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郭方准 著

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• 真空测量
• 真空泄漏
• 真空维护
• 真空镀膜
• 真空干燥
• 工业真空

出版社： 大连理工大学出版社

ISBN：9787561170359

版次：1

商品编码：11047477

包装：平装

开本：32开

出版时间：2012-07-01

用纸：胶版纸

页数：141

字数：100000

正文语种：中文

内容简介

《实用真空技术》主要内容包括：真空知识概论、真空密封、影响真空度的要素、真空系统、典型的薄膜生长方式。

作者简介

郭方准，1970年生，理学博士（日本大阪市立大学）.回国前任日本同步辐射光科学中心（SPring-8）研究员，现任大连交通大学教授、中国科学院大连化学物理研究所研究员。
主要荣誉：中国科学院百人计划（2009）国家千人计划（2010）中国侨联特聘专家（2011）辽宁省攀登学者（2012）
主要获奖：第七届表面界面和纳米技术国际会议青年科学家奖（2003）日本文部科学大臣奖（2008）
主要著作：《Frontal Semiconductor Research》Nova Science Publishers， Inc.ISBN：1-60021-210-7.（USA 2006）.

内页插图

目录

第1章 真空知识概论
1.1 什么是真空
1.2 真空的发现和理论基础
1.3 几个重要的概念
1.4 真空技术的应用

第2章 真空密封
2.1 永久密封
2.2 非永久密封
2.3 真空法兰
2.4 真空导入要素
2.5 波纹管

第3章 影响真空度的要素
3.1 真空检漏
3.2 真空中的材料气体放出
3.3 真空材料的表面净化和抛光
3.4 真空系统的排气计算

第4章 真空系统
4.1 真空系统的构成
4.2 真空腔体
4.3 真空泵
4.4 真空计
4.5 真空阀门
4.6 各种运动导入器
4.7 配管连接元件

第5章 典型的薄膜生长方式
5.1 物理方式成膜（Physical Vapor Deposition:PVD）
5.2 化学方式成膜（Chemical Vapor Deposition:CVD）
附录
参考文献

精彩书摘

1.4 真空技术的应用
现代社会每个人都在享受着真空技术给我们带来的便利。例如：暖壶能保温的秘诀就在于瓶壁内有真空的空间，减少了热传导，以保持壶内温度；荧光灯、街灯、汽车照明灯的内部也是真空状态，否则就无法发光。电视、电脑显示器等也离不开真空。眼镜和摄像机、照相机镜头为了提高光的透过率，表面所镀的光学薄膜也是应用了真空技术。
半导体产业离不开真空技术。生产半导体元件：（1）要在硅片上掺人相应的其他元素；（2）在生产集成电路时要形成复杂的金属薄膜和绝缘膜；（3）要进行表面的刻蚀处理等复杂的工序。如果生产过程中的真空度不够，表面上沾了灰尘或油滴之后会出现严重的后果。集成电路中细线的宽度是吸烟时吐出的烟雾颗粒直径的1/3，是一粒灰尘直径的近万分之一。对集成电路而言，哪怕落有一颗烟雾的颗粒，就好像大路上停了一架大型飞机一样，使电子无法通过或造成短路。
新材料开发离不开真空。以分子束外延为代表的薄膜生长技术是新材料开发的重要手段，薄膜材料放到蒸发源中之后被蒸发或升华，在超高真空环境中，薄膜材料的原子或分子可以长距离飞行，到达衬底成膜；而且由于残留气体少，衬底表面形成的薄膜纯度高。
表面科学领域对真空度的要求极高。在极高真空的环境下，通过高温退火或结合离子溅射而获得物质的清洁表面，这时的表面没有吸附任何其他的分子或原子。利用扫描隧道电子显微镜等尖端的表面分析实验手段，可以看到物质表面的原子排列和电子状态。
……

前言/序言

深度解析：现代工业的隐形引擎——气体动力学与流体控制的精妙艺术 本书并非一本关于真空设备选购或日常维护的手册，而是一次深入探索气体动力学基本原理及其在现代工业中无处不在的应用之旅。我们将从流体行为的微观层面切入，揭示气体在不同压力、温度和流速下的复杂运动规律，并在此基础上，系统阐述如何精准地控制这些看似难以捉摸的流体，使其成为推动精密制造、尖端科研和高效生产的强大动力。 第一部分：流体行为的微观透视与宏观显现 我们将首先回顾气体动力学的基石——分子动理论。深入理解气体分子的随机运动、碰撞以及它们如何共同作用形成宏观的压强、温度和密度，是掌握后续内容的关键。我们将详细解析理想气体的状态方程，并探讨真实气体在极端条件下的偏离行为，例如范德华方程的应用，以及它们如何影响气体在不同工业过程中的表现。 接着，我们将聚焦于流体的宏观描述。层流与湍流的区分，以及雷诺数的意义，将是理解流体阻力、能量损失和混合效率的基础。我们将通过生动的实例，解释伯努利原理在不同应用中的实际体现，例如管道中的流速与压强变化，以及它们如何影响能量传输的效率。此外，粘滞性、表面张力等流体基本属性，也将被详细解析，并阐述它们在流体传输、分离以及表面处理过程中的重要作用。 第二部分：精密控制的艺术——气体动力学在工业中的应用 本部分将是本书的核心，我们将把抽象的理论转化为具体的工业实践。 气体的输送与存储： 从大型石化管道到半导体制造中的精密气体管路，气体的有效输送是现代工业的生命线。我们将深入研究不同输送方式的优缺点，例如管道输送、气动输送等，并详细分析影响输送效率的关键因素，如管道设计、泵的选型、阀门的控制精度以及能量损耗的计算。同时，对于特殊气体的存储，例如惰性气体、易燃易爆气体等，我们将探讨其安全存储的原则、设备要求以及风险评估。 气体的分离与提纯： 在化工、医药、食品等领域，气体的分离与提纯至关重要。我们将详细介绍多种工业化的气体分离技术，包括膜分离技术、吸附分离技术（如变压吸附PSA和变温吸附TSA）、以及低温精馏技术。对于每种技术，我们将剖析其工作原理、技术参数、适用范围、设备特点以及在实际生产中的应用案例，例如空气分离制取氧气和氮气，天然气中的甲烷分离等。 气体在动力学与热力学过程中的应用： 许多工业过程依赖于气体作为工作介质，进行能量转换和物质传输。我们将探讨燃气轮机、内燃机等动力机械中气体的膨胀与压缩过程，以及它们如何将化学能转化为机械能。同时，我们将解析热力学循环在制冷、空调和热泵系统中的应用，重点关注制冷剂（气体）的状态变化和能量传递。此外，对于热喷涂、等离子切割等高温气体应用，我们将分析高速气流的特性及其对材料改性的影响。 精密气体流量控制与测量： 在对精度要求极高的行业，例如半导体制造、精密化工合成、航空航天等，对气体流量的精确控制和测量是生产成功的关键。我们将详细介绍各种先进的质量流量计和体积流量计的工作原理，如热式质量流量计、科里奥利质量流量计、涡轮流量计、孔板流量计等，并分析它们的测量精度、响应速度、适用范围以及校准方法。同时，我们将深入探讨比例阀、伺服阀等精密流量控制元件的工作机制，以及它们如何协同工作，实现对气体流量的实时、动态调节。 气体在真空技术之外的协同应用（例如：气动助力与执行）： 虽然本书并非直接阐述真空设备，但气体动力学原理在许多与真空技术紧密相关的领域有着重要的协同作用。例如，气动助力系统在需要较大操作力但又不便使用液压的场合尤为常见，其通过控制气体压力实现对机械臂、夹具等的精确驱动。此外，气动执行器以其结构简单、响应快速、维护方便等优点，广泛应用于各种自动化生产线上，实现开关、定位、输送等动作。我们将解析气缸、气动马达等执行元件的工作原理，以及它们在集成系统中的应用。 第三部分：未来的挑战与前沿探索 我们将展望气体动力学领域未来的发展趋势，以及它在应对全球性挑战中的作用。 智能化气体控制系统： 结合人工智能和大数据技术，未来的气体控制系统将更加智能化，能够实现自我优化、故障预测和远程诊断。我们将探讨传感器网络、先进控制算法以及机器学习在提升气体系统效率和可靠性方面的潜力。 环境友好型气体应用： 随着对环境保护的日益重视，开发更清洁、更高效的气体利用技术将成为重要方向。例如，利用气体作为清洁能源载体，开发更高效的燃料电池技术，以及研究能够减少温室气体排放的工业过程。 微流控与纳米流体： 在微观尺度下，流体的行为会呈现出许多宏观尺度下不常见的现象。微流控技术在生物医学、化学分析等领域展现出巨大的潜力，而纳米流体则为材料科学和能源技术开辟了新的可能。我们将简要介绍这些前沿领域，并探讨它们与传统气体动力学原理的联系。 本书旨在为读者提供一个全面而深入的视角，理解气体动力学不仅仅是基础的物理概念，更是驱动现代工业进步的强大引擎。通过对这些原理的深刻理解和精确控制，我们能够创造更高效、更安全、更环保的工业未来。

评分☆☆☆☆☆

刚拿到《实用真空技术》这本书，我有点担心它会不会太过理论化，毕竟“真空技术”听起来就有点枯燥。然而，打开第一页，我就被作者严谨而又生动的笔触所吸引。书中对于真空产生原理的阐述，从最基础的空气动力学知识出发，循序渐进地引导读者理解各种真空泵的工作机制。我尤其喜欢它对不同类型真空泵的详细比较，比如机械泵在低真空区域的稳定性和可靠性，与扩散泵在高真空区域的强大抽速形成鲜明对比，这种对比分析让我能够更直观地理解各种泵的适用范围。作者还花了很大篇幅介绍真空系统的组成和设计，包括真空腔体、管道、阀门以及密封件的选择和材料特性。对于我这个初学者来说，理解这些细节至关重要，因为一旦某个环节出现问题，整个真空系统都可能功亏一篑。书中还穿插了许多实际操作的建议，比如如何处理蒸汽压对真空度的影响，如何有效地进行系统预抽和排气，甚至是如何根据具体应用选择合适的密封材料。这种将理论与实践相结合的方式，让我觉得这本书不仅有学术价值，更具工程实用性。我尝试着对照书中的内容，思考我之前接触过的某些设备的工作原理，很多疑惑一下子就解开了。

评分☆☆☆☆☆

《实用真空技术》这本书，我最近一直在细细品读，它真的给我带来了很多惊喜。我一直对材料科学很感兴趣，而真空技术在材料的制备和处理方面扮演着至关重要的角色。这本书中关于薄膜沉积的章节，让我对 PVD（物理气相沉积）和 CVD（化学气相沉积）等技术有了更深入的理解。作者详细讲解了各种溅射源（如磁控溅射）、蒸发源（如电子束蒸发）的工作原理，以及它们如何用于在基底上形成均匀、致密的薄膜。书中还提到了真空度对薄膜质量的影响，比如在低真空度下可能形成的粗糙表面，或者在高真空度下难以实现的化学反应。此外，我对书中关于真空烘烤和脱气处理的内容也很感兴趣，这对于去除材料表面和腔体内部的吸附气体、降低系统本底真空度非常重要。作者还分享了许多关于真空系统泄漏检测和维修的实用技巧，这对于保证真空系统的稳定运行至关重要。总的来说，这本书让我对真空技术在材料领域的作用有了更清晰的认识，也为我今后的学习和研究打下了良好的基础。

评分☆☆☆☆☆

《实用真空技术》这本书，我读得断断续续，但每一次翻开，都能有所启发。它不像某些技术书籍那样板着面孔讲枯燥的原理，而是用一种非常接地气的方式，把复杂的真空技术变得容易理解。我最喜欢的部分是关于真空测量章节，作者详细介绍了各种真空计的原理、适用范围以及它们各自的优缺点。特别是对低真空和高真空测量方法的区别，以及如何选择合适的真空计以获得准确可靠的数据，这部分内容对我来说非常有价值。书中还提到了真空度对很多物理和化学过程的影响，比如材料的蒸发、气体的解吸等，这让我对真空的应用有了更广阔的视野。我还学到了如何评估真空系统的性能，比如抽速、极限真空度以及漏率的测试方法。这些都是实际操作中非常重要的概念，而这本书把它们讲解得非常到位。作者还强调了真空系统的清洁和维护的重要性，因为即使是微小的污染物也可能对真空系统造成严重影响，这提醒了我平时操作中需要注意的细节。我感觉这本书不仅是一本教科书，更像是一位经验丰富的工程师在给我传授他的知识和经验。

评分☆☆☆☆☆

一直以来，我对真空技术都有一种莫名的敬畏感，觉得它神秘而又遥不可及。直到我遇到了《实用真空技术》这本书，才觉得这扇大门似乎对我敞开了一些。这本书的内容非常全面，从真空产生的基础理论，到各种真空泵的详细介绍，再到真空测量和真空系统的设计与维护，几乎涵盖了真空技术的所有重要方面。我特别欣赏作者在介绍各种真空泵时，不仅讲解了它们的物理原理，还深入分析了它们的适用性、优缺点以及在实际应用中的注意事项。例如，对于某些需要超高真空的应用，书中就详细介绍了分子泵的原理和特点，以及如何与增压泵配合使用以达到更好的效果。而且，书中还穿插了许多案例分析，通过具体的工业生产场景，让我更直观地理解真空技术是如何解决实际问题的。比如，在半导体制造过程中，如何利用真空镀膜技术来制备高质量的薄膜，以及如何通过真空环境来控制材料的结晶过程，这些都让我大开眼界。这本书让我觉得，真空技术并不是高不可攀的，只要掌握了基本原理和方法，同样可以应用于各种领域。

评分☆☆☆☆☆

《实用真空技术》这本书，是我近期阅读过的最令人印象深刻的技术类书籍之一。我一直对工业自动化和机器人技术感兴趣，而真空技术在其中扮演着重要的角色。书中关于真空吸盘和真空夹持器的章节，让我对如何利用真空来实现物体的非接触式搬运和定位有了深入的了解。作者详细介绍了不同类型真空吸盘的设计原理，包括它们的形状、尺寸、材料以及如何根据被搬运物体的表面特性进行选择。我还了解到，真空夹持器是如何通过精确控制真空度来实现对各种形状和尺寸物体的稳定抓取和释放。书中还探讨了真空技术在自动化生产线中的应用，比如如何利用真空吸盘来实现零件的自动上下料，如何利用真空夹持器来实现产品的精确组装。这些应用案例让我看到了真空技术在提高生产效率、降低劳动强度方面的巨大潜力。这本书不仅提供了理论知识，更提供了许多实际应用上的指导，让我对真空技术有了更全面、更深入的认识。

评分☆☆☆☆☆

最近在学习一些与科学研究相关的知识，《实用真空技术》这本书是我的一个重要参考。我一直对科学实验中的精密控制非常着迷，而真空技术正是实现许多精密控制的关键。书中关于真空系统在科学仪器中的应用，给我留下了深刻的印象。例如，质谱仪、电子显微镜、粒子加速器等精密仪器，都离不开高真空环境来保证其正常工作。作者详细介绍了这些仪器是如何利用真空技术来排除干扰、提高灵敏度、延长样品寿命的。特别是关于超高真空（UHV）技术的讲解，让我了解到如何在极低的压力下进行实验，以及如何构建和维护超高真空系统。书中还提到了真空技术在天文学和空间科学领域的应用，比如真空环境可以模拟宇宙空间，用于测试航天器和进行科学探测。这本书让我意识到，真空技术并非只局限于工业生产，它在基础科学研究领域同样发挥着不可替代的作用。

评分☆☆☆☆☆

这本书，真的让我对“真空”有了全新的认识。《实用真空技术》的内容相当详实，作者似乎把能想到的关于真空的方方面面都囊括进去了。我最近比较关注的是关于真空泵的维护和故障排除部分，这部分内容简直是及时雨。书中详细列举了各种真空泵可能出现的常见故障，比如机械泵漏气、电机过热，扩散泵抽速下降，涡轮分子泵轴承损坏等等，并且给出了非常具体的排查步骤和维修建议。作者还强调了定期维护的重要性，比如及时更换润滑油、清洁泵腔、检查密封件等，这些看似简单的工作，却能大大延长真空泵的使用寿命，并保证系统的正常运行。我特别喜欢书中对于不同泵类维护的细致讲解，对于每一种泵，都有针对性的维护要点和注意事项。这本书的价值在于，它不仅仅教你“怎么做”，更告诉你“为什么这么做”，让你理解背后的道理，从而更好地掌握真空技术。

评分☆☆☆☆☆

《实用真空技术》这本书，我最近一直在反复研读，每次都会有新的收获。我一直对精密制造工艺很感兴趣，而这本书在这方面的内容让我受益匪浅。例如，在电子行业中，半导体芯片的制造过程离不开精密的真空环境。书中详细介绍了光刻、刻蚀、薄膜沉积等关键工艺是如何在真空条件下进行的，以及真空度对产品良率和性能的影响。作者还探讨了真空技术在液晶显示器、OLED屏幕等领域的应用，包括如何通过真空蒸镀技术来制备高质量的发光层和电极。我还对书中关于真空系统清洁和污染控制的内容非常感兴趣。在精密制造领域，任何微小的污染物都可能导致产品失效，因此，如何保持真空系统的清洁、防止交叉污染，是至关重要的问题。这本书提供了许多实用的解决方案和技术，让我对如何在高洁净度环境下进行精密制造有了更深刻的理解。

评分☆☆☆☆☆

最近迷上了一些工业上的技术，朋友推荐了这本《实用真空技术》，说是能把我带进门。我虽然不是科班出身，但平时对一些精密仪器的原理还是挺感兴趣的。翻开这本书，我首先被它清晰的排版和丰富的插图所吸引，很多复杂的概念通过图示一下子就清晰了许多。书里面详细讲解了真空是怎么产生的，从最基础的机械泵原理，到更高级的扩散泵、涡轮分子泵等等，每一种泵的结构、工作方式、优缺点都剖析得很透彻。我还学习到了如何测量真空度，各种真空计的原理和应用场景，比如皮托管真空计、热偶真空计、电离真空计，甚至还有一些我以前从未听说过的磁控溅射离子规。书里还提到了真空系统设计中的一些关键点，比如如何选择合适的真空泵、如何避免漏气、如何进行真空系统的清洁和维护。让我印象深刻的是，作者并没有停留在理论层面，而是大量引用了实际应用案例，比如半导体制造、薄膜沉积、光学镀膜、空间模拟等等，这些案例让我对真空技术在现代工业中的重要性有了更深刻的认识。虽然我还没有完全读完，但已经感觉收获满满，这本书确实是入门真空技术的一本宝藏。

评分☆☆☆☆☆

最近，我对《实用真空技术》这本书爱不释手，它以一种极其专业又不失易懂的方式，为我打开了真空世界的大门。我尤其被书中关于真空系统的漏气检测和修复的章节所吸引。作者详细介绍了各种漏气检测的方法，比如氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、气泡法等，并分析了它们的优缺点和适用范围。他还提供了大量实际操作的技巧，比如如何定位漏点、如何选择合适的密封材料和修复方法。这部分内容对于任何需要维护真空系统的操作人员来说，都是极其宝贵的财富。我了解到，一个小小的漏气，可能就会导致真空度急剧下降，影响实验结果，甚至损坏昂贵的真空设备。因此，掌握有效的漏气检测和修复技术，是保证真空系统稳定可靠运行的关键。这本书的讲解非常细致，让我能够理解每一种检测方法的原理，以及如何根据具体情况选择最合适的方法。

评分☆☆☆☆☆

性价比不高

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性价比不高

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书很小,字很少,价很高

评分☆☆☆☆☆

书内容很少，价格很高！有上当的感觉！

评分☆☆☆☆☆

对我这样的人来说就无多大价值了

评分☆☆☆☆☆

收到快递后大感失望，以为送错了，几十块钱的书，竟然这么一小本！翻开一看，内容很少，基本都是入门知识。不建议专业人士购买。

评分☆☆☆☆☆

性价比不高

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