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MEMS材料與工藝手冊

MEMS材料與工藝手冊 下載 mobi epub pdf 電子書 2025

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林斌彥 著

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發表於2025-04-19

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圖書介紹

齣版社： 東南大學齣版社
ISBN：9787564140533
版次：1
商品編碼：11489686
包裝：平裝
開本：16開
齣版時間：2014-03-01
頁數：966


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圖書描述

內容簡介

微機電係統（MEMS）技術是一個快速發展的前沿技術領域, 使用的材料種類多、工藝方法復雜, 需要係統地歸納、分析與整理, 以便於讀者查閱。本手冊是大型專業工具書, 以查閱為主。本書內容包括MEMS材料, MEMS加工工藝和製造工藝, MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。

前言/序言


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用戶評價

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每本都包膜，不過外麵還是一個塑料袋，極易傷及圖書

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看著很好

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值得推薦的一本書，對工藝方麵覆蓋很廣

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