店鋪： 佳期如夢圖書專營店
齣版社： 東南大學齣版社
ISBN：9787564140533
商品編碼：29688172947
頁數：966
具體描述
| 圖書基本信息 | |
| 書名： | MEMS材料與工藝手冊 |
| 叢書名： | 微納係列譯叢 |
| 作者/主編： | 格迪斯，林斌，黃慶安 |
| 齣版社： | 東南大學齣版社 |
| ISBN號： | 9787564140533 |
| 齣版年份： | 2014年3月1日 |
| 版次： | 第1 版 |
| 總頁數： | 966頁 |
| 開本： | 16 |
| 圖書定價： | 198元 |
| 實際重量： | 1280g |
| 新舊程度： | 正版全新 |
編輯
《MEMS材料與工藝手冊》是大型工具書，以查閱為主，適閤於微電子技術、半導體技術、傳感器技術、微機電、儀器儀錶、物聯網技術等領域的高年級本科生、研究生及工程科研技術人員閱讀和參考。
作者簡介
作者：（美國）利薩·格迪斯（Reza Ghodssi） （美國）林斌彥（Pinyen Lin） 譯者：黃慶安
1MEMS設計流程
2半導體和介質材料的添加工藝
3金屬材料的添加工藝
4聚閤物材料的添加工藝
5壓電材料的添加工藝：壓電MEMS
6形狀記憶閤金材料與工藝
7微機械加工中的乾法刻蝕
8MEMS濕法腐蝕工藝和過程
9MEMS光刻和微加工技術
10MEMS中的摻雜工藝
11圓片鍵閤
12MEMS封裝材料
13錶麵處理及平坦化
14MEMS工藝集成
微機電（MEMS）技術是一個快速發展的前沿技術領域, 使用的材料種類多、工藝方法復雜, 需要地歸納、分析與整理, 以便於讀者查閱。本手冊是大型工具書, 以查閱為主。本書內容包括MEMS材料, MEMS加工工藝和製造工藝, MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。
用戶評價
評分
評分
評分
評分
評分
評分
評分
評分
評分
相關圖書
本站所有內容均為互聯網搜尋引擎提供的公開搜索信息，本站不存儲任何數據與內容，任何內容與數據均與本站無關，如有需要請聯繫相關搜索引擎包括但不限於百度，google,bing,sogou 等
© 2025 book.cndgn.com All Rights Reserved. 新城书站 版權所有