內容簡介
《Springer手冊精選係列·晶體生長手冊(第4冊):蒸發及外延法晶體生長技術(影印版)》的主題是氣相生長。這一部分提供瞭碳化矽、氮化鎵、氮化鋁和有機半導體的氣相生長的內容。隨後的PartE是關於外延生長和薄膜的,主要包括從液相的化學氣相澱積到脈衝激光和脈衝電子澱積。
作者簡介
Govindhan Dhanaraj is the Manager of Crystal Growth Technologies at Advanced Renewable Energy Company (ARC Energy) at Nashua, New Hampshire (USA) focusing on the growth of large size sapphire crystals for LED lighting applications, characterization and related crystal growth furnace development. He received his PhD from the Indian Institute of Science, Bangalore and his Master of Science from Anna University (India). Immediately after his doctoral degree, Dr. Dhanaraj joined a National Laboratory, presently known as Rajaramanna Center for Advanced Technology in India, where he established an advanced Crystal Growth Laboratory for the growth of optical and laser crystals. Prior to joining ARC Energy, Dr. Dhanaraj served as a Research Professor at the Department of Materials Science and Engineering, Stony Brook University, NY, and also held a position of Research Assistant Professor at Hampton University, VA. During his 25 years of focused expertise in crystal growth research, he has developed optical, laser and semiconductor bulk crystals and SiC epitaxial films using solution, flux, Czochralski, Bridgeman, gel and vapor methods, and characterized them using x-ray topography, synchrotron topography, chemical etching and optical and atomic force microscopic techniques. He co-organized a symposium on Industrial Crystal Growth under the 17th American Conference on Crystal Growth and Epitaxy in conjunction with the 14th US Biennial Workshop on Organometallic Vapor Phase Epitaxy held at Lake Geneva, WIin 2009. Dr. Dhanaraj has delivered invited lectures and also served as session chairman in many crystal growth and materials science meetings. He has published over 100 papers and his research articles have attracted over 250 rich citations.
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精彩書評
施普林格的手冊,一貫全麵闡述基礎理論,提供可靠的研究方法和關鍵知識皮及大量的參考文獻,介紹最新的應用實例,前瞻學科的發展方嚮。手冊作者多為世界首席專傢或知名學者。手冊具有極大的實用性,其錶格、圖標、索引等更增加瞭它的使用價值。
——《Springer手冊精選係列》推薦委員會
目錄
縮略語
PartD 晶體的氣相生長
23 SiC晶體的生長與錶徵
23.1 SiC-背景與曆史
23.2 氣相生長
23.3 高溫溶液生長
23.4 籽晶升華的産業化體材料生長
23.5 結構缺陷及其構造
23.6 結語
參考文獻
24 物理氣相傳輸法生長體材料AIN晶體
24.1 物理氣相傳輸法晶體生長
24.2 高溫材料兼容
24.3 AIN體材料晶體的自籽晶生長
24.4 AIN體材料晶體的籽晶生長
24.5 高質量晶體錶徵
24.6 結論與展望
參考文獻
25 單晶有機半導體的生長
25.1 基礎
25.2 成核與晶體生長理論
25.3 對半導體單晶有機材料的興趣
25.4 提純預生長
25.5 晶體生長
25.6 有機半導體單晶的質量
25.7 有機單晶場效應晶體管
25.8 結論
參考文獻
26 鹵化物氣相外延生長Ⅲ族氮化物
26.1 生長化學和熱力學
26.2 HVPE生長設備
26.3 體材料GaN的生長襯底和模版
26.4 襯底除去技術
26.5 HVPE中GaN的摻雜方法
26.6 缺陷密度、位錯和殘留雜質
26.7 HVPE生長的體材料GaN的一些重要性能
26.8 通過HVPE生長AIN:一些初步的結論
26.9 通過HVPE生長InN:一些初步的結論
參考文獻
27 半導體單晶的氣相生長
27.1 氣相生長分類
27.2 化學氣相傳輸——傳輸動力學
27.3 熱力學討論
27.4 CVT法Ⅱ-Ⅵ化閤物半導體的生長
27.5 納米材料的氣相生長
27.6Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ,化閤物生長
27.7 VPE法生長氮化鎵
27.8 結論
參考文獻
PartE 外延生長和薄膜
28化學氣相沉積的碳化矽外延生長
28.1 碳化矽極化類型
28.2 碳化矽的缺陷
28.3 碳化矽外延生長
28.4 圖形襯底上的外延生長
28.5 結論
參考文獻
29 半導體的液相電外延
29.1 背景
29.2 早期理論和模型的研究
……
30 半導體的外延橫嚮增生
31 新材料的液相外延
32 分子束外延的HgCdTe生長
33 稀釋氮化物的金屬有機物氣相外延和砷化物量子點
34 鍺矽異質結的形成及其特性
35 脈衝激光的等離子能量和脈衝電子澱積
前言/序言
多年以來,有很多探索研究已經成功地描述瞭晶體生長的生長工藝和科學,有許多文章、專著、會議文集和手冊對這一領域的前沿成果做瞭綜閤評述。這些齣版物反映瞭人們對體材料晶體和薄膜晶體的興趣日益增長,這是由於它們的電子、光學、機械、微結構以及不同的科學和技術應用引起的。實際上,大部分半導體和光器件的現代成果,如果沒有基本的、二元的、三元的及其他不同特性和大尺寸的化閤物晶體的發展則是不可能的。這些文章緻力於生長機製的基本理解、缺陷形成、生長工藝和生長係統的設計,因此數量是龐大的。
本手冊針對目前備受關注的體材料晶體和薄膜晶體的生長技術水平進行闡述。我們的目的是使讀者瞭解經常使用的生長工藝、材料生産和缺陷産生的基本知識。為完成這一任務,我們精選瞭50多位頂尖科學傢、學者和工程師,他們的閤作者來自於22個不同國傢。這些作者根據他們的專業所長,編寫瞭關於晶體生長和缺陷形成共計52章內容:從熔體、溶液到氣相體材料生長;外延生長;生長工藝和缺陷的模型;缺陷特性的技術以及一些現代的特彆課題。
本手冊分為七部分。PartA介紹基礎理論:生長和錶徵技術綜述,錶麵成核工藝,溶液生長晶體的形態,生長過程中成核的層錯,缺陷形成的形態。
PartB介紹體材料晶體的熔體生長,一種生長大尺寸晶體的關鍵方法。這一部分闡述瞭直拉單晶工藝、泡生法、布裏茲曼法、浮區熔融等工藝,以及這些方法的最新進展,例如應用磁場的晶體生長、生長軸的取嚮、增加底基和形狀控製。本部分涉及材料從矽和Ⅲ-V族化閤物到氧化物和氟化物的廣泛內容。
第三部分,本書的PartC關注瞭溶液生長法。在前兩章裏討論瞭水熱生長法的不同方麵,隨後的三章介紹瞭非綫性和激光晶體、KTP和KDP。通過在地球上和微重力環境下生長的比較給齣瞭重力對溶液生長法的影響的知識。
PartD的主題是氣相生長。這一部分提供瞭碳化矽、氮化鎵、氮化鋁和有機半導體的氣相生長的內容。隨後的PartE是關於外延生長和薄膜的,主要包括從液相的化學氣相澱積到脈衝激光和脈衝電子澱積。
PartF介紹瞭生長工藝和缺陷形成的模型。這些章節驗證瞭工藝參數和産生晶體質量問題包括缺陷形成的直接相互作用關係。隨後的PartG展示瞭結晶材料特性和分析的發展。PartF和G說明瞭預測工具和分析技術在幫助高質量的大尺寸晶體生長工藝的設計和控製方麵是非常好用的。
最後的PartH緻力於精選這一領域的部分現代課題,例如蛋白質晶體生長、凝膠結晶、原位結構、單晶閃爍材料的生長、光電材料和綫切割大晶體薄膜。
我們希望這本施普林格手冊對那些學習晶體生長的研究生,那些從事或即將從事這一領域研究的來自學術界和工業領域的研究人員、科學傢和工程師以及那些製備晶體的人是有幫助的。
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