扫描电镜与能谱仪分析技术 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025

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张大同 著

图书标签:

• 扫描电镜
• 能谱仪
• SEM
• EDS
• 材料分析
• 表面分析
• 微观表征
• 分析技术
• 电子显微镜
• 材料科学

出版社： 华南理工大学出版社

ISBN：9787562328858

版次：1

商品编码：10040023

品牌：墨点

包装：平装

开本：16开

出版时间：2009-02-01

用纸：胶版纸

页数：151

字数：213000

正文语种：中文

编辑推荐

　　《扫描电镜与能谱仪分析技术》可供在金属、高分子、无机、机械、微电子、半导体、矿物、化工、造纸等领域从事研究、生产的科技人员及大专院校师生参考。

内容简介

　　本书是关于扫描电子显微镜和x-射线能谱议的专著，全书共十章。一章至第七章介绍扫描电镜基础知识、电子束与样品的相互作用、工作原理与结构、图像衬度与成因、图像质量与操作要点、几种成像技术、电镜安装与验收；第八章与第九章分别介绍能谱仪的结构、原理和应用技术；第十章为样品制备。
　　全书以实用为目的，结合材料学科的特点，在理论阐述基础上，提供切实可行的实验技术。
　　本书可供在金属、高分子、无机、机械、微电子、半导体、矿物、化工、造纸等领域从事研究、生产的科技人员及大专院校师生参考。

内页插图

目录

第一章 基础知识
一、分辨率和光的衍射
二、电子波和电磁透镜
三、电磁透镜的像差
四、几种显微镜的比较
小结

第二章 电子束与样品的相互作用
一、散射
二、相互作用区
三、样品受激发出射的主要信号
小结

第三章 扫描电镜的工作原理和结构
一、常用概念
二、扫描电镜的结构
三、扫描电镜分类
小结

第四章 扫描电镜图像衬度和成因
一、形貌衬度
二、成分衬度
小结

第五章 扫描电镜图像质量和操作要点
一、衬度阈
二、分辨率限度
三、电子束斑直径与束流的关系
四、操作要点
小结

第六章 扫描电镜几种成像与衍射技术
一、低电压成像技术
二、低真空成像技术
三、环境扫描成像技术
四、电子背散射衍射技术
小结

第七章 扫描电镜的安装和验收
一、安装
二、验收
小结

第八章 X射线能谱仪
一、x射线的产生和与物质的相互作用
二、能谱仪的结构
三、工作原理
四、能谱仪的分析特点与应用
五、能谱仪的安装和验收
六、X射线分析限度
七、硅漂移探测器
小结

第九章 X射线能谱仪分析技术
一、与采谱有关的几个参数
二、电镜加速电压的选择
三、X射线吸收程
四、定性分析
五、定量分析
六、颗粒检测技术
七、能谱仪的维护和校准
八、能谱仪与波谱仪的比较
小结

第十章 样品制备技术
一、取样
二、清洁
三、安装
四、样品截面的制备
五、镀膜
六、微区成分分析样品制备技术
小结
参考文献

精彩书摘

　　为了观察0.5 ％的衬度值必须利用10A的束流，若仍利用10A的束流，其0.5 ％的衬度均消失在背景噪声中。因此为了使低衬度能够成像，只好加大束流以满足上式要求，但这必须付出代价，即只能用较大束斑尺寸工作，图像的分辨率会显著降低，微小细节无法辨认，这点将在后面讨论。
　　二、分辨率限度
　　分辨率是扫描电镜的重要指标，通常定义为可分辨开的两个最近物点的距离。通常利用测量分辨率的标准样品，拍摄二次电子像，在图像上测量可分辨开的两个最近像点的间距6min。（见图5—1），除以放大倍率M，即为分辨率尺：
　　电子束与样品相互作用过程中产生的各种物理信号来自不同的取样深度，选用不同的信号成像，就会得到不同的分辨率。二次电子能量低，一般小于50eV，在样品中穿行的平均自由程不足10nm，只能从表面浅层里出射，在这个区域里，入射电子与样品原子仅发生有限次数的散射，基本上未经横向扩散就激发出大量二次电子。因此，认为在样品上方检测到的二次电子主要来自与扫描束斑直径相当的区域。在理想情况下，二次电子像的分辨率应等于束斑直径。另外，二次电子对微区形貌最敏感，所以扫描电镜分辨率的确定是以二次电子像为依据，各生产厂家均遵循这个规定，二次电子像的分辨率即为扫描电镜分辨率。
　　分辨率是衡量仪器性能的一个重要的综合性指标，在扫描电镜中，最终获得的分辨率受4个主要因素的限制：①仪器的电子光学性能；②样品／探测器系统所产生的衬度；③样品中信号的取样区范围；④周围环境的影响。下面进行详细讨论。
　　1.电子光学限度电子光学系统的作用是将直径d。的电子源逐级缩小，提供一个直径最小的扫描束斑dmin和最大的束流imin，以满足图像分辨率和衬度要求。在理想状态下，如果电子光学系统的缩小倍率M足够大，就可以获得无限小的最终扫描束斑dp，电镜的分辨率非常高。

前言/序言

　　随着科学技术的发展，扫描电子显微技术和X射线微区分析已成为检测物质性能的重要手段。我国目前已拥有相当数量的扫描电镜和能谱仪，今后将会有更多的单位装备这类先进仪器。扫描电镜和能谱仪用于金属、陶瓷、高分子、水泥、半导体、化工、矿产、纸张、食品等材料的显微形貌观察、相组织与晶体结构分析、微区化学成分检测等，对零部件的失效分析、纳米或复合新材料的表征，是不可替代的设备。电子显微分析应用队伍也在不断壮大，均需要有合适的参考书籍以深入了解仪器的物理本质、工作原理、主要结构和实际应用。本书包含了上述基本內容，另外，对近年来电子显微分析技术的新进展，如低电压操作、可变压力、环境扫描、电子背散射衍射、硅漂移探测器等，均做了详实的介绍。对于能谱仪的应用和样品制备技术，根据实践经验提供切实可行的指导和建议。本书对于仪器使用、学生培养、科研工作上水平都是非常必要的。
　　本书为适合不同专业和水平的读者使用，尽量减少繁琐的理论细节和数学推导，力求深入浅出地阐明问题，并结合多年的工作经验，在仪器应用方面提供行之有效的建议。本书不仅适合作为高校教材，而且对于工矿、企业和公司等用户也是一本技术性和实用性强的专业参考书。
　　作者在此衷心感谢分析测试中心李家明、陈永铿工程师的有益讨论和提供的照片；感谢郭莉萍与吴东晓等同事在出书过程中的帮助和支持；感谢材料学院王辉、焦东玲老师，曹辉亮、胡仁宗等博士生对原稿的编辑工作。中山大学测试中心赵文霞老师审阅了部分章节，在此深表谢意。
　　由于作者水平有限，内容难免有错误和不妥之处，恳请读者批评指正。

科学探索的微观画卷：从原子尺度到材料特性 本书并非关于扫描电镜与能谱仪分析技术，而是将我们带入一个更为宏观，却又同样充满奥秘的科学领域。我们将以一种全新的视角，探索生命、宇宙以及人类文明的演进。本书旨在激发读者对科学的无限好奇，理解事物背后深刻的联系，并认识到知识的边界正在不断拓展。 第一章：生命的起源与演化——宇宙尘埃中的奇迹 从构成一切物质的最基本粒子开始，我们追溯生命的起源。在宇宙大爆炸的余晖中，简单的元素如何汇聚，在漫长的岁月中，孕育出复杂的有机分子？本书将深入探讨早期地球的环境，以及在这些条件下，第一个生命的火花是如何被点燃的。我们将回顾演化论的基石，理解DNA的出现如何为生命的变异与适应提供了蓝图，以及基因的自然选择如何塑造了如今我们所见的生物多样性。 从单细胞生物的出现，到多细胞生命的复杂化，本书将描绘地球生命演化壮丽的画卷。我们将考察寒武纪生命大爆发的奇迹，见证恐龙时代的辉煌与陨落，探索哺乳动物的崛起，以及最终，人类的出现如何改变了地球的面貌。这其中，地理环境的变迁、气候的波动、以及小行星撞击等重大事件，都扮演着至关重要的角色。本书将以引人入胜的故事和科学事实，揭示生命演化的非线性与偶然性，同时也强调其内在的逻辑与规律。 我们还将审视生命的适应性，从极端环境下的微生物，到深海的奇特生物，再到飞向天空的鸟类。这些生命的智慧，是如何通过数百万年的演化而获得？它们又为我们理解生命本身的本质，提供了怎样的启示？本书将鼓励读者跳出固有的思维模式，去欣赏生命在不同尺度上的美丽与复杂。 第二章：宇宙的浩瀚与生命的意义——星辰大海中的回响 本章将带领读者一同仰望星空，探索宇宙的起源、结构和未来。从我们所处的太阳系，到浩瀚的银河系，再到亿万光年之外的星系团，我们将理解宇宙的尺度之大，超乎我们的想象。本书将介绍宇宙学的基本概念，如宇宙膨胀、暗物质、暗能量等，并探讨当前天文学家正在研究的热门课题，例如黑洞的形成与性质、引力波的探测、以及系外行星的搜寻。 我们并非宇宙中唯一的智慧生命吗？本书将积极探讨地外生命的可能性。从宇宙中适合生命存在的条件，到搜寻地外文明（SETI）的努力，我们将思考生命存在的普遍性与独特性。即便我们尚未发现其他文明，思考这个问题本身，也将极大地拓展我们的视野，并促使我们重新审视自身在宇宙中的位置。 生命的意义，是人类永恒的哲学命题。本书将从科学的角度，探讨生命存在的意义。是生物学上的繁衍与基因的延续？是意识的觉醒与精神的追求？还是在宇宙尺度上，为宇宙增添一丝短暂而独特的存在？本书将鼓励读者进行深刻的自我反思，认识到生命的价值在于其独特性、创造性以及与整个宇宙的连接。我们将理解，即使在浩瀚的宇宙中，每一个生命的存在，都自有其不可替代的价值。 第三章：人类文明的曙光与传承——智慧的火炬如何传递 本章将聚焦人类文明的演进，从原始社会的萌芽，到农业革命的奠基，再到工业革命的飞跃，以及信息时代的到来。我们将考察人类社会组织形式的变迁，理解语言、文字、艺术、宗教等文化符号如何塑造了我们的身份认同。本书将强调知识的积累与传承，以及每一次重大的技术创新如何推动了人类文明的进程。 我们将探讨不同文明之间的交流与碰撞，以及它们如何相互影响，共同构成了今天多元化的世界。从古老的丝绸之路，到大航海时代的发现，再到现代全球化的进程，本书将展现人类社会相互连接日益紧密的趋势。同时，我们也将反思文明冲突的根源，并思考如何构建一个更加和谐共存的世界。 知识的获取与传播，是人类文明得以延续的关键。本书将强调教育的重要性，以及科学精神的普及对于社会进步的意义。从古代的智慧传承，到现代的学术研究，再到互联网时代的知识共享，我们将看到信息传播方式的巨大变革。本书将鼓励读者保持终身学习的热情，积极参与到知识的创造与传播中来，为人类文明的未来贡献力量。 第四章：探索未知的边界——科学与哲学的交汇 在本章，我们将超越具体的科学领域，去探讨科学研究本身的方法论和哲学基础。我们将审视科学的演进过程，理解理论的提出、实验的验证、以及科学范式的转变。本书将强调批判性思维的重要性，以及保持开放心态去接纳新思想的必要性。 我们将探讨科学与哲学的关系，理解它们是如何相互启发，共同推动人类对世界认知的深化。从古代哲学家对自然现象的观察，到现代科学理论的建立，我们可以看到两者之间密不可分的联系。本书将鼓励读者在学习科学知识的同时，也去思考那些更深层次的哲学问题，例如意识的本质、自由意志的存在、以及道德的起源等。 未来的科学将走向何方？本书将展望科学研究的前沿领域，例如人工智能、基因编辑、量子计算、太空探索等。我们将讨论这些新兴技术可能带来的机遇与挑战，以及它们将如何重塑我们的生活和社会。本书将激励读者敢于想象，勇于探索，成为未来科学发展的参与者和贡献者。 结语：一颗好奇的心，一场永无止境的探索 科学是一场永无止境的探索之旅。本书所描绘的，仅仅是这宏伟旅程中的一小部分。生命、宇宙、以及人类文明，每一个领域都蕴含着无尽的奥秘，等待着我们去发现。 本书并非提供终极的答案，而是希望点燃读者心中那颗对未知世界的好奇之火。当我们以开放的视野去观察，以理性的思维去思考，以探索的精神去实践，我们将发现，科学无处不在，它渗透在我们生活的每一个角落，连接着我们与整个宇宙。 愿本书能成为您探索科学奥秘的起点，愿您在未来的探索之路上，收获无尽的惊喜与启迪。记住，最伟大的发现，往往源于最单纯的好奇。

评分☆☆☆☆☆

这本书的名称预示着它可能是一本深入探讨微观分析技术的专业书籍。我是一名在化学分析领域工作的研究人员，我的研究方向涉及复杂样品的元素组成和微观结构分析。我希望这本书能够深入阐述扫描电镜（SEM）和能谱仪（EDS）在这些分析中的高级应用。例如，在SEM部分，我期待看到关于高分辨率成像技术，如场发射枪（FEG-SEM）的应用，以及如何利用不同探测器组合（如多探测器系统）来获取更丰富的形貌和物相信息。对于EDS，我希望书中能详细介绍其在痕量元素分析、表面化学态分析（如结合XPS）以及二维/三维元素分布 mapping 中的应用。此外，我希望书中能够探讨一些前沿的分析技术，比如利用能量色散X射线光谱（EDS）进行材料的相鉴定，或者结合其他分析技术（如TEM-EDS）来解决更复杂的科研问题。对我而言，一本能够提供最新研究进展和深入分析方法的书籍，将对我未来的研究工作产生深远影响。

评分☆☆☆☆☆

看到这本书的书名，我立刻联想到了它可能提供的关于微观世界探索的奥秘。我是一名对物质科学充满好奇的业余爱好者，我希望这本书能够以一种相对易懂的方式，向我展示扫描电镜（SEM）和能谱仪（EDS）是如何工作的。我期待书中能用生动的语言解释SEM成像的基本原理，比如电子束是如何与样品相互作用，产生各种信号（二次电子、背散射电子）并最终形成图像的。对于EDS，我希望能够理解它为何能够“看到”物质的成分，比如当电子束轰击样品时，为什么会发出特定能量的X射线，以及这些X射线又如何被探测器捕捉并转化为成分信息。我不太需要过于复杂的数学公式和理论推导，更希望通过大量的图示和类比，来帮助我理解这些概念。如果书中能够展示一些令人惊叹的SEM图像，比如微观结构的精美细节，或者EDS分析揭示的元素分布图，那将极大地激发我的学习兴趣。

评分☆☆☆☆☆

这本书的标题直击主题，让我觉得它是一本非常实用的技术手册。我是一名在实验室工作的技术人员，日常工作需要频繁使用扫描电镜（SEM）和能谱仪（EDS）。我希望这本书能够为我提供关于这些仪器日常维护、故障排除以及性能优化的宝贵经验。例如，在SEM部分，我希望能了解到电子枪的维护保养方法，真空系统的清洁与检查，以及各种成像模式的常见问题及解决方法。对于EDS，我期待书中能提供关于探测器清洁、校准的详细步骤，以及如何处理谱图中可能出现的各种干扰，比如重叠峰、背景噪声等。此外，我也希望书中能有一些关于提高分析效率和数据质量的技巧，比如如何快速进行样品定位，如何优化采集时间和计数率，以及如何选择合适的标准样品进行定量校正。一本能够帮助我提高工作效率并保证数据准确性的参考书，对我来说具有极高的价值。

评分☆☆☆☆☆

这本书的封面设计相当朴实，甚至可以说有些年代感，这让我一开始对内容产生了些许疑虑。然而，当我翻开第一页，便被一股严谨的学术气息所吸引。虽然书名点明了“扫描电镜与能谱仪分析技术”，但我预期它会深入浅出地讲解这些复杂仪器的原理，并辅以大量的实验案例，让我这个初学者也能逐步掌握。我期待书中能够详细阐述不同类型扫描电镜（SEM）的成像机制，比如二次电子（SE）、背散射电子（BSE）成像的原理和应用差异，以及如何根据样品特性选择合适的成像模式。同时，对于能谱仪（EDS/EDX）的部分，我希望能看到关于其X射线产生原理、能谱采集过程、谱图解析技巧的详尽介绍，包括如何识别不同元素的特征峰，如何进行定量分析，以及可能遇到的各种干扰和校正方法。此外，我非常希望书中能够包含一些典型的样品分析实例，比如金属材料的微观形貌观察、合金元素的成分分析、矿物的相结构鉴定等，这些实际案例将是检验理论知识的最佳途径，也能帮助我理解这些技术在实际科研和工业生产中的价值。

评分☆☆☆☆☆

这本书的装帧风格更偏向于经典学术著作，给人一种厚重感和专业性。我是一名材料科学领域的在读研究生，对扫描电镜（SEM）和能谱仪（EDS）的应用有着迫切的需求。我希望这本书能够提供关于这些仪器的操作指南，不仅仅是理论，更重要的是实践层面的指导。例如，在SEM部分，我希望了解到样品的制备方法，不同材料（导电、绝缘）的制备技巧，以及高真空、低真空环境对成像的影响。对于EDS，我期待书中能详细介绍如何进行能谱采集的最佳参数设置，比如加速电压、束流大小、探测器距离等，以及如何进行定性与定量分析。更重要的是，我希望书中能够包含一些关于数据后处理和图像分析的章节，例如如何利用图像处理软件对SEM图像进行形貌特征提取，如何对EDS谱图进行去背景、峰拟合，以及如何将SEM形貌与EDS成分信息进行关联分析。能够找到一本兼顾理论深度和操作实践的书籍，对我顺利完成我的科研课题至关重要。

评分☆☆☆☆☆

能够满足扫盲者的需求，对于要求专业的学生不太适合。

评分☆☆☆☆☆

非常棒，内容丰富，非常适合大学生阅读

评分☆☆☆☆☆

全国只有四川仓库有货，让不让我们其他群众买书了！真是的，先脱的人，掏了两遍运费，还好快要到手了

评分☆☆☆☆☆

实用性强。很好的一本书

评分☆☆☆☆☆

公司买了个扫描电镜 就是这样

评分☆☆☆☆☆

内容不错，深入浅出，容易理解。是正版的，而且也便宜。

评分☆☆☆☆☆

终于有这本书的正版了，仔细品味中。

评分☆☆☆☆☆

实用性强。很好的一本书

评分☆☆☆☆☆

本书比较通俗易懂，没有太复杂的理论和公式，较为适合初学者