MEMS材料與工藝手冊

MEMS材料與工藝手冊 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2025

林斌彥 著
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齣版社: 東南大學齣版社
ISBN:9787564140533
版次:1
商品編碼:11489686
包裝:平裝
開本:16開
齣版時間:2014-03-01
頁數:966

具體描述

內容簡介

微機電係統(MEMS)技術是一個快速發展的前沿技術領域, 使用的材料種類多、工藝方法復雜, 需要係統地歸納、分析與整理, 以便於讀者查閱。本手冊是大型專業工具書, 以查閱為主。本書內容包括MEMS材料, MEMS加工工藝和製造工藝, MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。

前言/序言


用戶評價

評分

物流速度快哦

評分

還沒看,專業書籍,慢慢研究。

評分

正版書,值得一看,快遞很給力!

評分

評分

內容相當實用,做MEMS必備案頭書。唯一缺點就是書太厚,時間久瞭恐怕要散。

評分

真心不錯,留著肯定有用。一門技巧啊

評分

還不錯

評分

不錯,專業書籍。

評分

內容詳盡,通俗易懂,有一定的參考價值

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