基本信息
書名:透明氧化物半導體
定價:148.00元
售價:111.0元,便宜37.0元,摺扣75
作者:馬洪磊,馬瑾
齣版社:科學齣版社
齣版日期:2017-02-01
ISBN:9787030416643
字數:
頁碼:
版次:31
裝幀:圓脊精裝
開本:16開
商品重量:0.4kg
編輯推薦
《透明氧化物半導體》可作為大專院校凝聚態物理、微電子學與固體電子學、光電子學、電子材料與元器件、材料物理與化學等相關專業研究生的教材或參考書,也可供從事透明氧化物半導體教學、科研的教師、科學研究人員和工程技術人員參考。
內容提要
《透明氧化物半導體》重點闡述瞭已經得到廣泛應用或具有重要應用前景的8種氧化物半導體的製備技術、晶體結構、形貌、缺陷、電子結構、電學性質、磁學性質、壓電性質、光學性質和氣敏性質,既包含瞭作者近30年的研究成果,又反映瞭國內外透明氧化物半導體重要研究成果,既包含瞭早期透明氧化物半導體成熟理論,又反映瞭當前國際上透明氧化物半導體的*成果,重點突齣,內容係統、全麵、新穎,具有重要的科學意義和應用價值。
目錄
目錄 v
vi 透明氧化物半導體
目錄
前言
緒論1
章氧化物薄膜的製備技術5
1 1真空蒸發技術6
1 1 1金屬和化閤物蒸發6
1 1 2蒸發源的加熱裝置9
1 2MBE技術12
1 3濺射技術14
1 3 1雙極直流反應濺射15
1 3 2偏壓濺射16
1 3 3射頻濺射18
1 3 4磁控濺射19
1 3 5離子束濺射22
1 4離子鍍技術23
1 5CVD技術24
1 5 1APCVD和LPCVD技術25
1 5 2PECVD技術26
1 5 3MOCVD技術27
1 6溶液鍍膜技術30
1 6 1噴塗高溫分解30
1 6 2浸塗技術31
1 6 3化學溶解生長31
1 6 4sol gel技術32
1 7陽極氧化技術33
1 7 1陽極氧化技術33
1 7 2等離子體陽極氧化技術34
參考文獻36
第2章氧化物半導體基礎41
2 1金屬氧化物晶體結構41
2 1 1MO 型金屬氧化物的典型晶體結構41
2 1 2MO2型金屬氧化物晶體的典型晶體結構42
2 1 3M2O3型金屬氧化物的典型晶體結構43
2 2金屬氧化物的缺陷44
2 2 1金屬氧化物晶體缺陷類型44
2 2 2金屬氧化物晶體點缺陷理論基礎45
2 3金屬氧化物半導體的電學性質50
2 3 1金屬氧化物半導體的電子結構51
2 3 2金屬氧化物半導體的載流子濃度52
2 3 3金屬氧化物半導體載流子輸運散射機製54
2 4氧化物半導體的磁學性質57
2 4 1稀磁氧化物半導體的摻雜元素58
2 4 2氧化物半導體的鐵磁性起源60
2 5透明氧化物半導體的光學性質62
2 5 1透明氧化物半導體的光學常數62
2 5 2Burstein Moss移動67
2 5 3透明氧化物半導體薄膜的PL特性70
2 6金屬氧化物半導體的氣敏特性74
參考文獻76
目錄 vii
vi 透明氧化物半導體
第3章ZnO薄膜81
3 1ZnO薄膜的晶體結構82
3 1 1ZnO的晶體結構82
3 1 2ZnO薄膜的XRD譜84
3 1 3ZnO薄膜的Raman譜86
3 1 4ZnO薄膜的RHEED圖案88
3 1 5ZnO薄膜的HRTEM圖像90
3 2ZnO的電子結構90
3 3ZnO的本徵點缺陷92
3 4ZnO薄膜的電學性質94
3 4 1本徵ZnO的弱n型導電94
3 4 2ZnO的摻雜96
3 4 3ZnO薄膜載流子散射機製99
3 5ZnO薄膜的磁學性質和壓電性質100
3 5 1ZnO基稀磁半導體100
3 5 2ZnO薄膜的壓電性質 102
3 6ZnO薄膜的光學性質103
3 6 1ZnO薄膜的光透射譜103
3 6 2ZnO薄膜的PL特性105
3 6 3ZnO薄膜的激子受激發射特性108
參考文獻109
第4章SnO2薄膜114
4 1SnO2薄膜的晶體結構115
4 1 1SnO2的晶體結構115
4 1 2SnO2薄膜的XRD譜116
4 1 3SnO2薄膜的Raman譜120
4 1 4SnO2薄膜的TEM和HRTEM圖像123
4 1 5SnO2薄膜的XPS譜125
4 1 6SnO2薄膜的RBS譜127
4 2金紅石SnO2的電子結構127
4 3SnO2薄膜的電學性質129
4 3 1金紅石SnO2的本徵缺陷129
4 3 2金紅石SnO2薄膜的摻雜131
4 3 3金紅石SnO2薄膜載流子散射機製133
4 3 4鈮鐵礦SnO2薄膜的電學性質135
4 4SnO2薄膜的磁學性質136
4 5SnO2薄膜的光學特性137
4 5 1SnO2薄膜的光透射譜138
4 5 2SnO2薄膜的PL特性141
4 6金紅石SnO2薄膜的氣敏特性144
參考文獻145
第5章TiO2薄膜151
5 1TiO2薄膜的晶體結構152
5 1 1TiO2的晶體結構152
5.1.2TiO2薄膜的XRD譜153
5 1 3TiO2薄膜的Raman譜157
5 1 4TiO2薄膜的XPS譜159
5 1 5TiO2的RBS譜159
5 2TiO2的電子結構161
5 3TiO2的本徵點缺陷164
5 4TiO2薄膜的電學性質168
5 5TiO2薄膜的磁學性質173
5 6TiO2薄膜的光學性質175
5 6 1TiO2薄膜的光透射譜175
5 6 2TiO2薄膜的PL特性177
5 6 3TiO2薄膜的光學常數179
5 7TiO2薄膜的光催化特性181
參考文獻183
目錄 ix
viii 透明氧化物半導體
第6章In2O3薄膜190
6 1In2O3薄膜的晶體結構190
6 1 1In2O3薄膜的晶體結構190
6 1 2In2O3薄膜的XRD譜192
6 1 3In2O3薄膜的Raman譜195
6 1 4In2O3薄膜的HRTEM圖像197
6 1 5In2O3薄膜的XPS譜200
6 1 6In2O3薄膜的RBS譜201
6 2In2O3的電子結構203
6 3In2O3薄膜的電學性質205
6 3 1In2O3的本徵點缺陷205
6 3 2In2O3薄膜的電導特性207
6 3 3In2O3薄膜載流子散射機製211
6 4In2O3薄膜的磁學性質212
6 5In2O3薄膜的光學性質213
6 5 1In2O3薄膜的光透射譜214
6 5 2In2O3薄膜的PL特性216
6 5 3In2O3薄膜的光學常數217
6 6In2O3薄膜的氣敏特性220
參考文獻222
第7章Ga2O3薄膜227
7 1Ga2O3薄膜的晶體結構228
7 1 1Ga2O3的晶體結構228
7 1 2Ga2O3薄膜的XRD譜229
7 1 3β Ga2O3的薄膜HRTEM圖像232
7 1 4β Ga2O3薄膜的Raman譜235
7 1 5β Ga2O3的XPS譜237
7 1 6Ga2O3薄膜的RBS譜238
7 2Ga2O3的電子結構239
7 3Ga2O3薄膜的電學性質242
7 3 1Ga2O3的點缺陷242
7 3 2Ga2O3薄膜的電學性質244
7 4Ga2O3薄膜的光學性質246
7 4 1Ga2O3薄膜的光透射譜246
7 4 2Ga2O3薄膜的PL特性249
7 4 3Ga2O3的薄膜CL特性252
7 4 4Ga2O3薄膜的光學常數254
7 5β Ga2O3薄膜的氣敏特性256
參考文獻258
第8章MgZnO薄膜263
8 1MgZnO薄膜的晶體結構264
8 1 1MgZnO薄膜的晶體結構264
8 1 2MgZnO薄膜的XRD譜265
8 1 3MgZnO薄膜的Raman譜269
8 1 4MgZnO薄膜的AFM圖像270
8 1 5MgZnO薄膜的TEM和HRTEM圖像271
8 1 6MgZnO的XPS譜273
8 1 7MgZnO薄膜的RBS譜275
8 2MgZnO的電子結構276
8 3MgZnO薄膜的電學和磁學性質280
8 3 1MgZnO薄膜的電學性質280
8 3 2MgZnO薄膜的磁學性質282
8 4MgZnO的光學性質283
8 4 1MgZnO薄膜的光透射譜283
8 4 2MgZnO薄膜的PL特性286
8 4 3MgZnO薄膜的長波光學聲子性質290
8 4 4MgZnO薄膜的光學常數292
參考文獻296
第9章GaInO和InGaZnO薄膜299
9 1引言299
9 2GaInO薄膜299
9 2 1GaInO薄膜的晶體結構300
9 2 2GaInO薄膜的電學性質307
9 2 3GaInO薄膜的光學性質309
9 3InGaZnO薄膜311
9 3 1InGaZnO薄膜的晶體結構312
9 3 2InGaZnO薄膜的電學性質315
9 3 3InGaZnO薄膜的光學性質325
參考文獻326
目錄 ix
x 透明氧化物半導體
0章透明氧化物電子學330
10 1引言330
10 2透明氧化物薄場效應膜晶體管332
10 2 1c IGZO TFT333
10 2 2a IGZO TFT335
10 2 3ZnO TFT344
10 3紫外發光二極管和激光二極管349
10 3 1UV LED350
10 3 2UV LD356
10 4透明UV探測器359
參考文獻363
索引368
《半導體科學與技術叢書》已齣版書目376
彩圖377
作者介紹
文摘
序言
我購買這本《透明氧化物半導體》很大程度上是因為我對材料科學的個人興趣,而非齣於專業需求。我一直對能夠改變我們生活方式的“黑科技”著迷,而透明氧化物半導體無疑是其中之一。我常常會想,為什麼玻璃是透明的,而金屬通常是導電的,為什麼會有材料能夠同時具備這兩種看似難以調和的特性?這本書的齣現,給瞭我一個深入探究這個奧秘的機會。我希望書中能用通俗易懂的語言,解釋清楚透明氧化物半導體是如何實現“隱形”導電的,比如電子是如何在這些材料中自由移動,而光又是如何穿透它們的。我特彆期待書中能有一些生動的比喻或者形象的插圖,幫助我理解那些抽象的物理概念。此外,我很好奇這些材料的發現和發展曆程,以及那些為之做齣貢獻的科學傢們的故事。如果書中能穿插一些相關的曆史趣聞或者技術發展的小故事,那將大大提升閱讀的趣味性,讓我覺得這不僅僅是一本技術書籍,更是一部關於人類智慧和探索的精彩篇章。
評分這本《透明氧化物半導體》的封麵設計就很有意思,一種純淨的淺藍色,點綴著一些抽象的幾何圖形,像是電子在晶格中穿梭的軌跡。我拿到這本書的時候,首先吸引我的就是它那種沉靜而充滿科技感的視覺語言。翻開目錄,看到“氧化鋅”、“氧化锡”、“氧化銦鎵鋅”這些熟悉又陌生的名詞,立刻勾起瞭我對這個領域的好奇心。我一直覺得半導體材料是現代科技的基石,而透明氧化物半導體更是賦予瞭它一種“隱形”的強大,能在我們日常接觸到的許多設備中發揮著至關重要的作用。例如,觸摸屏、OLED顯示器,甚至太陽能電池,這些令人驚嘆的技術背後,都有透明氧化物半導體的身影。我曾聽說過一些關於TCO(Transparent Conductive Oxide)的科普文章,但總是覺得淺嘗輒止,不夠深入。這本書的齣現,就像是為我打開瞭一扇通往更深層次理解的大門。我期待能在這本書中,不僅瞭解到這些材料的基本結構和性質,更能深入探究它們是如何被製備齣來,又如何在各種應用中展現齣卓越性能的。我希望作者能用清晰易懂的語言,結閤豐富的實例,為我們揭示這些“看不見的”半導體材料的神奇世界,讓普通讀者也能領略到其中的科學魅力。
評分我對這本書的期待,更多地集中在它的理論深度和前沿性上。我是一名對材料科學有濃厚興趣的學生,平時也接觸一些相關的文獻,但往往發現很多細節難以完全掌握,尤其是關於不同製備工藝對材料性能的影響,以及各種缺陷如何調控其導電和光學特性的問題。這本書的書名“透明氧化物半導體”,本身就包含瞭“透明”和“導電”這兩個看似矛盾的特性,這本身就是一個非常引人入勝的研究方嚮。我希望書中能夠詳盡地闡述其物理基礎,比如能帶理論、載流子輸運機製、光學吸收與透射原理等。同時,我特彆關注書中是否會深入探討各種氧化物體係,例如IGZO(氧化銦鎵鋅)在TFT(薄膜晶體管)領域的技術突破,以及其在柔性電子中的應用前景。此外,對於新型透明氧化物半導體材料的開發和探索,以及相關的錶徵技術(如XPS、XRD、AFM等)的應用,我也充滿瞭期待。這本書若能提供一個全麵而深入的視角,將有助於我係統地理解這個領域的研究現狀和發展趨勢,為我未來的學術研究打下堅實的基礎。
評分作為一個電子工程師,我經常需要在實際工作中接觸到各種半導體材料。而透明氧化物半導體,尤其是在顯示技術和觸控屏領域,扮演著不可或缺的角色。我手中這本《透明氧化物半導體》,從書名上看,就充滿瞭實用性和前瞻性。我最希望瞭解的,是書中關於不同類型透明氧化物半導體材料的性能對比,比如在導電率、透過率、穩定性、成本以及可加工性等方麵的優劣勢分析。這對於我們進行器件設計和選材非常有指導意義。我還會關注書中關於薄膜製備技術,如濺射、化學氣相沉積(CVD)、原子層沉積(ALD)等,在實際應用中的具體參數設置和工藝優化。此外,我希望書中能提供一些關於器件失效分析的案例,以及如何通過材料優化來提高器件的可靠性和壽命。對於未來透明氧化物半導體在柔性顯示、低功耗電子設備、甚至生物傳感器等新興領域的應用,我也十分好奇,希望這本書能給我帶來一些啓發和新的思路。
評分這本書給我最直觀的感受,就是它在學術嚴謹性和內容廣度上的平衡。我瞭解到,透明氧化物半導體是一個非常龐大且不斷發展的研究領域,涉及的材料種類繁多,應用場景也日益廣泛。我希望這本書能夠係統地梳理和介紹這些核心內容,為讀者構建一個清晰的知識框架。例如,對於不同類型的氧化物半導體,如AZO(氧化鋁摻雜氧化鋅)、ITO(氧化銦锡)、IGZO等,書中是否會詳細介紹它們的晶體結構、電子能帶結構、載流子類型與濃度、以及光學性能(透過率、吸收邊緣等)?對於製備方法,書中是否會涵蓋從實驗室研究到工業化生産的各種主流工藝,並分析它們的優缺點?在應用方麵,我特彆關注其在LED、OLED、LCD、光伏電池、傳感器以及透明導電薄膜等領域的最新進展和技術挑戰。這本書若能提供豐富的參考文獻和深入的理論分析,將極大地提升其學術價值,成為我進行相關領域學習和研究的寶貴參考資料。
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