超精密气浮定位工作台技术：气浮系统动力学与控制 下载 mobi epub pdf 电子书 2025

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内容简介

本书的主要包括超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术；超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值计算的理论与方法；超精密气浮定位工作台的动力学建模及其动态特性分析；超精密定位工作台的定位运动分析及其控制方法研究。
本书可作为数字制造设备、精密加工设备、精密测量仪器、生物医药装备等行业科研技术人员的参考书，也可作为高等院校相关专业的研究生教材。

目录

0 绪论
0.1 超精密气浮定位工作台简介
0.2 超精密定位工作台的发展概况
0.2.1 超精密定位工作台的发展过程
0.2.2 国外超精密定位工作台技术的现状
0.2.3 国内超精密定位工作台技术的现状
0.3 超精密定位工作台的关键技术
0.3.1 定位工作台的直线导向技术
0.3.2 定位工作台的控制技术
0.3.3 定位工作台的驱动技术
0.3.4 定位工作台的测量技术
0.3.5 定位工作台的材料
0.4 本书的研究目的和主要内容
0.4.1 本书的研究目的
0.4.2 本书的主要内容
1 永磁同步直线电动机的基本原理及其控制
1.1 永磁同步直线电动机的结构和工作原理
1.1.1 基本结构
1.1.2 工作原理
1.2 直线电动机的建模与分析
1.2.1 永磁同步直线电动机的数学模型
1.2.2 永磁同步直线电动机中的磁场
1.2.3 永磁同步直线电动机的电磁参数
1.2.4 永磁同步直线电动机的d-a印轴模型和推力
1.3 交流永磁同步直线电动机的控制
1.3.1 传统控制策略
1.3.2 现代控制策略
1.3.3 智能控制策略
1.4 本章小结
2 气浮轴承模型及有限元分析法
2.1 静压气浮支承润滑系统概述
2.1.1 静压气浮支承润滑系统的组成
2.1.2 静压气浮轴承的节流形式
2.1.3 静压气浮轴承的节流原理
2.1.4 气浮导轨的类型
2.2 气浮轴承润滑问题的描述
2.2.1 小孔流量节流公式
2.2.2 雷诺方程式
2.2.3 气浮轴承润滑问题的变分表示法
2.3 用有限元法解气浮轴承的静压润滑问题
2.3.1 有限元的划分与插值函数
2.3.2 气浮轴承润滑方程的有限元法
2.3.3 有限元的计算过程
2.4 气浮轴承的静压润滑稳定性
2.4.1 影响气浮轴承稳定性的因素
2.4.2 提高气浮轴承稳定性的措施
2.5 本章小结
3 气浮轴承动力学建模与参数辨识
3.1 气浮轴承的主要性能参数
3.1.1 气浮轴承的静态特性及主要参数
3.1.2 气浮轴承的动态特性及主要参数
3.2 气浮轴承性能参数的仿真计算与辨识
3.2.1 气浮轴承性能参数的辨识方法
3.2.2 矩形气浮轴承的特性及主要参数辨识
3.2.3 环形气浮轴承的特性及主要参数辨识
3.3 气浮轴承参数的实验辨识方法
3.3.1 静态测试方法
3.3.2 动态测试方法
3.4 本章小结
4 气浮轴承动力学性能参数分析
4.1 结构形状对性能参数的影响
4.1.1 分析方法
4.1.2 仿真模型
4.1.3 有限元计算结果与分析比较
4.1.4 结构形状与性能参数之间的关系
4.2 结构设计对性能参数的影响
4.2.1 节流孔直径的影响
4.2.2 节流孔高度的影响
4.2.3 压力腔高度的影响
4.2.4 压力腔宽度的影响
4.2.5 压力腔长度的影响
4.2.6 结构设计参数与性能参数之间的关系
4.3 工艺参数对性能参数的影响
4.3.1 气膜厚度的影响
4.3.2 供气压力的影响
4.3.3 工艺参数与性能参数之间的关系
4.4 本章小结
5 超精密气浮定位工作台动力学特性研究
5.1 气浮定位工作台的数学模型
5.1.1 气浮定位工作台的结构
5.1.2 气浮定位工作台的动力学模型
5.2 动力学参数的求解
5.3 动态特性的仿真分析
5.3.1 系统幅值的仿真计算
5.3.2 固有频率的计算
5.3.3 外力对定位工作台动态特性的影响
5.3.4 刚度对定位工作台动态特性的影响
5.4 超精密气浮定位工作台动态参数的实验研究
5.4.1 非气浮状态下的动态特性实验结果与分析
5.4.2 气浮状态下的动态特性实验结果与分析
5.4.3 基座中心至气浮轴承中心的传递函数分析
5.4.4 y向直线电动机的定子至动子的传递函数分析
5.4.5 频率对刚度参数灵敏度的影响
5.4.6 直线电动机系统多参数灵敏度分析与优化
5.5 本章小结
6 超精密气浮定位工作台定位精度研究
6.1 气浮定位工作台直线运动的数学模型
6.2 混合趋近律的滑模变结构控制模型的建立与仿真
6.2.1 滑动模态及滑模变结构控制的基本概念
6.2.2 滑模变结构控制仿真模型的建立
6.2.3 基于混合趋近律的滑模变结构控制方法
6.2.4混合趋近律的滑模变结构控制方法的仿真
6.3 定位工作台输出位移的仿真实验与精度分析
6.3.1 输出位移的仿真实验
6.3.2 控制精度的分析
6.4 超精密气浮定位工作台的定位精度实验
6.4.1 实验系统及测量系统
6.4.2 水平直线度的实验结果与分析
6.4.3 垂直直线度的实验结果与分析
6.4.4 非气浮状态下的定位精度实验结果与分析
6.4.5 气浮状态下的定位精度实验结果与分析
6.5 本章小结
参考文献

精彩书摘

0 绪论
超精密定位工作台是超精密机械中的一种典型部件，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、纳米表面形貌测量等领域提供了一个能够实现超精密定位和精确运动的载物平台。随着信息时代的到来，微细加工技术和生物技术的特征尺寸越来越小，逐步进入亚微米级乃至纳米级、亚纳米级精度，超精密定位工作台的关键技术如驱动技术、导向技术和控制技术都在逐步提高，并且随着所需精度的提高，超精密工作台的动力学问题显得越来越重要。目前，国内外许多学者根据不同的研究重点开发了多种精密定位实验工作台，对超精密定位工作台的关键技术开展了相关的研究，推动了超精密定位工作台技术的发展和进步。
0.1 超精密气浮定位工作台简介
微光刻技术、数控加工、生物技术等领域的迅速发展，对精密定位工作台的精度、运行速度、行程、自动化程度和可靠性等提出了更高的要求。这些要求并非是孤立的，其中一些要求往往是相互联系和相互制约的。例如：定位工作台的高速度和高精度要求是相互矛盾的，为了满足高精度的要求，定位工作台的最小运动量（或位移分辨率）要越小越好，而在伺服系统调速比有限的情况下，定位工作台的速度又不能随意地提高；长行程和高精度的要求也是矛盾的，行程越长，意味着在同样精度要求规定位工作台中的导轨直线度误差就越敏感，对零部件的加工和安装精度要求也更勾苛刻，即定位工作台的行程受到现有加工和安装精度的限制；自动化程度与可靠性也是一对矛盾，自动化程度越高，系统越复杂，实现高的可靠性就越Ⅲ难，间时，高精度、高速度、长行程对控制系统的实现也提出了挑战。而在这众多的矛盾中，最突出的是如何消除精密定位工作台运动部件间的摩擦。解决这一矛盾的有效方法之一就是采用气浮技术，因而也就出现了基于气浮支承和直线电动机驱动技术的超精密、长行程气浮定位工作台。

前言/序言

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气浮轴承分析，好像是写文章，内容不具体意义不太大

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学电子学的看这本书不太适合

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读了这本书之后， [SM]，超值。买书就来来京东商城。价格还比别家便宜，还免邮费不错，速度还真是快而且都是正版书。[BJTJ]，买回来觉得还是非常值的。我喜欢看书，喜欢看各种各样的书，看的很杂，文学名著，流行小说都看，只要作者的文笔不是太差，总能让我从头到脚看完整本书。只不过很多时候是当成故事来看，看完了感叹一番也就丢下了。所在来这里买书是非常明智的。然而，目前社会上还有许多人被一些价值不大的东西所束缚，却自得其乐，还觉得很满足。经过几百年的探索和发展，人们对物质需求已不再迫切，但对于精神自由的需求却无端被抹杀了。总之，我认为现代人最缺乏的就是一种开阔进取，寻找最大自由的精神。 中国人讲“虚实相生，天人合一”的思想，“于空寂处见流行，于流行处见空寂”，从而获得对于“道”的体悟，“唯道集虚”。这在传统的艺术中得到了充分的体现，因此中国古代的绘画，提倡“留白”、“布白”，用空白来表现丰富多彩的想象空间和广博深广的人生意味，体现了包纳万物、吞吐一切的胸襟和情怀。让我得到了一种生活情趣和审美方式，伴着笔墨的清香，细细体味，那自由孤寂的灵魂，高尚清真的人格魅力，在寻求美的道路上指引着我，让我抛弃浮躁的世俗，向美学丛林的深处迈进。合上书，闭上眼，书的余香犹存，而我脑海里浮现的，是一个“皎皎明月，仙仙白云，鸿雁高翔，缀叶如雨”的冲淡清幽境界。愿我们身边多一些主教般光明的使者，有更多人能加入到助人为乐、见义勇为的队伍中来。社会需要这样的人，世界需要这样的人，只有这样我们才能创造我们的生活，[NRJJ]我曾经属于后一类。那时，我处于极度危险的境地。”看薛老师这些话，你能觉得这是一个真实的老师，她说的话就象是邻居唠家常那样真诚自然。对于书中她大胆、直率的言辞，我很钦佩，不是每个人都有这种胆识、思维的。她能把一件看似简单惯常的事情剖析提头头是道，透过了表象看到了它的内在根源。她有勇气把一些不同与大家都说的话写在纸上，让别人看，虽然多数人心理或许也如她所想。但凭这一点儿，就让人佩服至极。比如，她对“老师象蜡烛、春蚕”，“没有教不好的学生，只有教不好的老师”这些话的评析，一针见血，道出了我们老师的共同心声。之所以造就了她感说真话，敢于抵制一切不利于学生成长和进步的制度。因为薛老师的人生信念就是：缺乏真诚、理性和趣味的日子是不值得过的。教育教学中有了平衡愉悦的心态，正确的定位和良好的策略，才能在饱满热情中，在正确策略中扶植学生向上。 薛老师在自序中写道，“我是特意捕捉了清风、乐声和野芳，录在这里，专门用于鼓励自己，就算是不定期地给自己献一小朵小花吧——真诚美丽的文字，正是心灵开出的花朵。”又一次阐述了她的人生信念——-真诚。读了全书，给我最深刻的感受也是她的真诚，我看到了一个真实的人，一个真诚的老师。当学生的时候，老师是权威，跟老师的交往总是处于向上看的状态，学生是一定要小心翼翼的，多数情况还是听老师说的多，自己发表意见少。现在当了家长，为了孩子跟老师也没少打交道，但是一直觉得自己好多真实的想法不敢说，老师呢，说出来的也有一些让人觉得是官话套话。看了这本书，我想我们也许都错了，老师跟学生、老师跟家长，平等地真诚的交流其实并不难。工作是艰辛——往往也是孤独的。可是，于飞尘的间隙也有清风，于喧嚷的中间也有乐声，于荆棘的丛中也有野芳。我是特意捕捉了清风、乐声和野芳，录在这里，专门用于鼓励自己，就算是不定期地给自己献一朵小花吧——真诚美丽的文字，正是心灵开出的花朵。也有沉重和迷惘。但我的文字，往往略掉了疲惫、沮丧和困苦——无涉乎诚实、全面与否，这是我的选择——有意的，我将目光投在了值得的地方，心得体会

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还行吧，这个学者比较牛！

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读书是一种乐趣,一种情操,一种向往世界古往今来的为人和名人求救的方法,一种和他们展来讨论的方式,一封出席各种社会活动体验各种生活,结识各种人物的邀请信.一张迈进科学殿堂和未来世界的入场券,一股丰富自己的强大力量.这个名言是我们最著名的作家王梓坤写的.他让懂得了什么是读书。小的时候，我只喜欢爱看小人书，漫画，因为他们都很好笑，有着迷人的魅力，渐渐地，渐渐地我就开始画漫画了，但是结果还是让老师收走，被爸爸妈妈撕掉，还要打。唉-------真倒霉！初高中，就从喜欢武侠小说，梁羽生、金庸、古龙等等，特别是金庸的小说，本本都看了有些还看了好多遍，收益匪浅。长得之后，我什么类型的书都看，只要是我喜欢的。特别是陈学东，等著的超精密气浮定位工作台技术气浮系统动力学与控制很值得看，看了收益很大，书的内容直得一读，阅读了一下，写得很好，本书的主要包括超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值计算的理论与方法超精密气浮定位工作台的动力学建模及其动态特性分析超精密定位工作台的定位运动分析及其控制方法研究。本书可作为数字制造设备、精密加工设备、精密测量仪器、生物医药装备等行业科研技术人员的参考书，也可作为高等院校相关专业的研究生教材。，内容也很丰富。，一本书多读几次，0绪论超精密定位工作台是超精密机械中的一种典型部件，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、纳米表面形貌测量等领域提供了一个能够实现超精密定位和精确运动的载物平台。随着信息时代的到来，微细加工技术和生物技术的特征尺寸越来越小，逐步进入亚微米级乃至纳米级、亚纳米级精度，超精密定位工作台的关键技术如驱动技术、导向技术和控制技术都在逐步提高，并且随着所需精度的提高，超精密工作台的动力学问题显得越来越重要。目前，国内外许多学者根据不同的研究重点开发了多种精密定位实验工作台，对超精密定位工作台的关键技术开展了相关的研究，推动了超精密定位工作台技术的发展和进步。0.1超精密气浮定位工作台简介微光刻技术、数控加工、生物技术等领域的迅速发展，对精密定位工作台的精度、运行速度、行程、自动化程度和可靠性等提出了更高的要求。这些要求并非是孤立的，其中一些要求往往是相互联系和相互制约的。例如定位工作台的高速度和高精度要求是相互矛盾的，为了满足高精度的要求，定位工作台的最小运动量（或位移分辨率）要越小越好，而在伺服系统调速比有限的情况下，定位工作台的速度又不能随意地提高长行程和高精度的要求也是矛盾的，行程越长，意味着在同样精度要求规定位工作台中的导轨直线度误差就越敏感，对零部件的加工和安装精

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