矽加工中的錶徵 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2025

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美布倫協爾 等 著

圖書標籤:

• 矽加工
• 半導體材料
• 材料錶徵
• 微電子
• 薄膜技術
• 錶麵分析
• 工藝控製
• 質量檢測
• 集成電路
• MEMS

店鋪： 智博天恒圖書專營店

齣版社： 哈爾濱工業大學齣版社

ISBN：9787560342801

商品編碼：29342556247

包裝：平裝

齣版時間：2014-01-01

圖書基本信息
圖書名稱	矽加工中的錶徵
作者	(美)布倫協爾 等
定價	88.00元
齣版社	哈爾濱工業大學齣版社
ISBN	9787560342801
齣版日期	2014-01-01
字數
頁碼
版次	1
裝幀	平裝
開本	16開
商品重量	0.4Kg

內容簡介

《矽加工中的錶徵》是材料錶徵原版係列叢書之一。全書共分六章，內容包括：材料錶徵技術在矽外延生長中的應用；多晶矽導體；矽化物；鋁和銅基導綫；級鎢基導體；阻隔性薄膜。本書適閤作為相關領域的教學、研究、技術人員以及研究生和高年級本科生的參考書。

作者簡介

目錄

Preface to the Reissue of the Materials Characterization Series Preface to Series Preface to the Reissue of Characterization in Silicon Processing Preface Contributors APPLICATION OF MATERIALS CHARACTERIZATION TECHNIQUES TO SILICON EPITAXIAL GROWTH 1.1 Introduction 1.2 Silicon Epitaxial Growth 1.3 Film and Process Characterization 1.4 Selective Growth 1.5 Si1_xGex Epitaxial Growth 1.6 Si1_ xGex Material Characterization 1.7 Summary POLYSILICON CONDUCTORS 2.1 Introduction 2.2 Deposition 2.3 Doping 2.4 Patterning 2.5 Subsequent Processing SILICIDES 3.1 Introduction 3.2 Formation of Silicides 3.3 The Silicide-Silicon Interface 3.4 Oxidation of Silicides 3.5 Dopant Redistribution During Silicide Formation 3.6 Stress in Silicides 3.7 Stability of Silicides 3.8 Summary ALUMINUM- AND COPPER-BASED CONDUCTORS 4.1 Introduction 4.2 Film Deposition 4.3 Film Growth 4.4 Encapsulation 4.5 Reliability Concerns TUNGSTEN-BASED CONDUCTORS 5.1 Applications for ULSI Processing 5.2 Deposition Principles 5.3 Blanket Tungsten Deposition 5.4 Selective Tungsten Deposition BARRIER FILMS 6.1 Introduction 6.2 Characteristics of Barrier Films 6.3 Types of Barrier Films 6.4 Processing Barrier Films 6.5 Examples of Barrier Films 6.6 Summary APPENDIX: TECHNIQUE SUMMARIES 1 Auger Electron Spectroscopy (AES) 2 Ballistic Electron Emission Microscopy (BEEM) 3 Capacitance-Voltage (C-V) Measurements 4 Deep Level Transient Spectroscopy (DLTS) 5 Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry (Dynamic SIMS) 6 Electron Beam Induced Current (EBIC) Microscopy 7 Energy-Dispersive X-Ray Spectroscopy (EDS) 8 Focused Ion Beams (FIBs) 9 Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR) 10 Hall Effect Resistivity Measurements 11 Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry (ICPMS) 12 Light Microscopy 13 Low-Energy Electron Diffraction (LEED) 14 Neutron Activation Analysis (NAA) 15 Optical Scatterometry 16 Photoluminescence (PL) 17 Raman Spectroscopy 18 Reflection High-Energy Electron Diffraction (RHEED) 19 Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS) 20 Scanning Electron Microscopy (SEM) 21 Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) 22 Scanning Tunneling Microscopy and Scanning Force Microscopy (STM and SFM) 23 Sheet Resistance and the Four Point Probe 24 Spreading Resistance Analysis (SRA) 25 Static Secondary Ion Mass Spectrometry (Static SIMS) 26 Surface Roughness: Measurement, Formation by Sputtering, Impact on Depth Profiling 27 Total Reflection X-Ray Fluorescence Analysis (TXRF) 28 Transmission Electron Microscopy (TEM) 29 Variable-Angle Spectroscopic Ellipsometry (VASE) 30 X-Ray Diffraction (XRD) 31 X-Ray Fluorescence (XRF) 32 X-Ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) Index

編輯推薦

文摘

序言

《精密製造的基石：材料錶徵的藝術與科學》 內容概述： 本書並非聚焦於某一特定材料的加工工藝，而是深入探討構成現代精密製造核心的“錶徵”這一關鍵環節。從宏觀尺寸到納米尺度，從材料的化學成分到其細微的晶體結構，再到復雜的錶麵形貌與內在缺陷，本書為讀者構建瞭一幅全景式的材料錶徵圖景。我們並非羅列各種技術細節，而是著力於揭示不同錶徵手段的原理、優勢、局限性及其在不同應用場景下的選擇邏輯。全書分為四大核心篇章，層層遞進，力求為讀者提供一套係統而深入的理解框架。 第一篇：原子與分子層麵的審視——微觀世界的洞察 本篇將帶您進入材料的微觀世界，理解其最基本的構成單元。我們將首先介紹X射綫衍射（XRD），這是一種強大的技術，能夠解析材料的晶體結構。它不僅能識彆化閤物的種類，還能測量晶格常數、計算晶粒尺寸，甚至能定量分析多相材料的相含量。理解XRD，就如同擁有瞭一把鑰匙，可以解鎖材料內部原子排列的奧秘。 接著，我們將探討電子顯微鏡（Electron Microscopy）的強大威力。透射電子顯微鏡（TEM）能夠穿透薄樣品，直接成像材料的微觀結構，揭示位錯、晶界、析齣相等缺陷，其分辨率可達原子級。掃描電子顯微鏡（SEM）則通過掃描電子束與樣品相互作用産生的二次電子或背散射電子來成像，提供豐富的錶麵形貌信息，同時結閤能量色散X射綫光譜（EDX/EDS）或波長色散X射綫光譜（WDX），可以進行定性甚至定量的元素成分分析。SEM的強大之處在於其對樣品錶麵的高分辨率成像能力，如同為材料的“容貌”進行精密掃描。 X射綫光電子能譜（XPS）和俄歇電子能譜（AES）是研究材料錶麵化學成分和化學態的利器。它們能夠探測到樣品錶麵幾納米到幾十納米深度內的元素組成、氧化態以及化學鍵閤信息，對於理解錶麵塗層、腐蝕産物、吸附物等至關重要。想象一下，XPS和AES就像是為材料的“皮膚”進行化學成分檢測，揭示其最外層的秘密。 此外，本篇還會觸及拉曼光譜（Raman Spectroscopy）和紅外光譜（IR Spectroscopy）。這兩種技術通過分析材料與光的相互作用，提供關於分子振動的信息，從而推斷材料的化學結構、官能團以及結晶度。它們如同為材料的“分子語言”進行破譯，理解其內部的化學連接方式。 第二篇：形貌與結構的宏觀呈現——材料的“麵貌”與“骨骼” 在掌握瞭微觀世界的洞察後，本篇將視角拉迴到材料的宏觀形貌和結構。光學顯微鏡（Optical Microscopy）雖然分辨率相對較低，但其操作簡便、成本低廉，依然是材料形貌觀察的重要手段。金屬材料的金相組織分析，以及許多非金屬材料的宏觀缺陷檢查，都離不開光學顯微鏡。 原子力顯微鏡（AFM）則將形貌錶徵推嚮瞭新的高度。它通過一根微小的探針掃描樣品錶麵，能夠以原子級分辨率繪製齣三維形貌圖，檢測納米級溝槽、顆粒、薄膜厚度等。AFM的非破壞性特點使其在對敏感樣品進行錶徵時尤為適用。 斷層掃描技術，如X射綫計算機斷層掃描（X-ray CT），允許我們無損地觀察材料的內部三維結構。它能夠揭示內部孔隙、裂紋、夾雜物等缺陷，以及材料內部的微觀構造，對於理解材料的整體性和可靠性具有重要意義。X-ray CT就像是為材料進行一次全麵的“內髒”透視檢查。 本篇還將探討幾何測量技術，例如三維掃描（3D Scanning）和輪廓儀（Profilometer）。這些技術專注於測量材料錶麵的尺寸、形狀和粗糙度，對於控製加工精度、評估錶麵質量至關重要。 第三篇：力學與物理特性的評估——材料的“性能”與“錶現” 材料不僅僅是靜態的結構，其在各種環境下錶現齣的力學和物理特性同樣是錶徵的重點。本篇將深入探討力學性能測試。拉伸試驗（Tensile Testing）是評估材料強度、韌性、彈性模量等基本力學性能的標準方法。硬度測試（Hardness Testing），如洛氏硬度、維氏硬度、布氏硬度等，則提供瞭材料抵抗塑性變形能力的快速評估。衝擊試驗（Impact Testing），如夏比衝擊試驗，用於評估材料在瞬時載荷下的斷裂韌性。 疲勞試驗（Fatigue Testing）則關注材料在反復應力作用下的壽命，這對於設計承受周期性載荷的結構至關重要。斷裂韌性測試（Fracture Toughness Testing）則衡量材料在存在裂紋時抵抗擴展的能力。 除瞭力學性能，熱分析技術也在此篇占據重要地位。差示掃描量熱法（DSC）能夠測量材料在受控加熱或冷卻過程中吸收或釋放的熱量，從而識彆玻璃化轉變溫度、熔點、結晶溫度、相變溫度等熱學參數。熱重分析（TGA）則監測材料在加熱過程中的質量變化，用於研究材料的熱穩定性、分解行為、水分含量等。 顯微硬度計（Micro-hardness Tester）將硬度測試延伸到微米尺度，能夠測量材料內部微小區域的硬度，對於分析閤金相的硬度分布、錶麵處理層的影響等非常有價值。 第四篇：綜閤應用與前沿探索——錶徵的集成與未來 本篇將升華前三篇的知識，探討如何在實際應用中整閤和選擇恰當的錶徵手段，並展望材料錶徵領域的未來發展。我們將討論多技術聯用（Multitechnique Integration）的策略，例如將SEM與EDS聯用進行形貌和成分分析，將XRD與TEM結閤以理解晶體結構和微觀形貌的關係。強調根據具體的材料體係、失效模式、工藝要求以及研究目的，來選擇最優化的錶徵組閤。 我們將探討原位錶徵（In-situ Characterization）的重要性。通過在顯微鏡下或特定測試環境中進行加熱、拉伸、腐蝕等操作，並同步進行錶徵，可以實時觀察材料在動態過程中的微觀變化，極大地深化對材料行為的理解。 此外，本篇還將觸及無損檢測（Non-destructive Testing, NDT）在工程應用中的廣泛作用，以及計算材料學（Computational Materials Science）與實驗錶徵的協同關係。模擬計算可以預測材料的性質，而實驗錶徵則驗證和校準這些模型。 最後，我們將對新興的錶徵技術進行展望，例如同步輻射光源（Synchrotron Radiation）提供的超高亮度X射綫，能夠實現更高分辨率、更快速的錶徵；先進的二維/三維成像技術，能夠提供更精細的結構信息；以及人工智能（AI）在錶徵數據分析中的應用，能夠加速數據處理和模式識彆。 本書特色： 原理與應用並重： 既深入淺齣地講解各種錶徵技術的科學原理，又結閤實際案例，闡述其在不同領域（如半導體、航空航天、生物材料、能源材料等）的應用。 係統性框架： 按照從微觀到宏觀，從結構到性能的邏輯順序構建內容，形成一套完整的錶徵知識體係。 選擇性指導： 強調如何根據實際需求選擇最閤適的錶徵方法，而非簡單羅列技術。 前沿視野： 關注行業最新發展動態和前沿技術，為讀者提供前瞻性指導。 《精密製造的基石：材料錶徵的藝術與科學》將為所有從事材料研究、産品開發、質量控製及相關領域的專業人士和學生提供一本不可或缺的參考書。它將幫助您更深入地理解材料的本質，更精準地控製材料的性能，從而在激烈的市場競爭中立於不敗之地。

評分☆☆☆☆☆

閱讀完這本書，我最大的感受是其廣博的視野和前瞻性。它不僅僅是對現有知識的梳理和總結，更像是打開瞭一扇通往未來技術方嚮的窗戶。在討論到一些前沿工藝的局限性時，作者並沒有停留在批判，而是巧妙地植入瞭未來可能的研究方嚮和尚未解決的關鍵科學難題。這使得這本書的價值超越瞭一本參考手冊，更像是一份行業發展路綫圖的草稿。它激發瞭我強烈的求知欲，讓我不再滿足於當前已知的知識體係，而是開始思考“下一個十年，我們將如何突破現有瓶頸”。這本書，真正做到瞭“授人以漁”的最高境界。

評分☆☆☆☆☆

與市麵上那些動輒堆砌公式和晦澀術語的專業書籍相比，這本書的語言風格簡直是清流。它沒有那種拒人於韆裏之外的傲慢感，反而像是一位耐心且知識淵博的導師在耳邊細細講解。很多復雜的物理化學原理，都被作者用極具生活氣息的類比來解釋。比如，描述界麵能壘的段落，竟然用瞭“擁擠的舞廳中，人們相互推擠而産生的壓力”來做比喻，瞬間就明白瞭那種潛在的勢能差異。這種將高深知識“接地氣”的能力，讓跨專業的讀者也能輕鬆入門，它成功地打破瞭專業壁壘，展現瞭作者深厚的綜閤素養。

評分☆☆☆☆☆

這本書的插圖和圖錶質量，絕對是業界的標杆。我見過太多技術書籍，圖示模糊不清，關鍵信息點被淹沒在混亂的綫條和標注中。然而，這本書裏的每一張示意圖都經過瞭精心設計，色彩的運用剋製而精準，箭頭和標注邏輯清晰到令人贊嘆。更重要的是，圖錶不是簡單地重復文字內容，而是提供瞭另一種維度的信息補充。例如，某張對比不同處理溫度下晶粒生長的三維模型圖，比長篇的文字描述更能直觀地揭示齣時間與形態之間的非綫性關係。這錶明作者在內容創作的同時，也投入瞭大量的精力在視覺傳達的設計上。

評分☆☆☆☆☆

這本書的裝幀設計簡直是藝術品，封麵那一抹深邃的鈷藍色，搭配燙金的標題字體，初見時就讓人心頭一顫。翻開內頁，紙張的質感也齣乎意料地好，那種略帶粗糲卻又不失細膩的觸感，讀起來非常舒服。更令人驚喜的是，排版布局簡直是教科書級彆的典範，行距、字距的把握恰到好處，即便是在那些涉及復雜理論推導的長篇幅章節中，視覺上也不會産生壓迫感。作者顯然對閱讀體驗有著極高的要求，這種對細節的執著，讓閱讀過程本身變成瞭一種享受。我甚至會特意在光綫柔和的午後，泡一杯熱茶，隻是為瞭更好地沉浸在這種實體書的美感之中。這本書的實體版本，完全值得被收藏在書架上，它散發齣的那種沉穩而厚重的氣息，是電子閱讀器無法替代的。

評分☆☆☆☆☆

我簡直不敢相信，某些章節的論述竟然能做到如此抽絲剝繭、邏輯嚴密的程度。那些原本我以為需要查閱三四本輔助材料纔能勉強理解的概念，在這裏被層層剝離，用最精煉的語言和巧妙的比喻串聯起來。特彆是關於材料微觀結構演變的那些描述，作者似乎擁有將抽象概念具象化的魔力。讀到後半部分，我感覺自己像是跟隨一位經驗極其豐富的工匠，從最基礎的晶格缺陷開始，一步步構建起對整個體係的認知框架。這種循序漸進、步步為營的敘事方式，極大地降低瞭學習麯綫的陡峭感，讓人在不知不覺中就跨越瞭知識的鴻溝。