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郭方準 著

圖書標籤:

• 真空技術
• 真空應用
• 真空設備
• 真空原理
• 真空測量
• 真空泄漏
• 真空維護
• 真空鍍膜
• 真空乾燥
• 工業真空

齣版社： 大連理工大學齣版社

ISBN：9787561170359

版次：1

商品編碼：11047477

包裝：平裝

開本：32開

齣版時間：2012-07-01

用紙：膠版紙

頁數：141

字數：100000

正文語種：中文

內容簡介

《實用真空技術》主要內容包括：真空知識概論、真空密封、影響真空度的要素、真空係統、典型的薄膜生長方式。

作者簡介

郭方準，1970年生，理學博士（日本大阪市立大學）.迴國前任日本同步輻射光科學中心（SPring-8）研究員，現任大連交通大學教授、中國科學院大連化學物理研究所研究員。
主要榮譽：中國科學院百人計劃（2009）國傢韆人計劃（2010）中國僑聯特聘專傢（2011）遼寜省攀登學者（2012）
主要獲奬：第七屆錶麵界麵和納米技術國際會議青年科學傢奬（2003）日本文部科學大臣奬（2008）
主要著作：《Frontal Semiconductor Research》Nova Science Publishers， Inc.ISBN：1-60021-210-7.（USA 2006）.

內頁插圖

目錄

第1章 真空知識概論
1.1 什麼是真空
1.2 真空的發現和理論基礎
1.3 幾個重要的概念
1.4 真空技術的應用

第2章 真空密封
2.1 永久密封
2.2 非永久密封
2.3 真空法蘭
2.4 真空導入要素
2.5 波紋管

第3章 影響真空度的要素
3.1 真空檢漏
3.2 真空中的材料氣體放齣
3.3 真空材料的錶麵淨化和拋光
3.4 真空係統的排氣計算

第4章 真空係統
4.1 真空係統的構成
4.2 真空腔體
4.3 真空泵
4.4 真空計
4.5 真空閥門
4.6 各種運動導入器
4.7 配管連接元件

第5章 典型的薄膜生長方式
5.1 物理方式成膜（Physical Vapor Deposition:PVD）
5.2 化學方式成膜（Chemical Vapor Deposition:CVD）
附錄
參考文獻

精彩書摘

1.4 真空技術的應用
現代社會每個人都在享受著真空技術給我們帶來的便利。例如：暖壺能保溫的秘訣就在於瓶壁內有真空的空間，減少瞭熱傳導，以保持壺內溫度；熒光燈、街燈、汽車照明燈的內部也是真空狀態，否則就無法發光。電視、電腦顯示器等也離不開真空。眼鏡和攝像機、照相機鏡頭為瞭提高光的透過率，錶麵所鍍的光學薄膜也是應用瞭真空技術。
半導體産業離不開真空技術。生産半導體元件：（1）要在矽片上摻人相應的其他元素；（2）在生産集成電路時要形成復雜的金屬薄膜和絕緣膜；（3）要進行錶麵的刻蝕處理等復雜的工序。如果生産過程中的真空度不夠，錶麵上沾瞭灰塵或油滴之後會齣現嚴重的後果。集成電路中細綫的寬度是吸煙時吐齣的煙霧顆粒直徑的1/3，是一粒灰塵直徑的近萬分之一。對集成電路而言，哪怕落有一顆煙霧的顆粒，就好像大路上停瞭一架大型飛機一樣，使電子無法通過或造成短路。
新材料開發離不開真空。以分子束外延為代錶的薄膜生長技術是新材料開發的重要手段，薄膜材料放到蒸發源中之後被蒸發或升華，在超高真空環境中，薄膜材料的原子或分子可以長距離飛行，到達襯底成膜；而且由於殘留氣體少，襯底錶麵形成的薄膜純度高。
錶麵科學領域對真空度的要求極高。在極高真空的環境下，通過高溫退火或結閤離子濺射而獲得物質的清潔錶麵，這時的錶麵沒有吸附任何其他的分子或原子。利用掃描隧道電子顯微鏡等尖端的錶麵分析實驗手段，可以看到物質錶麵的原子排列和電子狀態。
……

前言/序言

深度解析：現代工業的隱形引擎——氣體動力學與流體控製的精妙藝術 本書並非一本關於真空設備選購或日常維護的手冊，而是一次深入探索氣體動力學基本原理及其在現代工業中無處不在的應用之旅。我們將從流體行為的微觀層麵切入，揭示氣體在不同壓力、溫度和流速下的復雜運動規律，並在此基礎上，係統闡述如何精準地控製這些看似難以捉摸的流體，使其成為推動精密製造、尖端科研和高效生産的強大動力。 第一部分：流體行為的微觀透視與宏觀顯現 我們將首先迴顧氣體動力學的基石——分子動理論。深入理解氣體分子的隨機運動、碰撞以及它們如何共同作用形成宏觀的壓強、溫度和密度，是掌握後續內容的關鍵。我們將詳細解析理想氣體的狀態方程，並探討真實氣體在極端條件下的偏離行為，例如範德華方程的應用，以及它們如何影響氣體在不同工業過程中的錶現。 接著，我們將聚焦於流體的宏觀描述。層流與湍流的區分，以及雷諾數的意義，將是理解流體阻力、能量損失和混閤效率的基礎。我們將通過生動的實例，解釋伯努利原理在不同應用中的實際體現，例如管道中的流速與壓強變化，以及它們如何影響能量傳輸的效率。此外，粘滯性、錶麵張力等流體基本屬性，也將被詳細解析，並闡述它們在流體傳輸、分離以及錶麵處理過程中的重要作用。 第二部分：精密控製的藝術——氣體動力學在工業中的應用 本部分將是本書的核心，我們將把抽象的理論轉化為具體的工業實踐。 氣體的輸送與存儲： 從大型石化管道到半導體製造中的精密氣體管路，氣體的有效輸送是現代工業的生命綫。我們將深入研究不同輸送方式的優缺點，例如管道輸送、氣動輸送等，並詳細分析影響輸送效率的關鍵因素，如管道設計、泵的選型、閥門的控製精度以及能量損耗的計算。同時，對於特殊氣體的存儲，例如惰性氣體、易燃易爆氣體等，我們將探討其安全存儲的原則、設備要求以及風險評估。 氣體的分離與提純： 在化工、醫藥、食品等領域，氣體的分離與提純至關重要。我們將詳細介紹多種工業化的氣體分離技術，包括膜分離技術、吸附分離技術（如變壓吸附PSA和變溫吸附TSA）、以及低溫精餾技術。對於每種技術，我們將剖析其工作原理、技術參數、適用範圍、設備特點以及在實際生産中的應用案例，例如空氣分離製取氧氣和氮氣，天然氣中的甲烷分離等。 氣體在動力學與熱力學過程中的應用： 許多工業過程依賴於氣體作為工作介質，進行能量轉換和物質傳輸。我們將探討燃氣輪機、內燃機等動力機械中氣體的膨脹與壓縮過程，以及它們如何將化學能轉化為機械能。同時，我們將解析熱力學循環在製冷、空調和熱泵係統中的應用，重點關注製冷劑（氣體）的狀態變化和能量傳遞。此外，對於熱噴塗、等離子切割等高溫氣體應用，我們將分析高速氣流的特性及其對材料改性的影響。 精密氣體流量控製與測量： 在對精度要求極高的行業，例如半導體製造、精密化工閤成、航空航天等，對氣體流量的精確控製和測量是生産成功的關鍵。我們將詳細介紹各種先進的質量流量計和體積流量計的工作原理，如熱式質量流量計、科裏奧利質量流量計、渦輪流量計、孔闆流量計等，並分析它們的測量精度、響應速度、適用範圍以及校準方法。同時，我們將深入探討比例閥、伺服閥等精密流量控製元件的工作機製，以及它們如何協同工作，實現對氣體流量的實時、動態調節。 氣體在真空技術之外的協同應用（例如：氣動助力與執行）： 雖然本書並非直接闡述真空設備，但氣體動力學原理在許多與真空技術緊密相關的領域有著重要的協同作用。例如，氣動助力係統在需要較大操作力但又不便使用液壓的場閤尤為常見，其通過控製氣體壓力實現對機械臂、夾具等的精確驅動。此外，氣動執行器以其結構簡單、響應快速、維護方便等優點，廣泛應用於各種自動化生産綫上，實現開關、定位、輸送等動作。我們將解析氣缸、氣動馬達等執行元件的工作原理，以及它們在集成係統中的應用。 第三部分：未來的挑戰與前沿探索 我們將展望氣體動力學領域未來的發展趨勢，以及它在應對全球性挑戰中的作用。 智能化氣體控製係統： 結閤人工智能和大數據技術，未來的氣體控製係統將更加智能化，能夠實現自我優化、故障預測和遠程診斷。我們將探討傳感器網絡、先進控製算法以及機器學習在提升氣體係統效率和可靠性方麵的潛力。 環境友好型氣體應用： 隨著對環境保護的日益重視，開發更清潔、更高效的氣體利用技術將成為重要方嚮。例如，利用氣體作為清潔能源載體，開發更高效的燃料電池技術，以及研究能夠減少溫室氣體排放的工業過程。 微流控與納米流體： 在微觀尺度下，流體的行為會呈現齣許多宏觀尺度下不常見的現象。微流控技術在生物醫學、化學分析等領域展現齣巨大的潛力，而納米流體則為材料科學和能源技術開闢瞭新的可能。我們將簡要介紹這些前沿領域，並探討它們與傳統氣體動力學原理的聯係。 本書旨在為讀者提供一個全麵而深入的視角，理解氣體動力學不僅僅是基礎的物理概念，更是驅動現代工業進步的強大引擎。通過對這些原理的深刻理解和精確控製，我們能夠創造更高效、更安全、更環保的工業未來。

評分☆☆☆☆☆

最近，我對《實用真空技術》這本書愛不釋手，它以一種極其專業又不失易懂的方式，為我打開瞭真空世界的大門。我尤其被書中關於真空係統的漏氣檢測和修復的章節所吸引。作者詳細介紹瞭各種漏氣檢測的方法，比如氦質譜檢漏儀、鹵素檢漏儀、氣泡法等，並分析瞭它們的優缺點和適用範圍。他還提供瞭大量實際操作的技巧，比如如何定位漏點、如何選擇閤適的密封材料和修復方法。這部分內容對於任何需要維護真空係統的操作人員來說，都是極其寶貴的財富。我瞭解到，一個小小的漏氣，可能就會導緻真空度急劇下降，影響實驗結果，甚至損壞昂貴的真空設備。因此，掌握有效的漏氣檢測和修復技術，是保證真空係統穩定可靠運行的關鍵。這本書的講解非常細緻，讓我能夠理解每一種檢測方法的原理，以及如何根據具體情況選擇最閤適的方法。

評分☆☆☆☆☆

剛拿到《實用真空技術》這本書，我有點擔心它會不會太過理論化，畢竟“真空技術”聽起來就有點枯燥。然而，打開第一頁，我就被作者嚴謹而又生動的筆觸所吸引。書中對於真空産生原理的闡述，從最基礎的空氣動力學知識齣發，循序漸進地引導讀者理解各種真空泵的工作機製。我尤其喜歡它對不同類型真空泵的詳細比較，比如機械泵在低真空區域的穩定性和可靠性，與擴散泵在高真空區域的強大抽速形成鮮明對比，這種對比分析讓我能夠更直觀地理解各種泵的適用範圍。作者還花瞭很大篇幅介紹真空係統的組成和設計，包括真空腔體、管道、閥門以及密封件的選擇和材料特性。對於我這個初學者來說，理解這些細節至關重要，因為一旦某個環節齣現問題，整個真空係統都可能功虧一簣。書中還穿插瞭許多實際操作的建議，比如如何處理蒸汽壓對真空度的影響，如何有效地進行係統預抽和排氣，甚至是如何根據具體應用選擇閤適的密封材料。這種將理論與實踐相結閤的方式，讓我覺得這本書不僅有學術價值，更具工程實用性。我嘗試著對照書中的內容，思考我之前接觸過的某些設備的工作原理，很多疑惑一下子就解開瞭。

評分☆☆☆☆☆

《實用真空技術》這本書，是我近期閱讀過的最令人印象深刻的技術類書籍之一。我一直對工業自動化和機器人技術感興趣，而真空技術在其中扮演著重要的角色。書中關於真空吸盤和真空夾持器的章節，讓我對如何利用真空來實現物體的非接觸式搬運和定位有瞭深入的瞭解。作者詳細介紹瞭不同類型真空吸盤的設計原理，包括它們的形狀、尺寸、材料以及如何根據被搬運物體的錶麵特性進行選擇。我還瞭解到，真空夾持器是如何通過精確控製真空度來實現對各種形狀和尺寸物體的穩定抓取和釋放。書中還探討瞭真空技術在自動化生産綫中的應用，比如如何利用真空吸盤來實現零件的自動上下料，如何利用真空夾持器來實現産品的精確組裝。這些應用案例讓我看到瞭真空技術在提高生産效率、降低勞動強度方麵的巨大潛力。這本書不僅提供瞭理論知識，更提供瞭許多實際應用上的指導，讓我對真空技術有瞭更全麵、更深入的認識。

評分☆☆☆☆☆

《實用真空技術》這本書，我最近一直在細細品讀，它真的給我帶來瞭很多驚喜。我一直對材料科學很感興趣，而真空技術在材料的製備和處理方麵扮演著至關重要的角色。這本書中關於薄膜沉積的章節，讓我對 PVD（物理氣相沉積）和 CVD（化學氣相沉積）等技術有瞭更深入的理解。作者詳細講解瞭各種濺射源（如磁控濺射）、蒸發源（如電子束蒸發）的工作原理，以及它們如何用於在基底上形成均勻、緻密的薄膜。書中還提到瞭真空度對薄膜質量的影響，比如在低真空度下可能形成的粗糙錶麵，或者在高真空度下難以實現的化學反應。此外，我對書中關於真空烘烤和脫氣處理的內容也很感興趣，這對於去除材料錶麵和腔體內部的吸附氣體、降低係統本底真空度非常重要。作者還分享瞭許多關於真空係統泄漏檢測和維修的實用技巧，這對於保證真空係統的穩定運行至關重要。總的來說，這本書讓我對真空技術在材料領域的作用有瞭更清晰的認識，也為我今後的學習和研究打下瞭良好的基礎。

評分☆☆☆☆☆

一直以來，我對真空技術都有一種莫名的敬畏感，覺得它神秘而又遙不可及。直到我遇到瞭《實用真空技術》這本書，纔覺得這扇大門似乎對我敞開瞭一些。這本書的內容非常全麵，從真空産生的基礎理論，到各種真空泵的詳細介紹，再到真空測量和真空係統的設計與維護，幾乎涵蓋瞭真空技術的所有重要方麵。我特彆欣賞作者在介紹各種真空泵時，不僅講解瞭它們的物理原理，還深入分析瞭它們的適用性、優缺點以及在實際應用中的注意事項。例如，對於某些需要超高真空的應用，書中就詳細介紹瞭分子泵的原理和特點，以及如何與增壓泵配閤使用以達到更好的效果。而且，書中還穿插瞭許多案例分析，通過具體的工業生産場景，讓我更直觀地理解真空技術是如何解決實際問題的。比如，在半導體製造過程中，如何利用真空鍍膜技術來製備高質量的薄膜，以及如何通過真空環境來控製材料的結晶過程，這些都讓我大開眼界。這本書讓我覺得，真空技術並不是高不可攀的，隻要掌握瞭基本原理和方法，同樣可以應用於各種領域。

評分☆☆☆☆☆

這本書，真的讓我對“真空”有瞭全新的認識。《實用真空技術》的內容相當詳實，作者似乎把能想到的關於真空的方方麵麵都囊括進去瞭。我最近比較關注的是關於真空泵的維護和故障排除部分，這部分內容簡直是及時雨。書中詳細列舉瞭各種真空泵可能齣現的常見故障，比如機械泵漏氣、電機過熱，擴散泵抽速下降，渦輪分子泵軸承損壞等等，並且給齣瞭非常具體的排查步驟和維修建議。作者還強調瞭定期維護的重要性，比如及時更換潤滑油、清潔泵腔、檢查密封件等，這些看似簡單的工作，卻能大大延長真空泵的使用壽命，並保證係統的正常運行。我特彆喜歡書中對於不同泵類維護的細緻講解，對於每一種泵，都有針對性的維護要點和注意事項。這本書的價值在於，它不僅僅教你“怎麼做”，更告訴你“為什麼這麼做”，讓你理解背後的道理，從而更好地掌握真空技術。

評分☆☆☆☆☆

《實用真空技術》這本書，我最近一直在反復研讀，每次都會有新的收獲。我一直對精密製造工藝很感興趣，而這本書在這方麵的內容讓我受益匪淺。例如，在電子行業中，半導體芯片的製造過程離不開精密的真空環境。書中詳細介紹瞭光刻、刻蝕、薄膜沉積等關鍵工藝是如何在真空條件下進行的，以及真空度對産品良率和性能的影響。作者還探討瞭真空技術在液晶顯示器、OLED屏幕等領域的應用，包括如何通過真空蒸鍍技術來製備高質量的發光層和電極。我還對書中關於真空係統清潔和汙染控製的內容非常感興趣。在精密製造領域，任何微小的汙染物都可能導緻産品失效，因此，如何保持真空係統的清潔、防止交叉汙染，是至關重要的問題。這本書提供瞭許多實用的解決方案和技術，讓我對如何在高潔淨度環境下進行精密製造有瞭更深刻的理解。

評分☆☆☆☆☆

《實用真空技術》這本書，我讀得斷斷續續，但每一次翻開，都能有所啓發。它不像某些技術書籍那樣闆著麵孔講枯燥的原理，而是用一種非常接地氣的方式，把復雜的真空技術變得容易理解。我最喜歡的部分是關於真空測量章節，作者詳細介紹瞭各種真空計的原理、適用範圍以及它們各自的優缺點。特彆是對低真空和高真空測量方法的區彆，以及如何選擇閤適的真空計以獲得準確可靠的數據，這部分內容對我來說非常有價值。書中還提到瞭真空度對很多物理和化學過程的影響，比如材料的蒸發、氣體的解吸等，這讓我對真空的應用有瞭更廣闊的視野。我還學到瞭如何評估真空係統的性能，比如抽速、極限真空度以及漏率的測試方法。這些都是實際操作中非常重要的概念，而這本書把它們講解得非常到位。作者還強調瞭真空係統的清潔和維護的重要性，因為即使是微小的汙染物也可能對真空係統造成嚴重影響，這提醒瞭我平時操作中需要注意的細節。我感覺這本書不僅是一本教科書，更像是一位經驗豐富的工程師在給我傳授他的知識和經驗。

評分☆☆☆☆☆

最近迷上瞭一些工業上的技術，朋友推薦瞭這本《實用真空技術》，說是能把我帶進門。我雖然不是科班齣身，但平時對一些精密儀器的原理還是挺感興趣的。翻開這本書，我首先被它清晰的排版和豐富的插圖所吸引，很多復雜的概念通過圖示一下子就清晰瞭許多。書裏麵詳細講解瞭真空是怎麼産生的，從最基礎的機械泵原理，到更高級的擴散泵、渦輪分子泵等等，每一種泵的結構、工作方式、優缺點都剖析得很透徹。我還學習到瞭如何測量真空度，各種真空計的原理和應用場景，比如皮托管真空計、熱偶真空計、電離真空計，甚至還有一些我以前從未聽說過的磁控濺射離子規。書裏還提到瞭真空係統設計中的一些關鍵點，比如如何選擇閤適的真空泵、如何避免漏氣、如何進行真空係統的清潔和維護。讓我印象深刻的是，作者並沒有停留在理論層麵，而是大量引用瞭實際應用案例，比如半導體製造、薄膜沉積、光學鍍膜、空間模擬等等，這些案例讓我對真空技術在現代工業中的重要性有瞭更深刻的認識。雖然我還沒有完全讀完，但已經感覺收獲滿滿，這本書確實是入門真空技術的一本寶藏。

評分☆☆☆☆☆

最近在學習一些與科學研究相關的知識，《實用真空技術》這本書是我的一個重要參考。我一直對科學實驗中的精密控製非常著迷，而真空技術正是實現許多精密控製的關鍵。書中關於真空係統在科學儀器中的應用，給我留下瞭深刻的印象。例如，質譜儀、電子顯微鏡、粒子加速器等精密儀器，都離不開高真空環境來保證其正常工作。作者詳細介紹瞭這些儀器是如何利用真空技術來排除乾擾、提高靈敏度、延長樣品壽命的。特彆是關於超高真空（UHV）技術的講解，讓我瞭解到如何在極低的壓力下進行實驗，以及如何構建和維護超高真空係統。書中還提到瞭真空技術在天文學和空間科學領域的應用，比如真空環境可以模擬宇宙空間，用於測試航天器和進行科學探測。這本書讓我意識到，真空技術並非隻局限於工業生産，它在基礎科學研究領域同樣發揮著不可替代的作用。

評分☆☆☆☆☆

書很薄，內容挺淺顯的，要是有一定基礎的高手，就不要買瞭，而且有些貴。

評分☆☆☆☆☆

書的紙張質量還可以

評分☆☆☆☆☆

性價比不高

評分☆☆☆☆☆

書的紙張質量還可以

評分☆☆☆☆☆

對我這樣的人來說就無多大價值瞭

評分☆☆☆☆☆

絕對隻值5塊錢，就一本小人書大小，沒什麼內容，簡單科普！

評分☆☆☆☆☆

書的紙張質量還可以

評分☆☆☆☆☆

書很小,字很少,價很高

評分☆☆☆☆☆

對我這樣的人來說就無多大價值瞭