纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025

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顾长志 等 著

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• 纳米科学
• 纳米技术
• 微纳加工
• 纳米材料
• 纳米器件
• 材料科学
• 物理学
• 工程学
• 应用科学
• 微电子学

出版社： 科学出版社

ISBN：9787030378255

版次：1

商品编码：12130270

包装：精装

丛书名： 纳米科学与技术

开本：16开

出版时间：2013-06-01

用纸：胶版纸

页数：353

字数：445000

正文语种：中文

内容简介

　　《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》简述微纳加工的主要方法及在纳米材料与纳米器件研究中的应用，注重理论与实践的结合，包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印、刻蚀技术、薄膜技术、自组装加工，以及微纳加工在纳米材料与器件的电学、光学、磁学等研究领域的应用，重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与新发展的趋势，在科学研究中的创新性应用与要注意的问题，以及在多学科领域中对探索科学发现的重要作用。
　　《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》可作为高等学校物理、化学、电子、材料、生物等专业研究生和高年级本科生的参考教材，也可供从事纳米科学与技术等相关领域研究的科技工作者参考。

作者简介

　　顾长志，1964年6月生于沈阳。1997年于吉林大学获得凝聚态物理专业博士学位。1997-1999年在德国夫琅禾费薄膜与表面工程研究所从事博士后研究，2000年在德国柏林自由大学物理系做高访学者，2004年在日本物质材料国家研究所从事合作研究。1998年被聘为吉林大学教授，2001年至今任中国科学院物理研究所研究员、博士生导师，并任技术部主任、微加工实验室主任。2000年获教育部“跨世纪人才”称号，2001年入选中国科学院“百人计划”。2007年获中国物理学会“胡刚复物理奖”。2008年获得“国家杰出青年基金”。曾主持和承担国家重大和重点项目6项。
　　长期从事纳米材料与纳米结构的可控制备、新奇物性和器件应用方面的研究，获得了一系列研究成果。在Nature子刊、Phys.Rev，Lett.，J.Am.Chem.Soc.，NanoLett.，Adv.Mater.等学术刊物上发表论文200余篇，获发明专利授权20余项，完成国家鉴定（验收）项目5项。

内页插图

目录

《纳米科学与技术》丛书序
前言
第1章 光学曝光
1．1 光学曝光系统的基本组成
1．2 光学曝光的基本原理与特征
1．2．1 光学曝光的基本模式与原理
1．2．2 光学曝光的过程
1．2．3 分辨率增强技术
1．3 短波长光学曝光技术
1．3．1 深紫外与真空紫外曝光技术
1．3．2 极紫外曝光技术
1．3．3 X射线曝光技术
1．3．4 LIGA加工技术
1．4 光学曝光加工纳米结构
1．4．1 泊松亮斑纳米曝光技术
1．4．2 表面等离激元纳米曝光技术
1．4．3 基于双层图形技术的纳米加工
1．5 光学曝光加工三维微纳结构
1．5．1 灰度曝光技术
1．5．2 基于欠曝光的三维曝光技术
1．5．3 基于菲涅耳衍射与邻近效应的三维曝光技术
参考文献

第2章 电子束曝光技术
2．1 电子束曝光系统组成
2．1．1 电子枪
2．1．2 透镜系统
2．1．3 电子束偏转系统
2．2 电子束曝光系统的分类
2．2．1 扫描模式
2．2．2 束形成
2．3 电子束抗蚀剂
2．3．1 电子束抗蚀剂的性能指标
2．3．2 电子束抗蚀剂制作图形工艺
2．3．3 常用电子束抗蚀剂及其工艺过程
2．3．4 特殊的显影工艺
2．3．5 多层抗蚀剂工艺
2．3．6 理想抗蚀剂剖面的加工
2．4 电子束与固体的相互作用及邻近效应
2．4．1 电子束与固体的相互作用
2．4．2 邻近效应及校正
2．5 充电效应及解决方法
2．5．1 引入导电膜
2．5．2 变压电子束曝光系统
2．5．3 临界能量电子束曝光
2．6 三维结构的制备
2．6．1 平整衬底上三维结构的加工
2．6．2 三维衬底上图形的制备
2．7 电子束曝光分辨率
2．8 新型的电子束曝光技术
2．8．1 投影电子束曝光
2．8．2 微光柱阵列电子束曝光
2．8．3 反射电子束曝光
参考文献

第3章 聚焦离子束加工技术
3．1 聚焦离子束系统的基本组成
3．2 聚焦离子束的基本功能与原理
3．2．1 离子束成像
3．2．2 离子束刻蚀
3．2．3 离子束辅助沉积
3．2．4 FIB的传统应用
3．3 聚焦离子束的三维纳米加工
3．3．1 FIB刻蚀加工三维结构
3．3．2 FIB沉积加工三维结构
3．3．3 FIB辐照加工三维结构
3．4 聚焦离子束技术的发展
……
第4章 激光加工技术
第5章 纳米压印技术
第6章 刻蚀技术
第7章 薄膜技术
第8章 自组装加工
第9章 微纳加工在电学领域的应用
第10章 微纳加工在光学领域的应用
第11章 微纳加工在磁学领域的应用
第12章 微纳加工在其他领域的应用
索引

前言/序言

　　人们从理论和实验研究中发现，随着材料尺度的减小，由于表面效应、体积效应和量子尺寸效应的影响，材料的物理性能和采用该材料制作的器件特性等都可能表现出与宏观体相材料和相关器件特性显著不同的特点。这些特异的性质具有广阔的实际应用和理论研究前景。材料和器件在纳米尺度的特殊性质主要由几个与量子效应、尺寸效应、激子效应、表面和界面效应等直接相关的特征物理尺度决定，如简并电子系统的费米波长（金属约在1nm以下、半导体在几十纳米左右）、高温超导体的相干尺度（1nm或更小）、磁交换作用耦合长度、电子的平均自由程、电子自旋退相干长度、激子扩散长度（100nm）等。只要结构尺寸接近这些物理量的特征长度，材料的电子结构、输运、磁学、光学和热力学性质均会发生明显的变化。这些行为是纳米材料与器件研究中科学发现的基础。但这些性能对微观结构的敏感性，使得无论在纳米材料科学问题研究还是在纳米器件发展应用中，对材料生长控制和微加工的精确程度都提出了极为苛刻的要求。所以，需要纳米，甚至原子、分子层次的微纳加工技术，以探索材料与器件的新特性。可见，基础科学的研究发展往往需要技术科学提供强有力的支持，要想探索在纳米尺度下物质的变化规律、新的性质和器件功能及可能的应用领域，同样离不开相应的技术手段。微纳加工技术作为当今高技术发展的重要领域之一，是实现功能结构与器件微纳米化的基础。借助微纳加工，人们可以按照需求来设计、制备具有优异性能的纳米材料或纳米结构及器件与装置，发展探测和分析纳米尺度下的物理、化学和生物等现象的方法和仪器，准确地表征纳米材料或纳米结构的物性，探索纳米尺度下物质运动的新规律和新现象，去发现现有知识水平未能理解和预测的现象和过程，发展薪的纳米材料、功能器件直至技术。
　　本书是根据编著者在多年从事微纳加工研究工作经验积累以及人才培养和多次举办“微纳米加工技术讲习班”的基础上，结合国内外微纳加工及其应用的最新进展，撰写而成的。本书着重实用性和对基本概念的介绍，力图做到理论联系实际，突出微纳加工在科学研究中的创造性应用。全书共分12章，第1～8章分类介绍了几种主要的微纳加工技术，包括光学曝光、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、激光加工技术、纳米压印技术、离子束技术、薄膜技术和自组装加工，既简要概述了各种加工方法的科学基础，又从实用出发，介绍了各种技术的主要工艺过程，特别涉及各种技术根据需要最新发展的一些创新方法；第9～12章按几个不同的领域，介绍了微纳加工技术在纳米材料与器件研究中的一些应用实例，包括电学、光学、磁学、生物等领域。这些成果深刻影响了当前纳米科学与技术的发展，希望能对从事相关领域研究的读者有所启发和借鉴。

《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》 这是一本深入探索纳米世界奥秘的学术专著，旨在为读者构建一个全面而系统的纳米科学与技术知识体系。本书聚焦于当前纳米科学研究的核心领域——微纳加工技术，并详细阐述了这些精密的制造手段如何在纳米材料的制备、表征以及在各类纳米器件开发中发挥关键作用。 核心内容概述： 本书由浅入深，从基础理论到前沿应用，逐步带领读者领略纳米科学的魅力。 纳米科学与技术基础： 纳米概念的起源与发展： 回溯纳米科学的萌芽，从理查德·费曼的“底部有的是空间”这一 seminal 设想到量子力学与经典物理学在纳米尺度的交融，勾勒出纳米科学的宏伟蓝图。 纳米尺度的独特性质： 深入剖析物质在纳米尺度下出现的量子尺寸效应、表面和界面效应，以及这些效应如何赋予纳米材料前所未有的物理、化学和生物学特性。探讨这些性质的微观起源，如电子能级简并、表面原子比例增加、表面能高等。 纳米材料的分类与结构： 详细介绍不同类型的纳米材料，包括零维（如量子点、纳米颗粒）、一维（如纳米线、纳米管、纳米带）、二维（如石墨烯、二维过渡金属硫化物）和三维（如多孔纳米材料、纳米复合材料）纳米材料。阐述它们的晶体结构、形态和表面化学特性，并分析不同结构对材料宏观性能的影响。 纳米材料的表征技术： 全面介绍用于纳米材料结构、形貌、成分和物理性质表征的先进技术，包括扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）、原子力显微镜（AFM）、X射线衍射（XRD）、X射线光电子能谱（XPS）、能量色散X射线光谱（EDX）、拉曼光谱、荧光光谱、紫外-可见吸收光谱等。重点讲解每种技术的原理、优势、局限性以及在分析不同纳米材料时应注意的问题。 微纳加工技术： 经典微加工技术： 详述光刻（包括紫外光刻、深紫外光刻、极紫外光刻）、电子束光刻（EBL）、聚焦离子束（FIB）等关键的微纳图形化技术。深入分析其工作原理、分辨率限制、应用范围以及在不同基底材料上的加工特点。 自组装技术： 介绍利用分子间作用力、化学反应或物理化学原理实现的纳米尺度的自组装过程，如胶体自组装、DNA自组装、薄膜自组装等。重点阐述其在制备有序纳米结构阵列、纳米传感器和纳米器件方面的潜力。 增材制造（3D打印）技术在纳米尺度： 探讨新兴的纳米3D打印技术，如立体光刻（SLA）、数字光处理（DLP）、电子束熔融沉积（EBM）等在实现复杂三维纳米结构制造中的应用，以及在材料限制和精度方面的挑战。 其他关键制备技术： 涵盖化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、溶胶-凝胶法、水热/溶剂热法、电纺丝等用于制备各类纳米材料的常用化学和物理方法。深入解析其工艺参数对产物形貌、尺寸和性能的影响。 纳米器件的制造流程： 结合前述的加工技术，详细解析纳米器件的典型制造流程，包括衬底准备、薄膜沉积、图形转移、刻蚀、掺杂、金属化等关键步骤，并重点关注如何在纳米尺度上实现精确的结构控制和功能集成。 纳米材料与器件的研究应用： 纳米电子学与半导体器件： 探讨纳米材料（如石墨烯、碳纳米管、量子点）在下一代晶体管、存储器、传感器和逻辑电路中的应用前景。分析纳米结构如何克服传统半导体器件的性能瓶颈，实现更高的集成密度和更低的功耗。 纳米光子学与光电器件： 介绍纳米材料在光学器件中的应用，如纳米天线、超材料、量子点发光二极管（QLED）、光电探测器、太阳能电池等。解释纳米结构如何调控光的传播、吸收和发射，实现新颖的光学功能。 纳米生物技术与医学应用： 深入研究纳米材料在生物成像、药物递送、基因治疗、疾病诊断、生物传感器等领域的应用。讨论生物相容性、靶向性、可降解性等关键问题，以及纳米技术如何革新医疗保健。 纳米能源技术： 聚焦纳米材料在能源转换与存储中的角色，如锂离子电池、超级电容器、燃料电池、催化剂、热电材料等。分析纳米结构如何提高能量密度、循环寿命和转换效率。 纳米催化与环境科学： 阐述纳米催化剂在化学反应、污染物降解、节能减排等方面的优势。探讨纳米材料在水处理、空气净化、温室气体转化等环境治理中的应用。 其他前沿应用： 提及纳米技术在磁学、力学、传感、显示等新兴领域的探索性应用，展示纳米科学的广阔前景。 本书特色： 本书不仅汇集了纳米科学与技术领域的最新研究成果，更注重理论与实践的结合。书中提供了大量精美的显微图像、器件结构图和实验数据，帮助读者直观理解抽象的科学概念。此外，作者通过逻辑清晰的章节安排和严谨的科学论述，确保内容的准确性和前瞻性，为纳米领域的科研人员、工程师、研究生以及对纳米技术感兴趣的读者提供一本不可多得的参考读物。本书旨在激发读者对纳米世界的探索热情，并为未来创新性纳米材料与器件的研究提供坚实的理论基础和技术指导。

评分☆☆☆☆☆

这本书的语言风格非常专业且富有感染力，让我能够沉浸在纳米科学的世界里。《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》在阐述“纳米电子学”部分时，展现了其前沿性和深度。我一直对未来计算的形态充满好奇，而纳米电子学无疑是其中的关键。书中详细介绍了如何利用纳米材料和微纳加工技术来构建超越传统半导体器件的下一代电子元件。我尤其对“量子计算”的讨论印象深刻，作者解释了如何利用量子比特的叠加和纠缠等特性来实现指数级的计算能力提升，并介绍了利用纳米技术来实现量子比特的制备和操控的多种途径，如超导量子比特、半导体量子点等。书中还探讨了“分子电子学”的概念，即利用单个分子作为电子元件，实现更小、更节能的计算。此外，书中还分析了纳米技术在“忆阻器”等新型存储器件中的应用，以及其在仿生计算、神经网络等领域的潜在价值。这本书让我看到了纳米科学如何引领着计算技术的革命。

评分☆☆☆☆☆

《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》在探讨“纳米催化”时，展现了其跨学科的魅力。我一直对化学和材料科学充满热情，而纳米催化无疑是两者结合的典范。书中详细介绍了纳米材料在催化反应中的独特优势，如巨大的比表面积、丰富的活性位点、以及尺寸相关的催化性能。我尤其对“多相纳米催化剂”的制备和应用印象深刻，作者介绍了如何利用微纳加工技术来制备具有特定形貌和结构的纳米催化剂，从而提高催化效率和选择性。书中还列举了纳米催化在能源转化（如氢气制备、二氧化碳还原）、环境保护（如污染物降解）以及精细化学品合成等领域的广泛应用。此外，书中还探讨了“单原子催化剂”的概念，即利用单个金属原子作为活性中心，实现前所未有的催化活性和原子利用率。这本书让我看到了纳米科学如何为解决能源和环境问题提供创新的解决方案。

评分☆☆☆☆☆

这本书的叙述风格非常吸引我，它不像某些学术专著那样枯燥乏味，而是充满了探索的乐趣。作者似乎是一位经验丰富的研究者，他能够将复杂的科学概念用通俗易懂的语言表达出来，同时又不失科学的严谨性。《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》在讲解“自组装”技术时，就给我留下了深刻的印象。我一直觉得，让微观粒子自己“乖乖”地按照我们设计的模式排列组合，是一件多么神奇的事情。书中生动地描述了分子自组装、胶体自组装等过程，并且详细介绍了这些技术如何在芯片制造、生物传感、纳米药物载体等领域发挥作用。我尤其对“DNA折纸”技术感到惊叹，作者通过图文并茂的方式，展示了如何利用DNA的双螺旋结构，将其折叠成各种复杂的二维和三维纳米结构，这简直就像是在“编织”纳米世界的乐高积木。书中还讨论了如何通过控制溶液的pH值、温度、离子强度等参数来调控自组装过程，以及如何将自组装技术与传统的微纳加工技术相结合，实现更复杂、更高精度的纳米器件制造。读完这部分，我不仅对自组装技术有了全新的认识，也对未来纳米制造的可能性充满了期待。

评分☆☆☆☆☆

《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》在讲解“纳米磁学”部分时，展现了作者深厚的专业知识和丰富的研究经验。我一直对磁性材料及其应用很感兴趣，而纳米磁学的发展更是为这个领域带来了全新的视角。书中详细介绍了纳米磁性材料的独特磁学性能，如尺寸效应、表面效应、量子隧穿效应等，以及这些效应如何被利用来设计和制造高性能的磁性器件。我特别喜欢其中关于“巨磁阻效应”的讨论，作者不仅解释了其物理机制，还列举了其在硬盘驱动器读写磁头中的广泛应用，这让我对纳米技术在信息存储领域的贡献有了更直观的认识。此外，书中还探讨了纳米颗粒在磁性纳米粒子的制备、磁畴结构控制、以及在磁性传感器、磁性分离、磁热疗等方面的应用。书中对于如何利用微纳加工技术来精确控制纳米磁性材料的尺寸、形貌和排列，从而实现对其磁学性能的调控，也进行了详细的介绍。这本书让我看到了纳米磁学在信息技术、医疗健康等多个领域的巨大潜力。

评分☆☆☆☆☆

这本书的结构安排非常合理，层次分明，逻辑清晰，让我能够循序渐进地理解复杂的纳米科学概念。《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》在介绍“纳米光学”部分时，就体现了这一点。作者从基础的光与物质相互作用讲起，逐步深入到纳米尺度下光的特殊行为，如表面等离子体共振、局域场增强等。我一直对光学领域很感兴趣，而纳米光学更是让我着迷。书中详细介绍了如何利用纳米材料和纳米结构来操控光，实现光子的囚禁、引导和增强。例如，在讲解“超材料”时，作者不仅解释了其负折射率等奇特的光学性质，还列举了其在隐身斗篷、超透镜等前沿领域的应用前景。书中还讨论了如何通过微纳加工技术来精确制备这些具有特殊光学功能的纳米结构。此外，对于“纳米光电子器件”如LED、光探测器等，书中也进行了深入的阐述，分析了纳米材料如何提高其发光效率和响应速度。这本书让我看到了纳米科学与光学领域的交叉所产生的巨大能量。

评分☆☆☆☆☆

这本《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》真是让我大开眼界。一直以来，我对微观世界的探索就充满了好奇，尤其是在看到那些精密的纳米器件在各种科幻电影和新闻报道中扮演着越来越重要的角色时，我更是渴望能够深入了解背后的科学原理和技术手段。这本书恰好满足了我这样的需求。它没有像一些科普读物那样只是泛泛而谈，而是真正深入到了纳米科学的核心——微纳加工。从最基础的光刻、电子束刻蚀，到更先进的自组装技术，书中都进行了详尽的介绍。我尤其对“光刻”这一章节印象深刻，虽然我不是专业人士，但作者通过生动的比喻和清晰的图示，让我仿佛能够看到光束在硅片上“雕刻”出微小图案的过程。书中还详细阐述了不同加工方法的优缺点、适用范围以及发展趋势，这对于我理解不同纳米器件的制造难点和技术瓶颈非常有帮助。此外，它还联系了实际应用，比如在半导体制造、生物传感器、甚至纳米药物递送等领域，如何利用这些精密的加工技术来创造出突破性的产品。读完这部分，我才真正体会到，那些我们日常生活中看似不起眼的小器件，背后凝聚了多少智慧和汗水。这不仅仅是科学理论的堆砌，更是工程实践的结晶，让我对现代科技的进步有了更深的敬畏之情。

评分☆☆☆☆☆

这本书给我最大的感受是，它不仅仅是一本介绍纳米科学的教科书，更是一本激发创新思维的催化剂。《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》在探讨“纳米生物技术”时，就充分展现了这一点。我一直对生物医学领域抱有浓厚的兴趣，而纳米技术在这方面的应用无疑是革命性的。书中详细介绍了如何利用微纳加工技术来制备用于疾病诊断和治疗的纳米器件。我尤其对“纳米传感器”在生物医学中的应用印象深刻，作者介绍了如何利用纳米材料的独特表面性质，来高灵敏度地检测体内的生物标志物，从而实现早期疾病的诊断。此外，书中还阐述了纳米颗粒在药物递送系统中的作用，如靶向性递送、缓释等，以及如何通过精确控制纳米载体的尺寸、形状和表面修饰来实现高效的药物输送。更让我感到兴奋的是，书中还探讨了纳米技术在基因治疗、组织工程等领域的应用前景。这本书让我看到，微纳加工不仅仅是制造微小物体，更是为生命科学和医学领域带来了前所未有的机遇。

评分☆☆☆☆☆

我一直认为，技术只有与实际应用相结合，才能真正体现其价值，而《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》在这方面做得尤为出色。书中关于纳米材料在器件研究中的应用的章节，简直是为我量身定做的。我是一名对新能源领域特别感兴趣的爱好者，一直关注着太阳能电池、超级电容器等技术的发展。这本书详细地介绍了如何利用纳米材料的独特性质来提升这些器件的性能。例如，在太阳能电池方面，书中不仅解释了纳米结构的半导体材料如何增加光吸收面积，提高光电转换效率，还深入探讨了量子点、纳米线等新型材料在下一代太阳能电池中的应用潜力。我特别喜欢其中关于“纳米线太阳能电池”的讨论，作者细致地分析了纳米线阵列的构筑方法，以及它们如何有效地捕获和传输光生载流子，其清晰的逻辑和扎实的理论基础让我信服。同样，在超级电容器领域，书中也阐述了纳米多孔材料、碳纳米管等如何极大地增加比表面积，从而提高电容性能。这些内容不仅让我学到了前沿的科学知识，更让我看到了纳米技术如何一步步解决现实世界中的能源挑战。这本书的魅力在于，它能够将抽象的纳米科学概念，转化为具体可行的技术路径，为我们描绘出更加美好的未来。

评分☆☆☆☆☆

作为一名有一定科研背景但非直接从事纳米领域的读者，我发现《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》提供了一个非常宝贵的视角。它没有局限于单一的学科，而是横跨了材料科学、物理学、化学、工程学等多个领域，将微纳加工的精髓与纳米材料的最新研究成果紧密结合。我尤其欣赏书中在讨论纳米材料时，不仅仅停留在介绍其宏观性质，而是深入分析了纳米尺度下材料的独特量子效应和表面效应，以及这些效应如何被利用来设计高性能的纳米器件。例如，在讲解“表面等离子体共振”在纳米光学器件中的应用时，作者不仅解释了其物理机制，还列举了金纳米颗粒、银纳米棒等在表面增强拉曼散射、纳米传感器等方面的具体应用实例。这种从基础原理到实际应用的完整链条，让我对纳米材料的理解更加深入和立体。书中对于不同类型纳米材料的制备方法，如化学合成法、物理气相沉积法等，也进行了详细的介绍，并分析了它们在可控性、成本、规模化生产等方面的优劣。这对于我评估不同纳米材料研究的可行性和发展前景非常有帮助。

评分☆☆☆☆☆

在我看来，《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》的价值远不止于知识的传授，它更像是一份启迪思想的指南。我一直对微电子学和集成电路非常着迷，而这本书恰好连接了纳米科学与我所关注的领域。书中关于“纳米电子器件”的章节，详细探讨了如何利用量子效应和表面效应来设计和制造超越经典极限的电子元件。我特别喜欢其中关于“单电子晶体管”的介绍，作者解释了量子限域效应如何使得电子的行为能够被精确地控制，从而实现单个电子的注入和传输。书中还深入分析了纳米线的导电特性，以及如何将其应用于构建更小、更快的晶体管。此外，对于“存储器”领域，书中也介绍了利用纳米材料如相变材料、磁性纳米颗粒等来实现高密度、非易失性存储的可能性。读完这部分，我才真正理解了摩尔定律为何会逐渐触及物理极限，以及纳米科学和技术如何为电子产业的未来发展提供了新的方向和动力。这本书让我看到了微纳加工在突破传统电子器件性能瓶颈方面的巨大潜力。