半导体工艺与测试实验 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025

简体网页||繁体网页

☆☆☆☆☆

谢德英，陈晖，黄展云 等 编

图书标签:

• 半导体
• 工艺
• 测试
• 实验
• 电子工程
• 微电子学
• 集成电路
• 器件物理
• 模拟电路
• 数字电路

出版社： 科学出版社

ISBN：9787030436467

版次：1

商品编码：11675211

包装：平装

丛书名： 国家级物理实验教学示范中心系列教材中山大学物理学实验系列教程

开本：16开

出版时间：2015-04-01

用纸：胶版纸

页数：192

字数：350000

正文语种：中文

内容简介

　　《半导体工艺与测试实验》主要内容包括半导体工艺的6个主要单项实验、半导体材料特性表征与器件测试实验、工艺和器件特性仿真实验。并通过综合流程实验整合各单项实验知识和技能，着重培养学生的半导体器件的综合设计能力。

目录

前言
第1章绪论
1.1实验目的
1.2实验要求
1.3洁净室简介
1.4实验室安全与注意事项
第2章半导体工艺实验
2.1光掩模版介绍
2.2工艺流程介绍
2.3硅片清洗实验
2.4热氧化工艺实验
2.5光刻工艺实验
2.6湿法刻蚀工艺实验
2.7磷扩散工艺实验
2.8金属蒸镀工艺实验
第3章半导体材料与器件特性表征实验
3.1高频光电导衰减法测量硅单晶少子寿命实验
3.2四探针法测量硅片电阻率与杂质浓度实验
3.3半导体材料的霍尔效应测量实验
3.4pn结的电容-电压（C-V）特性测试实验
3.5双极型晶体管的直流参数测试实验
3.6薄膜晶体管器件电学特性测试实验
3.7MOS结构的Si-SiO2界面态密度分布测量实验
第4章综合实验
4.1半导体仿真工具SILVACO TCAD介绍
4.2工艺仿真的基本操作
4.3PMOS器件工艺仿真实验
4.4半导体器件物理特性仿真
4.5半导体器件设计实验
4.6半导体器件制备和特性测试实验
参考文献

精彩书摘

　　第1章绪论
　　半导体工艺与测试实验是微电子学专业的基础课程，围绕半导体材料、器件、工艺等环节开设.根据微电子学专业的培养目标，实验教学将为学生在电子器件领域从事工程技术工作和科学研究提供系统的实践训练.学生在实验的学习过程中，要有意识地提高科学实验素养，具有强烈的求知欲望、严谨的科学态度以及勇于探索的钻研精神.本章是实验的预备知识，内容安排如下： 1-1节和1-2节阐述本实验课程中两大部分实验的目的与要求；1-3节介绍洁净实验室的环境；1-4节提出学生进入实验室学习的安全与注意事项.1-1实 验 目 的随着科学技术的发展，社会对大学生的素质要求也不断提高，微电子学专业的学生不但要掌握集成电路的基本理论知识，而且还要掌握基本的实验技能，并具有一定的科学研究能力.
　　半导体工艺与测试实验是一门实践性、技术性较强的专业实验课，是微电子学专业教学内容必不可少的一部分.同时也是理论教学的深化和补充，巩固和加深学生对所学的半导体材料、半导体物理、半导体器件、集成电路原理和微加工技术等专业课程的理解，进一步巩固相关理论知识，为从事电子器件设计与制造打下良好的基础.本课程通过半导体工艺实验，加深学生对整个半导体器件制造工艺的了解，培养学生的动手能力和半导体器件工艺流程设计的能力，并提高学生独立分析问题、解决问题的能力；通过半导体材料与器件特性表征实验，使对半导体材料性能参数、半导体表面及界面态的测量、半导体器件电学参数的观测等实验手段有较深入的认识，了解和掌握有关半导体材料和器件特性检测方面的基本方法和实验手段，提高学生的实验技能；通过综合实验，利用TCAD(Technology Computer Aided Design)仿真软件对工艺和器件进行仿真、设计，扩展对实验局限性的认识，探讨现代工艺和器件的主要改进方向.最后从器件设计、集成制备、表征检测等方面完成半导体器件项目的流程综合训练，着重培养学生的综合设计和创新能力.
　　1-2实验要求
　　1-2-1实验预习要求
　　实验前应仔细阅读实验教材和参考资料，熟悉仪器设备的说明书，了解相关的理论知识.明确实验目的、实验原理、实验内容和注意事项，按要求做好预习报告，知道实验该做什么，怎么做，大概会出现如何的结果.
　　1-2-2实验过程要求
　　实验过程中，要严格遵守实验室有关规章制度，正确操作和使用仪器设备.实验安全问题十分重要，学生应按照不同实验的要求，佩戴好个人的防护，同时也要注意用电、用气、热辐射、化学腐蚀等安全问题.每个实验仪器都有具体的指示牌，标明了仪器的正确操作步骤和最重要的注意事项，需要仔细阅读.实验时，需要填写实验记录表，把测量的原始数据记录下来，同时实验过程中遇到问题，也需要记录下来，与老师共同寻求解决方案，最后要附在实验报告里.实验结束后，要把仪器设备恢复到初始状态，把有关的实验用品整理好才能离开，如有仪器设备损坏，须及时报告老师.
　　1-2-3实验报告要求
　　实验报告应简单明了，语言通顺，图表规范完整.实验报告内容应包括：实验原理简述、实验步骤、实验数据（实验原始记录表）、实验结果分析（含图表）、实验讨论和思考题.按时提交实验报告.
　　1-2-4实验完成后要求
　　实验课程完成后学生在知识结构和实验技能方面应达到以下要求：（1） 对整个集成电路工艺流程、半导体材料与器件特性表征方法有一个比较全面的了解.（2） 能够熟练掌握常见的半导体工艺设备和测试仪器，进一步巩固和加深对集成电路器件的理解，综合运用所学知识提高独立设计集成电路器件的能力.（3） 能根据实验要求熟练查阅手册及有关的参考资料，通过独立思考，深入钻研有关问题，培养自己独立分析问题、解决问题的能力，具有一定的创新能力.（4） 准确分析实验结果，认真撰写实验报告及设计报告，要求文理通顺、说理清楚、立论准确.（5） 通过完成综合实验，培养学生独立解决实际问题的能力，提高学生的科研素质与创新意识.
　　1-3洁净室简介
　　半导体器件制造必须要在一个洁净无污染的环境中进行，基本原则是要有一个封闭的空间，由非污染物建造，并能提供洁净的空气，还包括可以防止由外界或操作人员带入的意外污染.洁净室是指能将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电等控制在某一需求范围内而特别设计的房间.也即是不论外在空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能特性.按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定的.也就是说所谓无尘并非百分之百没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位级别上.当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小得微乎其微，但是对于半导体制造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在半导体器件生产上，无尘是必然的要求.
　　每立方米将小于0-3μm粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级.目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标准主要被应用在一些等级较高的芯片生产上.5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别.目前，一般半导体工艺洁净实验室主要由以下几个功能区组成：更衣区、风淋室、纯水间、空调机房和工艺实验工作区.更衣区作为洁净室与外界的缓冲部分，用于放置洁净服.工作人员必须在此区域更换洁净服，进入洁净室的物品也必须在此清洁.风淋室是连接洁净室和更衣区的部分，工作人员进入风淋室，高速流动的空气可以吹落洁净服外面的颗粒.
　　风淋室采用互锁系统，可以防止前后门同时打开.工艺实验工作区是器件制造的主要场地，回风空气经过一系列过滤器，以均匀平行的方式流出，为洁净室提供洁净的空气，使之达到相应的洁净级别.为了维持洁净室的高洁净度，除了建立一个完整的空气循环系统外，日常对其维护是很重要的.洁净室的污染源来自于工作人员、仪器、实验用品（实验材料、化学药品等），其中工作人员是最大的污染源，即使一个经过风淋的工作人员，当他坐着的时候，每秒钟也可释放10万到100万个颗粒，活动的时候，就会释放得更多.因此，进入洁净室，工作人员要把身体的每个部位罩住，也就是从头到脚都要在洁净服里面.
　　1-4实验室安全与注意事项
　　实验室是进行科学研究和实践的地方，有大量的仪器设备、实验材料和特殊的实验环境.各类实验室装备不同，实验环境要求也不同.学生进入实验室学习一定要养成良好的实验习惯，严格执行实验室给出的各项具体的操作规程和安全防护规则，确保人身安全和仪器安全.在半导体制造和器件测试的过程中，也存在着广泛的安全隐患，如化学溶液（腐蚀或有毒）、压缩气体、高温、高压电、辐射、机械危险等.特别是进入洁净室前，必须学习如何使用这些材料和仪器，了解相关的安全准则.
　　1-4-1化学溶液使用
　　安全工艺实验的洁净室内要用到大量的化学溶液，如酸类药品（浓硫酸、浓盐酸、浓硝酸、氢氟酸、浓磷酸、醋酸）、碱类药品（氢氧化钠、氢氧化钾、TMAH、氨水）和有机药品（甲苯、丙酮、乙醇、异丙醇），要正确安全使用这些化学药品，以及学习一些急救措施.使用化学试剂前，要先看清楚标签和注意事项，或者查阅相关的安全资料，查明是否会对人体造成伤害，药品使用完毕要放回原位.特别关注以下的操作规范：（1） 使用强酸和碱类药品前，应戴上耐酸碱手套，穿上塑胶围裙，并戴上防护面罩；（2） 使用有机药品时，应戴上乳胶手套，并戴上防护面罩；（3） 在配置浓硫酸溶液时，浓硫酸应最后缓慢加入水溶液中，并用石英棒不断的搅动，绝对禁止把水溶液倒入浓硫酸中，以免飞溅伤人；(4) 使用氢氟酸时，务必使用塑料容器，严禁使用玻璃容器；氢氟酸溶液使用完毕后，应把残液倒入废弃氢氟酸桶内，严禁直接倒入下水管道.酸废液需稀释后方可倒入酸碱腐蚀槽内（氢氟酸废液除外），切不可任意倾倒，更不可与有机溶液混合.尤其是浓硫酸废液需稀释后并等溶液完全冷却，方可倒入酸碱腐蚀槽内；碱废液需稀释后方可倒入酸碱腐蚀槽内，切不可任意倾倒，更不可与有机溶液混合.
　　若不慎接触到化学有毒溶液，以下介绍一些紧急处理方法：(1) 皮肤或眼睛接触浓硫酸切忌用水冲洗，先用棉布吸取浓硫酸，再用大量水冲洗，接着用3%～5%的碳酸氢钠溶液中和，最后用水清洗；(2) 皮肤接触氢氟酸时，先用大量清水冲洗较长时间，直至伤口表面发红，然后用3%～5%的碳酸氢钠溶液洗，再以甘油和氧化镁（2∶1）悬浮剂涂抹，最后用消毒纱布包扎；（3） 眼睛接触氢氟酸时，应先用大量水冲洗，再用3%～5%的碳酸氢钠溶液清洗；(4) 皮肤或眼睛接触浓盐酸、浓硝酸、浓磷酸或醋酸时，应先用大量水冲洗，再用3%～5%的碳酸氢钠溶液清洗；(5) 皮肤或眼睛接触碱类药品应先用大量水冲洗，再用2%的乙酸溶液清洗；(6) 皮肤接触有机药品时，应用清水和肥皂水彻底冲洗；(7) 眼睛接触有机药品时，提起眼睑，用流动清水或生理盐水冲洗.
　　此外还要注意其他安全事项：（1） 在倾注或加热溶液时，不要俯视容器，以防溅在脸上或皮肤上；(2) 使用药品时，应在通风橱中完成.加热液体时，或超声有机溶液时，应关闭好橱柜门，以免液体飞溅伤人；（3） 溶液配置完毕后，应在容器上贴上标签，注明所配置溶液的名称；（4） 在工作时，应养成良好的工作姿势，上身应避免前倾入通风橱中，除避免危险外亦减少污染机会；（5） 无论晶片处于清洗或腐蚀状态，绝不可轻忽省略，擅自离开；（6） 化学药品外泄时应立即向工作人员汇报，并作适当处理，若有撤离需要时应按照指示撤离.
　　1-4-2仪器使用安全
　　使用仪器前要先了解仪器的性能、配置和正确操作方法，严禁拆卸零件及附件，不能私自调整仪器的参数.曝光机使用时，应注意以下安全事项：1- 光刻胶不能在日常白光下打开，需要戴防护手套，避免与化学药品直接接触；2- 汞灯电源冷却风机停转或发生某种故障时禁止使用电源；3- 汞灯触发时存在很高的电压和电磁干扰，务必注意人身安全和其他电子器件的干扰；4- 在测量光强度和调整汞灯时，不要直视光源，要戴好防护眼镜，以免紫外光灼伤眼睛；5- 汞灯灯泡饱含水银，水银是危险材料，应小心对待，汞灯光源运行中会达到较高温度，要注意热防护.氧化扩散炉运行时，炉内温度可以达到1000℃，注意热防护，避免直接触碰炉体；硅片和扩散源送入炉体时，必须佩戴绝热手套.电阻蒸发镀膜机使用时，需要用到机械泵和分子泵抽真空，注意分子泵的使用安全，当分子泵高速旋转时，切勿触碰.在搬运玻璃钟罩的过程中，小心掉落破碎.1-4-3用电安全电气设备与电缆要保证有良好的绝缘和接地，在带电设备上操作时，决不能用金属笔、金属尺，或佩戴戒指、手表.当手、脚或身体在有汗、水湿的情况下，不能触碰电气设备.对于一些高压设备，操作过程中身体切勿触碰仪器的电压输出端，以防触电.当忽然停电、停水时，应立刻切断仪器设备的电源和水源开关，以防来电、来水时，因无人在场发生意外事故和水淹事故.
　　1-4-4用气安全
　　打开气瓶时，必须观察流量计，以免因充气过度使仪器损坏；气体使用完毕，必须把气瓶的总开关关闭.附录《洁净室安全卫生工作管理条例》(1) 进入洁净室前，必须知会管理人员，并通过基本训练；(2) 进入洁净室严禁吸烟、饮食，除规定纸张和物品外，其他物品一概不得携带进入洁净室，并严禁嬉闹奔跑；(3) 进入洁净室前，需在洁净室外脱去外鞋，将鞋放置于鞋柜内；(4) 进入风淋室前，需从更衣区的衣柜中取出洁净服，依程序穿着洁净服，把鞋子、帽子整理好，佩戴好手套和口罩；(5) 洁净服穿好后，排队通过风淋室，去除灰尘后才能进入洁净室；(6) 不论进入或离开洁净室，须按规定在更衣区内穿脱洁净服，不可在其他区域，尤其是不可在洁净室内边走边脱；(7) 洁净服应定期清洗，有破损、脱线时，应及时换新；(8) 脱下洁净服后必须把洁净服叠好，放进衣柜相应的位置；(9) 更衣区的衣柜，除了放置洁净服等规定物品外，不得放置其他物品；(10) 洁净服等不得携带出洁净室，用毕放置于规定的地方；(11) 任何物品进入洁净室前，必须用酒精擦拭干净；(
　　……

前言/序言

《光影斑驳的时代：我的相机与世界的对话》 书名：光影斑驳的时代：我的相机与世界的对话 这是一本关于摄影的随笔集，作者以一位资深摄影爱好者的视角，记录了他在不同时期、不同地点，用相机捕捉到的那些转瞬即逝的光影，以及这些光影背后承载的个人情感、社会变迁和人生哲思。本书并非一本枯燥的摄影技术指南，也不是流水账式的游记，而是通过一个个生动的故事，展现摄影如何成为作者感知世界、记录生活、探索自我的独特方式。 第一部分：初窥门径，少年心事与黑白胶片 故事的开端，要追溯到作者年少时对光影世界的好奇。那是一个还没有数码影像的时代，胶片相机是记录影像的唯一媒介。作者详细描绘了第一次接触老式胶片相机时的情景：冰凉的金属机身，沉甸甸的分量，每一个转动的拨盘和拉杆都带着机械的仪式感。他笔下的第一台相机，或许是一台二手的禄来双反，亦或是一台老式的海鸥单反，它们身上带着前任使用者留下的痕迹，仿佛在诉说着自己的过往。 作者着重描绘了冲洗胶片的整个过程。在昏暗的暗房里，化学药剂的气味弥漫，红灯投下的朦胧光晕，将原本模糊的影像一点点显现出来。这个过程充满了神秘感和期待感，每一次成功的显影都像一次魔法的实现。他会细致地描述显影液、定影液的温度变化，纸张的质感，以及放大机投射出的光斑。他会回忆在暗房里度过的无数个夜晚，在等待照片成像的过程中，思考着青春的迷茫、成长的烦恼，以及对未知世界无限的憧憬。 这一部分，作者会穿插讲述一些早期的摄影作品。这些作品大多是黑白的，带着胶片特有的颗粒感和丰富的层次。它们可能捕捉了街头巷尾的寻常百姓，静谧的老宅院落，或是少年时代的朋友们的笑脸。通过这些影像，作者展现了那个年代朴素的生活气息，以及少年时期那种纯粹而热烈的观察世界的眼光。他会解释为什么选择黑白，为何对某个瞬间如此着迷，字里行间流露出对那个时代独特美学的怀念。 第二部分：色彩涌动，生活的色彩与心灵的涤荡 随着技术的进步和个人经历的丰富，作者的摄影之路也进入了彩色时代。他开始接触彩色的正片和负片，对色彩的运用有了更深的理解。这一阶段的作品，色彩更加鲜艳，也更加贴近生活的真实面貌。作者会分享他如何学习色彩理论，如何通过调整曝光和白平衡来捕捉不同光线下色彩的微妙变化。 本部分的故事更加多元，可能包括： 旅途中的光影： 作者会分享一次难忘的旅行经历，比如在异国他乡，当他置身于陌生的街景、壮丽的自然风光中时，相机会如何成为他与当地文化、风土人情产生连接的桥梁。他会描述在日出时分，用镜头追逐第一缕阳光穿透薄雾的景象；在黄昏时分，捕捉夕阳染红天空的壮丽瞬间；或是记录当地居民在市集上忙碌的身影，他们脸上洋溢的笑容，以及服装上鲜艳的色彩。这些旅途中的影像，不仅是对风景的记录，更是对人文的关怀和对生活的热爱。 家人的瞬间： 作者会记录下与家人共度的温馨时光。可能是妻子在厨房里忙碌的身影，孩子玩耍时的纯真笑容，或是父母在夕阳下安详的神态。这些充满生活气息的照片，承载着作者深沉的家庭情感，他会借此表达对亲人的爱与感激，以及在家庭港湾中获得的宁静与力量。他会回忆某个家庭聚会的场景，相机捕捉到的笑声和眼神，在多年后依然能唤起内心深处最柔软的触动。 都市的脉搏： 作者也会关注都市的生活节奏和人文景观。他会捕捉城市街道上行色匆匆的人群，高楼大厦间隙漏下的阳光，或是夜晚霓虹闪烁的迷人景象。他会反思现代都市的快节奏，以及在喧嚣中人们对内心平静的追寻。他可能会记录下某个街头艺人的表演，某个角落里安静阅读的年轻人，亦或是某个拆迁中的老建筑，这些都折射出城市发展的变迁和其中个体命运的沉浮。 在这一部分，作者会进一步探讨色彩在摄影中的作用，它如何影响观者的情绪，如何构建画面氛围。他也会分享一些在特定光线下拍摄的技巧，比如如何利用逆光勾勒轮廓，如何捕捉柔和的散射光，以及如何运用对比色来增强画面的冲击力。 第三部分：深度凝视，影像的力量与人生的洞见 进入成熟阶段，作者的摄影已经不仅仅是记录，更是对生活、对社会、对人性进行深度凝视的一种方式。他开始关注那些更具思考性、更富人文关怀的主题。他会运用更加成熟的摄影语言，通过构图、光影、色彩的精妙组合，来表达自己的观点和情感。 本部分将包含以下内容： 纪实与反思： 作者可能会讲述他拍摄某个社会议题的经历。比如，他可能在某个偏远地区，用镜头记录当地居民的生活困境，他们面对的挑战，以及他们身上展现出的坚韧和希望。他会深入挖掘故事背后的原因，并通过影像引发读者对社会问题的思考。他会解释为何选择这个题材，以及拍摄过程中所面临的困难和内心的挣扎。 人物肖像的深度： 作者会分享拍摄人物肖像的经验。他会强调与被摄者建立真诚的沟通，理解他们的故事和情感，然后用镜头去捕捉他们内心深处的真实。他可能会讲述如何通过眼神、表情、肢体语言来传递人物的性格和经历。他会分享一些他认为成功的肖像作品，并解读其中蕴含的人物故事。 抽象与象征： 在某些时刻，作者的摄影会超越具象的表达，走向更加抽象和象征的领域。他可能会捕捉一些自然界或生活中的特殊纹理、光影的组合，通过这些画面引发观者对生命、时间、存在等哲学问题的联想。他会解释这些作品是如何从日常生活中提炼出来，以及它们所承载的更深层次的意义。 摄影作为一种自我对话： 作者会阐述摄影对他而言，是一种与自己对话的方式。每一次按下快门，都是一次对当下瞬间的确认，也是一次对内心世界的审视。他会分享摄影如何帮助他梳理情感，认识自我，并在面对人生起伏时找到方向。他会引用一些诗句或文学作品，来比喻摄影与心灵成长的关系。 在第三部分，作者会更加侧重于摄影的观念和思想性。他会探讨摄影的伦理问题，如何平衡记录的真实与尊严，以及摄影作品所能产生的社会影响。他也会分享他对摄影艺术的理解，它如何成为一种独特的叙事方式，以及如何在不断变化的时代中保持其独特的价值。 贯穿全书的思考： 光影的哲学： 作者将光影视为生命的隐喻，它们既短暂易逝，又充满力量。他会不断地在书中回味和思考光影的变化，以及这些变化如何映射出人生的起伏和情感的流转。 时间的痕迹： 相机记录的是时间。作者会强调，每一次拍摄，都是在为未来留下一份珍贵的记忆。而随着时间的推移，这些影像会承载更多的意义，成为连接过去与现在的桥梁。 观察者的角色： 作者认为，摄影师是一个永恒的观察者。通过相机，他以一种冷静而专注的态度审视世界，同时也与世界发生着深刻的联系。 人与相机的关系： 作者会描绘人与相机的关系，相机不仅仅是记录工具，更像是摄影师延伸的感官，是心灵的伴侣。 《光影斑驳的时代：我的相机与世界的对话》将以细腻的笔触、真挚的情感，以及充满智慧的思考，带领读者走进一个摄影爱好者的内心世界，体验摄影的魅力，感悟人生的丰富多彩。本书适合所有热爱生活、喜欢思考、对摄影抱有好奇心的人阅读。它不教授技巧，却能启发灵感；它不讲述故事，却能勾起无数共鸣。这是一本关于看见，关于记录，更关于理解的书。

评分☆☆☆☆☆

这本书的封面设计非常吸引人，深邃的蓝色背景搭配简洁有力的书名，一眼就能看出这是一本偏向技术类的读物。我一直对电子产品内部的奥秘充满好奇，特别是那些微小的芯片是如何制造出来的。虽然我不是专业出身，但一直有学习半导体相关知识的愿望。看到这本书的名字，我立刻被吸引了。我期待它能以一种易于理解的方式，带我走进半导体这个复杂而迷人的世界。从书名“工艺与测试”来看，我推测它应该会详细介绍芯片制造的每一个环节，从原材料的处理到最终的成品检验。这对我来说是非常宝贵的知识，因为我总觉得，只有了解了“怎么做”和“做得好不好”，才能更深入地理解“是什么”。我希望这本书能够讲解得生动有趣，即使是一些非常专业的术语，也能通过清晰的图示或者形象的比喻来解释，这样即使是初学者也能有所收获。我尤其希望能够了解到，在漫长的制造过程中，每一个步骤都可能出现哪些问题，以及如何通过精密的测试来发现和解决这些问题。这就像是为我打开了一扇了解现代科技基石的大门，让我能更深切地体会到科技进步的艰辛与伟大。

评分☆☆☆☆☆

作为一名对光学领域颇感兴趣的读者，我在书店闲逛时偶然翻到了这本《半导体工艺与测试实验》。虽然书名听起来与我熟悉的领域有些距离，但“工艺”和“测试”这两个词引起了我的注意。我经常接触到各种光学器件，例如用于显示屏的微透镜阵列，或者用于精密测量的光栅。这些器件的性能很大程度上取决于其制造精度和可靠性，而半导体工艺正是实现这种高精度制造的关键技术之一。我猜测这本书会详细阐述一些微纳加工的技术，例如光刻、刻蚀、沉积等，这些过程很可能与一些先进的光学元件制造方法有着共通之处。我希望能从中学习到一些关于精细操控物质、实现微观结构精确构筑的原理和方法。此外，“测试”部分也让我颇感兴趣。对于光学器件而言，性能评估至关重要，例如衍射效率、成像质量、光通量等。我好奇书中会介绍哪些检测手段，如何评估半导体器件的良率和性能指标，这些方法是否也能借鉴到光学器件的测试中。即便这本书并非专门针对光学，但其在精密制造和质量控制方面的理论与实践，无疑能为我提供新的思考角度和技术启发，让我能够以更科学、更严谨的态度去理解和改进我所研究的光学器件。

评分☆☆☆☆☆

近期我一直在关注新能源技术的发展，尤其是太阳能电池和固态电池等领域。这些前沿技术在很大程度上依赖于半导体材料的创新和高性能的制造工艺。因此，当我看到《半导体工艺与测试实验》这本书时，我立刻对其产生了浓厚的兴趣。我猜测书中会详细介绍各种半导体材料的特性，以及如何通过不同的工艺手段来优化其性能，以满足新能源领域的需求。例如，对于太阳能电池，我希望了解书中是如何介绍光伏材料的制备、晶圆的切割、PN结的形成以及电极的封装等工艺流程的。同时，对于固态电池，其电解质材料的制备和与电极的界面接触也是至关重要的，我期待书中能提供相关的工艺信息。此外，书中提到的“测试”环节也让我十分关注。如何精确地评估新能源器件的能量转换效率、循环寿命、安全性等关键指标，是推动技术进步的瓶颈。我希望书中能够提供一些关于这些方面的测试方法和标准，例如IV曲线测试、阻抗谱分析、充放电寿命测试等。这本书的知识，无疑将为我理解和评估新能源技术提供重要的理论支持和实践指导，帮助我更深入地把握行业的发展脉搏。

评分☆☆☆☆☆

作为一名对集成电路设计流程感兴趣的硬件工程师，我一直认为深入理解底层的制造工艺是提升设计能力的关键。许多时候，由于对工艺的理解不足，设计出来的电路在流片后会因为工艺限制而无法达到预期性能，甚至出现不可预见的故障。因此，《半导体工艺与测试实验》这本书对我来说具有极大的吸引力。我希望它能够深入讲解半导体制造中的各种关键工艺步骤，例如CMOS工艺中的氧化、光刻、刻蚀、离子注入、金属化等。我特别关注书本会如何解释这些工艺对器件特性（如阈值电压、漏电流、栅氧化层厚度）的影响，以及如何通过工艺参数的选择来优化这些特性。同时，“测试”部分更是我所期望的。我希望书中能够详细介绍各种形式的测试，从晶圆级测试（wafer sort）到封装级测试（package test），再到系统级测试。特别是关于失效分析（failure analysis）的部分，如果能有案例说明如何通过测试来定位和诊断芯片失效的原因，那将对我非常有价值。我希望通过这本书，能够将理论知识与实际制造过程紧密结合起来，从而在未来的设计工作中，能够做出更具鲁棒性、更符合工艺要求的优秀设计。

评分☆☆☆☆☆

我是一名在校的电子信息工程专业的学生，即将面临毕业设计。对于半导体器件的原理和应用，我虽然在课堂上有所接触，但实践经验和深入理解还有待提升。看到《半导体工艺与测试实验》这本书，我感觉它正是我目前急需的学习资料。书名中的“实验”二字尤其吸引我，因为我希望我的毕业设计能够包含一些实际的动手操作或者对实验数据的分析。我希望能从书中了解到一些具体的实验步骤，例如如何利用显微镜观察晶圆上的结构，如何使用电学参数测试仪测量器件的导通特性，甚至是如何设计简单的测试流程来验证器件的功能。理论知识固然重要，但缺乏实践的理论往往是空洞的。我期待这本书能够提供一些案例分析，展示实际的工艺流程中可能遇到的问题，以及相应的测试方法和解决方案。这对于我在实际操作中少走弯路，提高毕业设计的质量至关重要。我希望这本书能为我提供一个清晰的实验框架，让我能够根据书中的指导，一步步地去理解和实践半导体工艺与测试的要点，为我未来的职业生涯打下坚实的基础。

评分☆☆☆☆☆

内容丰富 专业 适合大学生

评分☆☆☆☆☆

实验类的书，写的人少，好书不多

评分☆☆☆☆☆

实验类的书，写的人少，好书不多

评分☆☆☆☆☆

好好好，十个字快点让我完成评论

评分☆☆☆☆☆

非常不错的参考书，好评值得购买

评分☆☆☆☆☆

非常不错的参考书，好评值得购买

评分☆☆☆☆☆

购买错了，还没看。。。。。。。。

评分☆☆☆☆☆

非常不错的参考书，好评值得购买

评分☆☆☆☆☆

工具书，好好学习！！