发表于2024-11-27
本书主要介绍了应用于MIM(金属绝缘体金属)电容器的高介电常数的新型弛豫铁电材料PMNT[铌镁酸铅钛酸铅,Pb(Mg0.33Nb0.67)0.65Ti0.35O3]的电气特性; 设计、制造和研究了一系列的圆形电容器、传输线路及方形电容器测试结构,从而获得了PMNT材料的介电性能。
本书为后续研究领域中的测试结构设计和测量技术范围的扩大提出了建议,展望了新型弛豫铁电晶体材料PMNT在未来的发展和应用前景。
本书可供微电子工程领域的研究机构、学校师生以及相关领域的工程技术人员学习参考。
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