.1.3气体的流动与流导
2.1.4气体分子与固体表面的相互作用
2.2真空镀膜低温等离子体基础
2.2.1等离子体及其分类与获得
2.2.2低气压下气体的放电
2.2.3低气压下气体放电的类型
2.2.4低气压下冷阴极气体辉光放电
2.2.5低气压非自持热阴极弧光放电
2.2.6低气压自持冷阴极弧光放电
2.2.7磁控辉光放电
2.2.8空心冷阴极辉光放电
2.2.9高频放电
2.2.10等离子体宏观中性特征及其中性空间强度的判别
2.3薄膜的生长与膜结构
2.3.1膜的生长过程及影响膜生长的因素
2.3.2薄膜的结构及其结构缺陷
2.4薄膜的性质及其影响因素
2.4.1薄膜的力学性质及其影响因素
2.4.2薄膜的电学性质
2.4.3薄膜的光学性质及其影响膜折射率的因素
2.4.4薄膜的磁学性质
参考文献
第3章蒸发源与溅射靶
3.1蒸发源
3.1.1蒸发源及其设计与使用中应考虑的问题
3.1.2电阻加热式蒸发源
3.1.3电子束加热式蒸发源
3.1.4空心热阴极等离子体电子束蒸发源
3.1.5感应加热式蒸发源
3.1.6激光加热式蒸发源
3.1.7辐射加热式蒸发源
3.1.8蒸发源材料
3.1.9蒸发源的发射特性及膜层的厚度分布
3.2溅射靶
3.2.1溅射靶的结构及其设计要求
3.2.2溅射靶材
参考文献
第4章真空蒸发镀膜
4.1真空蒸发镀膜技术
4.1.1真空蒸发镀膜原理及蒸镀条件
4.1.2薄膜材料
4.1.3合金膜的蒸镀
4.1.4化合物膜的蒸镀
4.1.5影响真空蒸镀性能的因素
4.2分子束外延技术
4.2.1分子束外延生长的基本原理与过程
4.2.2分子束外延生长的条件、制备方法与特点
4.2.3分子束外延生长参数选择
4.2.4影响分子束外延的因素
4.2.5分子束外延装置
4.3真空蒸发镀膜设备
4.3.1真空蒸发镀膜机的类型及其结构
4.3.2真空蒸发镀膜机中的主要构件
4.4真空蒸发涂层的制备实例
4.4.1真空蒸镀铝涂层
4.4.2真空蒸镀Cd(Se，S)涂层
4.4.3真空蒸镀ZrO2涂层
4.4.4分子束外延生长金单晶涂层
参考文献
第5章真空溅射镀膜
5.1真空溅射镀膜的复兴与发展
5.2真空溅射镀膜技术
5.2.1真空溅射镀膜的机理分析及其溅射过程
5.2.2靶材粒子向基体上的迁移过程
5.2.3靶材粒子在基体上的成膜过程
5.2.4溅射薄膜的特点及溅射方式
5.2.5直流溅射镀膜
5.2.6磁控溅射镀膜
5.2.7射频溅射镀膜
5.2.8反应溅射镀膜
5.2.9中频溅射与脉冲溅射镀膜
5.2.10对向靶等离子体溅射镀膜
5.2.11偏压溅射镀膜
5.3真空溅射镀膜设备
5.3.1间歇式真空溅射镀膜机
5.3.2半连续磁控溅射镀膜机
5.3.3大面积连续式磁控溅射镀膜设备
参考文献
第6章真空离子镀膜
6.1真空离子镀膜及其分类
6.2离子镀膜原理及其成膜条件
6.3离子镀膜过程中等离子体的作用及到达基体入射的粒子能量
6.4离子轰击在离子镀过程中产生的物理化学效应
6.5离化率与中性粒子和离子的能量及膜层表面上的活化系数
6.5.1离化率
6.5.2中性粒子所带的能量
6.5.3离子能量
6.5.4膜层表面的能量活化系数
6.6离子镀涂层的特点及其应用范围
6.7离子镀膜的参数
6.7.1镀膜室的气体压力
6.7.2反应气体的分压
6.7.3蒸发源功率
6.7.4蒸发速率
6.7.5蒸发源和基体间的距离
6.7.6沉积速率
6.7.7基体的负偏压
6.7.8基体温度
6.8离子镀膜装置及常用的几种镀膜设备
6.8.1直流二极、三极及多极型离子装置
6.8.2活性反应离子镀装置
6.8.3空心阴极放电离子镀膜装置
6.8.4射频放电离子镀装置
6.8.5磁控溅射离子镀膜装置
6.8.6真空阴极电弧离子镀膜装置
6.8.7冷电弧阴极离子镀膜装置
6.8.8热阴极强流电弧离子镀装置
参考文献
第7章离子束沉积与离子束辅助沉积
7.1离子束沉积技术
7.1.1离子束沉积原理及特点
7.1.2直接引出式离子束沉积技术
7.1.3质量分离式离子束沉积技术
7.1.4离化团束沉积技术
7.1.5等离子体浸没式沉积技术
7.1.6气固两用离子束沉积技术
7.2离子束辅助沉积技术
7.2.1离子束辅助沉积过程的机理
7.2.2离子束辅助沉积的方式及其能量选择范围
7.2.3离子束辅助沉积技术的特点
7.2.4离子束辅助沉积装置
7.2.5微波电子回旋等离子体增强溅射沉积装置
7.2.6离子源
参考文献
第8章化学气相沉积
8.1概述
8.2CVD技术中的各类成膜方法及特点
8.3CVD技术的成膜条件及其反应类型
8.3.1CVD反应的条件
8.3.2CVD技术的反应类型
8.4化学气相沉积用先驱反应物质的选择
8.5影响CVD沉积薄膜质量的因素
8.5.1沉积温度对膜质量的影响
8.5.2反应气体浓度及相互间的比例对膜质量的影响
8.5.3基片对膜质量的影响
8.6常压化学气相沉积技术与装置
8.6.1常压CVD技术的一般原理
8.6.2常压的CVD装置
8.7低压化学气相沉积(LPCVD)
8.7.1LPCVD的原理及特点
8.7.2LPCVD装置的组成
8.7.3LPCVD制备涂层的实例
8.8等离子体增强化学气相沉积(PECVD)
8.8.1PECVD的成膜过程及特点
8.8.2PECVD装置
8.8.3PECVD薄膜的工艺实例
8.9金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)
8.10光辅助化学气相沉积(PHCVD)
参考文献
第9章薄膜的测量与监控
9.1概述
9.2薄膜厚度的测量
9.2.1薄膜厚度的光学测量法
9.2.2薄膜厚度的电学测量法
9.2.3薄膜厚度的机械测量法
9.3薄膜应力的测量
9.3.1基片变形法
9.3.2衍射法
9.4薄膜的附着力测量
9.4.1胶带剥离法
9.4.2拉倒法
9.4.3拉张法
9.4.4划痕法
9.5薄膜的硬度测量
9.5.1维氏硬度
9.5.2努氏硬度
9.6薄膜的光谱特性测量
参考文献
第10章薄膜性能分析
10.1概述
10.2电子作用于固体表面上所产生的各种效应
10.2.1背散射电子
10.2.2二次电子
10.2.3吸收电子和透射电子
10.2.4俄歇电子
10.2.5特征X射线
10.2.6阴极荧光
10.2.7电子束感生电流
10.3离子作用于固体表面所产生的效应
10.3.1一次离子的表面散射
10.3.2反向散射离子
10.3.3正负二次电子
10.4光子作用于固体表面所产生的效应
10.4.1波长较短的X射线
10.4.2波长较长的X射线
10.5薄膜形貌观察与结构分析
10.5.1光学显微镜
10.5.2扫描电子显微镜
10.5.3透射电子显微镜
10.5.4X射线衍射仪
10.5.5低能电子衍射和反射式高能电子衍射
10.5.6扫描探针显微镜
10.6薄膜组成分析
10.6.1俄歇电子能谱仪
10.6.2二次离子质谱分析仪
10.6.3卢瑟福背散射分析仪
10.6.4X射线光电子能谱仪
参考文献
第11章真空镀膜技术中的清洁处理
11.1概述
11.2真空镀膜设备的清洁处理
11.2.1真空镀膜设备污染物的来源及清洁处理
11.2.2真空镀膜设备真空系统的清洗处理
11.3真空镀膜设备的环境要求
11.4真空镀膜工艺对环境的要求
11.4.1真空镀膜工艺对环境的基本要求
11.4.2基片表面污染物来源及清洁处理
11.5镀件表面处理的基本方法
11.6真空镀膜常用材料的清洗方法
11.7真空镀膜设备型号编制方法、试验方法
11.7.1真空设备型号编制方法（JB/T 7673—1995）
11.7.2真空镀膜设备通用技术条件（摘自GB/T 11164—99）
参考文献

前言/序言

真空科学技术是现代科学技术中应用最为广泛的高技术之一。制备超纯材料需要超高真空技术，太阳能薄膜电池及芯片制作需要清洁真空技术，航天器空间环境地面模拟设备需要大型真空容器技术。真空科学技术已渗透到人们的教学、科研、生产过程、经济活动以及日常生活中的方方面面，人们普遍认识到了真空科学技术的重要性。
真空科学技术是一门涉及多学科、多专业的综合性应用技术，它吸收了众多科学技术领域的基础理论和最新成果，使自己不断地进步和发展。真空科学技术的应用标志着国家科学和工业现代化的水平，大力发展真空科学技术是振兴民族工业，实现国家现代化的基本出发点。
多年来，党和国家政府非常重视发展真空科学技术。大学设立了真空科学技术专业，培养高层次真空专业人才；兴办真空企业，设计、制造真空产品；成立真空科学技术研究所开发新技术，提高真空应用水平；建立了相当规模和水平的真空教学、科研和生产体系；独立自主地生产出各种真空产品，满足了各行业的需求，推动了社会主义经济的发展。
在取得丰硕的物质成果和经济效益的同时，真空科技人员积累了宝贵的理论认知和实践经验。在和真空科学技术摸、爬、滚、打的漫长岁月中，一大批人以毕生的精力，辛勤的劳动亲身经历了多少次失败的痛苦和成功的喜悦。通过深刻的思考与精心的整理换得了大量的实践经验，这些付出了昂贵代价得来的知识是书本上难以学到的。经历了半个世纪沧桑岁月，当年风华正茂的真空科技工作者均年事已高，霜染鬓须，退居二线。唯一的希望是将自己积累的知识、技能、经验、教训通过文字载体传承给新一代的后来人，使他们能够在前人搭建的较高平台上工作。基于这一考虑，在兰州物理研究所支持下，我们聚集在一起，成立了《真空科学技术丛书》编写委员会，由全国高等院校、科研院所及企业中长期从事真空科学技术研制工作的工程技术人员组成。编写一套《真空科学技术丛书》，系统的、完整的从真空科学技术的基本理论出发，重点叙述应用技术及应用的典型例证。这套丛书分专业、分学科门类编写，强调系统性、理论性和实用性，避免重复性。这套丛书的出版是我国真空科学技术工作者大力合作的成果，汇集了我国真空科学技术发展的经验，希望这套丛书对21世纪我国真空科学技术的进步和发展起到推动作用，为实施科教兴国战略做出贡献。
这套丛书像流水一样持续不断，是不封闭的系列丛书，只要有相关著作就可以陆续纳入这套丛书出版。《丛书》可供大专院校师生，科学研究人员，工业、企业技术人员参考。
这套丛书成立了编写委员会，设主编、副主编及参编人员、技术编辑等，由化学工业出版社出版发行。部分真空界企业提供了资助，作者、审稿者、编辑等付出了辛勤劳动，在此一并表示衷心感谢。
达道安
2012年03月22日
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感觉还好，能学到一些东西

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商品相对而不错，对于初学者有帮助

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很好 ...................

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很實用

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读书心得书陶冶了我的性情书丰富了我的知识书开阔了我的视野书给予了我人生的启迪以书相伴人生就会有大不同生活可以清贫但不可以无书博览全书的人往往知识丰富能集众家之所长于其身因此能使人喜欢读书将使他终身受益 \N\N虽然我们都知道要多读书读好书可仍然有一些人没有养成良好的读书习惯究其原因那是因为他们没有对读书产生兴趣兴趣才是最好的老 \N\N读书不仅可以让孩子获取广泛的知识陶冶情操还能使孩子得到放松休闲缓解焦虑调节情绪与孩子一起读书既能留出一些时间与孩子共处又能要求自己也养成读书的习惯一举两得 \N\N经常读书的人会思考知道怎么才能想出办法他们智商比较高能够把无序而纷乱的世界理出头绪抓住根本和要害从而提出解决问题的方法经常读书的人不会乱说话言必有据每一个结论会通过合理的推导得出而不会人云亦云信口雌黄 \N\N读书的最终目的当然是为了提高对人性的认识锻炼心胸逐步训练感受幸福的能力培养自信心形成实践能力有道是腹有诗书气自华因此养成阅读习惯将受用终生阅读习惯是在心灵深处装了一部发动机一个人养成了读书的习惯一辈子不寂寞养不成读书的习惯一辈子不知所措爱是恒久忍耐又有恩慈爱是不嫉妒爱是不自夸不张狂不做害羞的事不求自己的益处不轻易发怒不计算人的恶不喜欢不义只喜欢真理凡事包容凡事相信凡事盼望凡事忍耐爱是永不止息读书心得读《淡定的人生不寂寞》有感但是爱情是什么呢有人问过我你认为爱情真的存在吗我的回答是信则有不信则无在生活中经常能听到神鬼妖魔的传说说到神会崇敬说到鬼怪会惧怕或许有人见到过但我没有也不是很希望见到爱情不也是一样吗说到爱情都会憧憬或许有人拥有过但我没有看完这本书后才明白成熟的感情都需要付出时间去等待它的果实爱情也一样但我们一直欠缺耐心不要束缚不要缠绕不要占有不要渴望从对方的身上挖掘到意义那是注定要落空的东西有谁会用十年的时间去等一个远行的人有些爱情因为太急于要得到它的功利无法被证明于是显得单薄爱要经的起平淡的流年但人的感情也是有底线的与其苦苦等待不可能有的结果还不如放弃放弃也是一种爱因为爱他所以离开他很感人的一句话有些感情如此直接喝残酷容不下任何迂回曲折的温暖带着温暖的心情离开要比苍白的真相要好\N幸福没有一种特定的模式只能是一种相对的概念对于大众而言觉不会有事先安排的道路更不会有上天赐予的幸福所有幸福的产生皆源于人们的不懈追求的价值的不断实现鼓起生命的风帆勇敢地迎接命运的挑战对我来说幸福很简单早起时伸个懒腰刷牙时看到洁白的牙齿上班的路上能及时赶上公交到公司时看到同事们晚饭时吃到大块的肉一个人时耳朵里能有音乐的声音洗澡时能有足够多的热水睡觉时有暖和的被子心得体会《读书心得读《淡定的人生不寂寞》有感》\N古龙曾经说过真正的寂寞是一种深入骨髓的空虚一种令你发狂的空虚纵然在欢呼声中你也会感到内心的空虚惆怅和沮丧曾经有一段时间手机只是当做钟表来用走在大街上会感觉过往的车辆人群都那么的让人烦躁食堂的嘈杂更是难以忍受音乐在耳边也显得刺耳不想与任何人联系常常会在噩梦中惊醒动不了黎明过后才慢慢睡去这就是我感受到的寂寞原来大可不必这样如果在工作学习中不得志不要悲观迷惘静下心来好好审视和反思自己积极乐观面对挑战如果被爱情抛弃不用悲伤更不要怨恨守住一颗淡定而宁静的心重新面对生活珍惜身边的人你会觉得生活依然还是那样美好\N如果你因为错过了太阳而哭泣那么你也要错过群星了人生就是一个学习的过程只有在体会过失去的痛苦以后才知道珍惜但以前的永不再来这就是成长的代价坚守自己心中的本真不去过多地考量别人的错误不要在乞求他人对自己的理解中消耗过多的时间和精力要从被动地适应他人中解脱出来否则你就是在用别人的错误来惩罚自己最后被伤害的或者失去的是自己而不是别人一根手指指向别人的同时会有三根手指是指向自己的这就提醒我们要平静下来多反省自己观照内心宁静以致远\N人的心理是非常复杂的寂寞悲伤愤怒失望抑郁痛苦等等心态时常会出现我们可以尝试着慢慢地去接受它们这些情感也都是自己的一部分以旁观者的角度观察自己悲观时候的状态平静淡然的去分析去反思宠辱不惊看庭前花开花落去留无意望天外云卷云疏\N《真空科学技术丛书真空镀膜》读后感及推荐再便宜点就好了书很好是正版的包装一般书角有点压坏还好不影响什么质量很好发货速度很快两天就收到了书的内容确实很实用这些天忘记回老家拿书了家里人帮忙收到这

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这次买的书很多，而且在外出差，没来得及一本本去检查。

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太专业，看起伤神

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　　 真空科学技术是一门涉及多学科、多专业的综合性应用技术，它吸收了众多科学技术领域的基础理论和最新成果，使自己不断地进步和发展。真空科学技术的应用标志着国家科学和工业现代化的水平，大力发展真空科学技术是振兴民族工业，实现国家现代化的基本出发点。

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