出版社： 东南大学出版社
ISBN：9787564140533
版次：1
商品编码：11489686
包装：平装
开本：16开
出版时间：2014-03-01
页数：966
具体描述
内容简介
微机电系统（MEMS）技术是一个快速发展的前沿技术领域, 使用的材料种类多、工艺方法复杂, 需要系统地归纳、分析与整理, 以便于读者查阅。本手册是大型专业工具书, 以查阅为主。本书内容包括MEMS材料, MEMS加工工艺和制造工艺, MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。前言/序言
用户评价
评分
真心不错，留着肯定有用。一门技巧啊
评分有用
评分mems材料工艺，科技书籍
评分不像是正版，哎，不过当专业书籍看看也无妨
评分还不错但是一定要十个字以上就不太好了……
评分很好，很专业
评分有用
评分看着很好
评分很好
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