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出版社： 东南大学出版社
ISBN：9787564140533
商品编码：29688172947
页数：966
具体描述
| 图书基本信息 | |
| 书名： | MEMS材料与工艺手册 |
| 丛书名： | 微纳系列译丛 |
| 作者/主编： | 格迪斯，林斌，黄庆安 |
| 出版社： | 东南大学出版社 |
| ISBN号： | 9787564140533 |
| 出版年份： | 2014年3月1日 |
| 版次： | 第1 版 |
| 总页数： | 966页 |
| 开本： | 16 |
| 图书定价： | 198元 |
| 实际重量： | 1280g |
| 新旧程度： | 正版全新 |
编辑
《MEMS材料与工艺手册》是大型工具书，以查阅为主，适合于微电子技术、半导体技术、传感器技术、微机电、仪器仪表、物联网技术等领域的高年级本科生、研究生及工程科研技术人员阅读和参考。
作者简介
作者：（美国）利萨·格迪斯（Reza Ghodssi） （美国）林斌彦（Pinyen Lin） 译者：黄庆安
1MEMS设计流程
2半导体和介质材料的添加工艺
3金属材料的添加工艺
4聚合物材料的添加工艺
5压电材料的添加工艺：压电MEMS
6形状记忆合金材料与工艺
7微机械加工中的干法刻蚀
8MEMS湿法腐蚀工艺和过程
9MEMS光刻和微加工技术
10MEMS中的掺杂工艺
11圆片键合
12MEMS封装材料
13表面处理及平坦化
14MEMS工艺集成
微机电（MEMS）技术是一个快速发展的前沿技术领域, 使用的材料种类多、工艺方法复杂, 需要地归纳、分析与整理, 以便于读者查阅。本手册是大型工具书, 以查阅为主。本书内容包括MEMS材料, MEMS加工工艺和制造工艺, MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。
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