矽加工中的錶徵 (美)布倫協爾 等 9787560342801 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2025

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美布倫協爾 等 著

圖書標籤:

• 矽加工
• 半導體材料
• 材料錶徵
• 微電子學
• 晶圓製造
• 薄膜技術
• 器件物理
• 質量控製
• 工藝分析
• 美國

店鋪： 書逸天下圖書專營店

齣版社： 哈爾濱工業大學齣版社

ISBN：9787560342801

商品編碼：29379404219

包裝：平裝

齣版時間：2014-01-01

基本信息

書名：矽加工中的錶徵

定價：88.00元

作者：(美)布倫協爾 等

齣版社：哈爾濱工業大學齣版社

齣版日期：2014-01-01

ISBN：9787560342801

字數：

頁碼：

版次：1

裝幀：平裝

開本：16開

商品重量：0.4kg

編輯推薦

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內容提要

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《矽加工中的錶徵》是材料錶徵原版係列叢書之一。全書共分六章，內容包括：材料錶徵技術在矽外延生長中的應用；多晶矽導體；矽化物；鋁和銅基導綫；級鎢基導體；阻隔性薄膜。本書適閤作為相關領域的教學、研究、技術人員以及研究生和高年級本科生的參考書。

目錄

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作者介紹

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文摘

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序言

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探索未知，塑造未來：材料科學的微觀視角 這是一部深入探索物質世界奧秘的著作，它引領讀者踏上一段發掘材料內在特性，並進而實現對其進行精準調控的奇妙旅程。本書聚焦於材料科學與工程領域的核心議題，通過一係列前沿的研究方法和分析手段，揭示瞭材料的微觀結構、化學組成、錶麵性質以及宏觀性能之間錯綜復雜的關係。其核心在於，理解並掌握材料的“錶徵”——即如何準確、全麵地“認識”材料——是實現其應用潛力、推動技術創新的基石。 本書並非僅僅羅列枯燥的實驗數據或技術手冊，而是以一種引人入勝的方式，展現瞭科學傢們如何運用智慧和創新，挑戰物質的極限，創造齣具有前所未有功能的材料。它將帶領我們潛入原子、分子甚至電子的微觀尺度，去觀察材料是如何在最基本的層麵運作的。從晶體結構的有序排列，到缺陷的隨機分布；從元素的化學鍵閤，到錶麵吸附與反應；從材料的光學、電學、磁學特性，到其力學性能與熱力學行為，本書都進行瞭細緻入微的闡述。 微觀視界的洞察： 本書的核心價值在於其對材料微觀世界深邃的洞察。它詳細介紹瞭各種先進的錶徵技術，這些技術猶如科學傢的“超級顯微鏡”，能夠穿透物質的錶象，直抵其內在本質。例如，電子顯微鏡技術，包括透射電子顯微鏡（TEM）和掃描電子顯微鏡（SEM），它們以極高的分辨率展現瞭材料的形貌、晶粒結構以及微觀缺陷。通過這些技術，我們可以清晰地觀察到納米顆粒的尺寸和形狀，分析晶界的分布，甚至辨認齣原子排列的規律。 另一類重要的錶徵技術是光譜學方法，如X射綫衍射（XRD）、X射綫光電子能譜（XPS）、俄歇電子能譜（AES）以及拉曼光譜等。XRD能夠精確測定材料的晶體結構和相組成，揭示原子在空間中的排列方式。XPS和AES則能夠提供材料錶麵的元素組成和化學態信息，對於理解材料錶麵的反應活性和腐蝕行為至關重要。拉曼光譜則能提供分子振動的信息，從而幫助識彆化閤物、分析材料的鍵閤狀態，甚至探測材料的應力狀態。 本書還會探討一些非常規但同樣強大的錶徵手段。例如，原子力顯微鏡（AFM）能夠以亞納米的精度描繪材料錶麵形貌，並能測量錶麵力學性質，如硬度、彈性模量等。中子散射技術則在研究材料的動態行為和磁性結構方麵具有獨特優勢。此外，各種原位錶徵技術（in-situ characterization）的引入，使得我們能夠在材料發生變化的過程中實時監測其結構和性能的演變，這對於理解材料的反應機理、相變過程以及失效機製具有不可估量的價值。 從錶徵到創新的橋梁： 本書並非止步於對錶徵技術的介紹，而是著重強調瞭錶徵結果在材料設計與應用中的指導意義。理解材料的微觀特性，是優化現有材料性能、設計新型功能材料的根本。通過對缺陷的精確控製，可以顯著改變材料的電學和光學性能，例如在半導體材料中引入摻雜，或是在光學材料中設計特定的缺陷結構。通過對錶麵化學狀態的調控，可以提升催化劑的活性，增強材料的耐腐蝕性，或者改善其與生物體的相容性。 本書將深入探討如何利用這些錶徵手段來解決實際工程問題。例如，在電子器件領域，對半導體材料中的晶體缺陷、雜質分布以及界麵特性的精確錶徵，是確保器件性能穩定性和可靠性的關鍵。在能源領域，對電池材料的電極結構、電解質界麵以及充放電過程中的結構演變進行錶徵，對於開發更高能量密度、更長壽命的儲能設備至關重要。在生物醫學領域，對生物材料的錶麵性質、降解行為以及與體內環境的相互作用進行錶徵，是設計安全有效的植入物和藥物遞送係統的基礎。 前沿技術的展望： 本書還會適時地介紹一些正在興起或已嶄露頭角的前沿錶徵技術和研究方嚮。例如，聚焦離子束（FIB）與電子顯微鏡聯用技術，能夠實現對材料進行精確的微納加工和高分辨成像，為復雜材料體係的三維結構解析提供瞭可能。人工智能（AI）與材料錶徵的結閤，正在加速數據分析的速度和準確性，並有望預測材料的性能。高通量實驗技術與數據科學的融閤，正在推動材料研發進入一個全新的時代，實現快速的材料篩選和性能優化。 本書的價值所在： 對於材料科學傢、工程師、研究生以及對材料科學充滿好奇的讀者而言，本書將是一部不可或缺的參考。它不僅提供瞭關於材料錶徵技術的全麵指南，更重要的是，它闡釋瞭如何將這些技術轉化為解決實際問題的能力，如何通過深入理解材料的微觀世界來驅動創新。本書緻力於培養讀者“以微觀視角看問題”的能力，鼓勵他們運用科學的方法去探索材料的無限可能，從而在未來的科技發展中扮演關鍵角色。 總而言之，本書是一扇通往材料世界深處的大門，它用嚴謹的科學語言和豐富的實例，揭示瞭錶徵技術在理解、設計和創造新材料中的核心作用。它不僅僅是一部關於技術的著作，更是一部關於科學探索精神和創新力量的贊歌，激勵著讀者去發現、去理解、去塑造物質的未來。

評分☆☆☆☆☆

說實話，在選擇這本書之前，我猶豫瞭很久。畢竟，“矽加工”和“錶徵”這兩個詞聽起來就充滿瞭技術門檻，我擔心自己難以消化。但是，當我在書店裏翻開它，看到那清晰的排版和邏輯嚴謹的章節劃分時，我的疑慮消散瞭不少。這本書仿佛在邀請我進入一個精密的世界，讓我得以窺探那些塑造現代科技基石的微觀奧秘。我不是一名專業的技術人員，但我對事物背後的原理總是充滿好奇。我希望這本書能夠用一種循序漸進的方式，帶我瞭解矽加工過程中，我們是如何“認識”和“評價”材料的。比如，當我們在談論矽晶圓的純度時，究竟是通過什麼手段來衡量的？當我們在描述一層薄膜的質量時，有哪些關鍵的指標需要關注？這本書能否為我解答這些疑問，並描繪齣整個錶徵體係的圖景？我對書中可能包含的各種先進錶徵設備和技術，充滿瞭期待。

評分☆☆☆☆☆

這本書的封麵設計就很有意思，簡潔的深藍色背景，搭配銀白色的書名“矽加工中的錶徵”，給人一種專業、嚴謹的感覺。拿在手裏，紙張的觸感也很不錯，厚實而略帶韌性，翻閱起來不會輕易損壞。我一直對半導體製造的底層技術很感興趣，特彆是那些看不見的“加工”過程，是如何一步步將原材料變成我們日常使用的芯片的。這本書的標題直接擊中瞭我，讓我對接下來的內容充滿瞭好奇。雖然我不是直接從事這個領域的研究人員，但作為一個對科技發展有著濃厚興趣的愛好者，我希望這本書能夠用一種相對易懂的方式，為我揭示矽加工中那些至關重要的“錶徵”技術。我尤其期待能瞭解到，在如此精密的加工過程中，有哪些方法能夠準確地“看”到材料的內在變化，以及這些“看”到的信息是如何指導生産的。畢竟，任何工藝的優化和缺陷的控製，都離不開準確而可靠的錶徵。

評分☆☆☆☆☆

這是一本讓我感到非常“有料”的書。拿到它，我立刻被其沉甸甸的學術分量所吸引，仿佛裏麵蘊含瞭無數的知識寶藏。作為一名對材料科學和微納加工有著強烈求知欲的學習者，我一直在尋找一本能夠係統性地介紹矽加工中錶徵技術的書籍。這本書的標題恰好切中瞭我的需求。我期待它能夠深入淺齣地講解各種關鍵的錶徵技術，例如，如何利用X射綫衍射（XRD）來分析矽晶體的結晶度和取嚮，如何通過拉曼光譜（Raman Spectroscopy）來評估矽材料的應力和摻雜水平，以及如何運用橢偏儀（Ellipsometer）來精確測量介質層的厚度和摺射率。我希望書中不僅僅是羅列各種技術，更能結閤實際的工藝流程，說明在不同的加工階段，需要關注哪些關鍵的錶徵參數，以及如何通過這些參數來評估和控製工藝的質量。這本書能否成為我理解矽加工精髓的一把鑰匙，我拭目以待。

評分☆☆☆☆☆

對於我來說，這本《矽加工中的錶徵》就像是一本“通關秘籍”。我一直從事與半導體器件設計相關的工作，雖然我的工作主要集中在邏輯電路和係統層麵，但深知底層材料和工藝的質量直接影響著設計的性能和可靠性。在遇到一些難以解釋的器件行為或者性能瓶頸時，我們常常需要追溯到材料的根源，而這時候，就需要依賴各種“錶徵”技術來獲取真相。這本書的齣現，無疑為我提供瞭一個係統學習和深入理解這些底層技術的絕佳機會。我希望它能詳細闡述各種錶徵方法，比如SEM（掃描電子顯微鏡）和TEM（透射電子顯微鏡）在觀察矽晶體結構和錶麵形貌方麵的作用，XPS（X射綫光電子能譜）和EDX（能量色散X射綫光譜）在分析材料化學成分和元素分布上的優勢，以及AFM（原子力顯微鏡）在測量錶麵粗糙度和納米結構尺寸上的獨到之處。更重要的是，我希望能看到如何利用這些錶徵結果來指導工藝優化，提升器件性能。

評分☆☆☆☆☆

剛拿到這本《矽加工中的錶徵》，就被它厚重的份量所吸引。翻開第一頁，那密密麻麻的英文標題和各種專業術語，瞬間讓我感受到瞭它的學術深度。作為一名在相關領域摸爬滾打多年的工程師，我深知“錶徵”在矽加工中的核心地位。很多時候，問題的根源就隱藏在材料的微觀結構和化學成分中，而能否有效地“錶徵”齣這些信息，往往決定瞭我們能否找到解決方案，甚至決定瞭産品能否成功量産。這本書的作者陣容也很有分量，都是該領域的知名學者，這讓我對接下來的內容充滿瞭信心。我希望這本書能夠係統地梳理矽加工中涉及的各種錶徵手段，從光學顯微鏡到電子顯微鏡，從光譜分析到衍射技術，能夠清晰地介紹它們的原理、應用範圍以及各自的優缺點。更重要的是，我期待它能結閤實際的矽加工案例，講解如何選擇閤適的錶徵方法來解決具體的工藝問題，例如晶體缺陷的識彆、薄膜厚度的測量、雜質含量的分析等等。