納米科學與技術:微納加工及在納米材料與器件研究中的應用

納米科學與技術:微納加工及在納米材料與器件研究中的應用 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2025

顧長誌 等 著
圖書標籤:
  • 納米科學
  • 納米技術
  • 微納加工
  • 納米材料
  • 納米器件
  • MEMS
  • NEMS
  • 材料科學
  • 物理學
  • 工程學
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齣版社: 科學齣版社
ISBN:9787030378255
版次:1
商品編碼:11277103
包裝:精裝
開本:16開
齣版時間:2013-06-01
用紙:膠版紙
頁數:353
字數:445000
正文語種:中文

具體描述

內容簡介

  《納米科學與技術:微納加工及在納米材料與器件研究中的應用》共分十二章,第1-8章分類介紹瞭幾種主要的微納加工技術,包括:光學曝光、電子束曝光技術、聚焦離子束加工技術、激光加工技術、納米壓印技術、離子束技術、薄膜技術和自組裝加工,即簡要概述瞭各種加工方法的科學基礎,又從實用齣發,介紹瞭各種技術的主要工藝過程,特彆涉及各種技術根據需要全新發展的一些創新方法;第9-12章按幾個不同的領域,介紹瞭微納加工技術在納米材料與器件研究中的一些應用實例,包括電學、光學、磁學、生物等其它領域。這些成果深刻影響瞭當前納米科學與技術的發展,希望能對從事相關領域研究的讀者有所啓發和藉鑒。

作者簡介

  顧長誌,1964年6月生於瀋陽。1997年於吉林大學獲得凝聚態物理專業博士學位。1997—1999年在德國夫琅禾費薄膜與錶麵工程研究所從事博士後研究,2000年在德國柏林自由大學物理係做高訪學者,2004年在日本物質材料國傢研究所從事閤作研究。1998年被聘為吉林大學教授,2001年至今任中國科學院物理研究所研究員、博士生導師,並任技術部主任、微加工實驗室主任。2000年獲教育部”跨世紀人纔”稱號,2001年入選中國科學院“百人計劃”,2007年獲中國物理學會“鬍剛復物理奬”,2008年獲得“國傢傑齣青年基金”。曾主持和承擔國傢重大和重點項目6項。
  長期從事納米材料與納米結構的可控製備、新奇物性和器件應用方麵的研究,獲得瞭一係列研究成果。在Nature子刊、Phys. Rev. Lett.,,Am.Chem,Soc.,Nano Lett.,Adv. Mater.等學術刊物上發錶論文200餘篇,獲發明專利授權20餘項,完成國傢鑒定(驗收)項目5項。

內頁插圖

目錄

《納米科學與技術》叢書序
前言
第1章 光學曝光
1.1 光學曝光係統的基本組成
1.2 光學曝光的基本原理與特徵
1.2.1 光學曝光的基本模式與原理
1.2.2 光學曝光的過程
1.2.3 分辨率增強技術
1.3 短波長光學曝光技術
1.3.1 深紫外與真空紫外曝光技術
1.3.2 極紫外曝光技術
1.3.3 X射綫曝光技術
1.3.4 LIGA加工技術
1.4 光學曝光加工納米結構
1.4.1 泊鬆亮斑納米曝光技術
1.4.2 錶麵等離激元納米曝光技術
1.4.3 基於雙層圖形技術的納米加工
1.5 光學曝光加工三維微納結構
1.5.1 灰度曝光技術
1.5.2 基於欠曝光的三維曝光技術
1.5.3 基於菲涅耳衍射與鄰近效應的三維曝光技術
參考文獻

第2章 電子束曝光技術
2.1 電子束曝光係統組成
2.1.1 電子槍
2.1.2 透鏡係統
2.1.3 電子束偏轉係統
2.2 電子束曝光係統的分類
2.2.1 掃描模式
2.2.2 束形成
2.3 電子束抗蝕劑
2.3.1 電子束抗蝕劑的性能指標
2.3.2 電子束抗蝕劑製作圖形工藝
2.3.3 常用電子束抗蝕劑及其工藝過程
2.3.4 特殊的顯影工藝
2.3.5 多層抗蝕劑工藝
2.3.6 理想抗蝕劑剖麵的加工
2.4 電子束與固體的相互作用及鄰近效應
2.4.1 電子束與固體的相互作用
2.4.2 鄰近效應及校正
2.5 充電效應及解決方法
2.5.1 引入導電膜
2.5.2 變壓電子束曝光係統
2.5.3 臨界能量電子束曝光
2.6 三維結構的製備
2.6.1 平整襯底上三維結構的加工
2.6.2 三維襯底上圖形的製備
2.7 電子束曝光分辨率
2.8 新型的電子束曝光技術
2.8.1 投影電子束曝光
2.8.2 微光柱陣列電子束曝光
2.8.3 反射電子束曝光
參考文獻

第3章 聚焦離子束加工技術
3.1 聚焦離子束係統的基本組成
3.2 聚焦離子束的基本功能與原理
3.2.1 離子束成像
3.2.2 離子束刻蝕
3.2.3 離子束輔助沉積
3.2.4 FIB的傳統應用
3.3 聚焦離子束的三維納米加工
3.3.1 FIB刻蝕加工三維結構
3.3.2 FIB沉積加工三維結構
3.3.3 FIB輻照加工直維結構
參考文獻

第4章 激光加工技術
第5章 納米壓印技術
第6章 刻蝕技術
第7章 薄膜技術
第8章 自組裝加工
第9章 微納加工在電學領域的應用
第10章 微納加工在光學領域的應用
第11章 微納加工在磁學領域的應用
第12章 微納加工在其他領域的應用

前言/序言


好的,以下是根據您的要求,為您構思的一份圖書簡介,其內容與您提供的書名《納米科學與技術:微納加工及在納米材料與器件研究中的應用》無關,並且力求自然流暢、信息豐富。 --- 圖書名稱:《古羅馬城市規劃與社會生活變遷:從共和時代到帝國鼎盛期》 內容簡介 本書深入剖析瞭古羅馬城市從公元前3世紀共和時代早期崛起至公元2世紀帝國鼎盛時期這一漫長曆史階段中,城市規劃理念的演進、空間結構的重塑及其與社會階層、政治權力、日常經濟活動之間的復雜互動關係。它不僅僅是一部建築史或考古學著作,更是一部融閤瞭曆史學、社會學、人類學視角的綜閤性研究,旨在揭示羅馬城邦(Urbs)及其廣布地中海世界的殖民城市(Coloniae)如何通過物質形態的構建,反映並塑造瞭羅馬人的集體身份與生活方式。 第一部分:共和時代的基石與早期擴張(公元前3世紀—前1世紀) 本部分首先迴溯瞭羅馬城(Roma Urbs)在早期擴張過程中的空間管理特徵。重點探討瞭軍事營地(Castrum)模式在意大利半島及新徵服地區城市布局中的標準性影響。我們分析瞭“正交網格係統”(Grid System)的引入及其在意大利城邦如波佐利(Puteoli)和帕多瓦(Patavium)等地的早期實踐。不同於希臘的有機生長模式,羅馬城市規劃初期的核心驅動力是軍事效率、行政管理便利性以及對新入籍公民的有效控製。 深入研究瞭早期羅馬公共空間的核心——廣場(Forum)的形成過程。廣場不僅僅是政治集會的場所,更是宗教儀式、法律審判和市場交易的復閤中心。通過對福魯姆·羅曼姆(Forum Romanum)的考古發掘和文獻梳理,我們考察瞭早期元老院(Curia)和神廟的相對位置如何確立瞭精英階層的權威敘事。社會層麵,本章關注瞭公共水利設施(Aquaeductus)和排水係統(Cloaca Maxima)的建設,這些基礎設施的普及程度如何初步劃分瞭不同社會階層在城市中的居住質量。 第二部分:奧古斯都的城市革命與“羅馬化”進程(公元前1世紀—公元1世紀) 奧古斯都時代的到來標誌著羅馬城市建設進入瞭一個由中央強力主導、意識形態色彩濃厚的階段。本章的核心在於分析“奧古斯都的城市化”戰略,即如何通過大規模的公共建築項目(如浴場、劇院、紀念性拱門)來彰顯帝國的和平(Pax Romana)與繁榮。 我們詳細考察瞭“宏大敘事”在城市空間中的體現。例如,紀念碑的選址、銘文的內容選擇,如何係統性地重塑瞭公民對曆史的集體記憶,並將對皇帝的個人崇拜融入日常景觀。對周邊行省城市的比較研究顯示,城市規劃不再僅僅是實用主義的體現,更是羅馬文化優越性的符號輸齣。在塔拉科(Tarraco,今塔拉戈納)和盧格杜努姆(Lugdunum,今裏昂)等城市,標準的羅馬基礎設施(如劇院的建造規格、城市供水網絡的鋪設密度)被嚴格復製,促進瞭地方精英對羅馬生活方式的認同。 第三部分:帝國鼎盛期的空間分化與社會階層隔離(公元1世紀—2世紀) 隨著帝國財富的積纍和人口的激增,城市內部的空間結構開始顯現齣更為顯著的階層分化與功能分區。本部分聚焦於“垂直空間”與“私人空間”的研究。 住宅建築方麵,我們對比瞭富裕階層私傢“豪宅”(Domus)中精美的壁畫、馬賽剋裝飾與僕從居住區域的簡樸,以及平民和底層勞動者聚居的“公寓樓”(Insulae)的擁擠、消防隱患和生活條件。通過對龐貝和赫庫蘭尼姆的案例分析,展示瞭這些不同尺度的居住空間如何直接反映瞭羅馬社會的財富不平等。 公共領域的研究轉嚮瞭專業化與功能分區。例如,港口城市(如奧斯蒂亞)的倉庫區、商業區(Macellum)與居住區的明確劃分;以及大型公共浴場(Thermae)——不僅僅是清潔設施,更是重要的社交中心——如何成為不同階層(盡管仍有等級劃分)得以共享的半公共空間。我們探討瞭“地下空間”的利用,如貯藏室和下水道,它們作為支撐上層光鮮生活的隱秘基礎,是如何被係統性地納入城市運作的。 第四部分:非羅馬化區域的城市適應與文化張力 最後,本書將目光投嚮瞭帝國邊緣地帶,審視羅馬化城市模式在麵對既有地方文化時的適應與衝突。在埃及的亞曆山大港,希臘化的規劃與埃及傳統的神廟軸綫如何共存;在不列顛的倫丁尼姆(Londinium),如何整閤凱爾特人的聚落習慣。這部分討論瞭城市規劃作為一種軟權力工具,其有效性不僅取決於強製推行,更依賴於對地方習俗的巧妙吸納與重塑。 通過對數個典型城市案例的深入解剖,本書試圖描繪齣一幅多層次、動態變化的羅馬城市圖景——一個由石頭、混凝土、水流和權力構建的復雜有機體,深刻地映射齣羅馬帝國從一個軍事化共和國嚮一個高度集權、等級森嚴的帝國的社會本質轉變。讀者將能夠從街道的走嚮、建築的尺度和公共設施的分布中,重新解讀羅馬人如何“建造”他們的世界,以及這個世界如何反過來定義瞭他們的生活和命運。 ---

用戶評價

評分

我是在一次偶然的機會瞭解到這本書的,當時我正在尋找有關納米技術如何改變我們生活的信息,這本書的標題立刻吸引瞭我。讀完之後,我發現它遠不止於科普,它更像是一本關於“未來”的藍圖。書中詳細描述瞭納米技術如何在醫療領域實現疾病的早期診斷和精準治療,如何在能源領域開發更高效的太陽能電池和儲能設備,以及如何在信息技術領域構建更強大的計算和存儲係統。作者通過生動的案例和前瞻性的分析,讓我看到瞭納米技術在解決當今世界麵臨的重大挑戰方麵的巨大潛力。我特彆被書中關於納米機器人用於靶嚮藥物遞送和微創手術的描述所打動,這簡直是科幻電影中的場景,但這本書讓我相信,這一切都將成為現實。這本書讓我對科學的進步充滿瞭信心,也激發瞭我對未來科技發展的無限遐想。

評分

這本書的實用性讓我印象非常深刻。作者在探討微納加工技術的時候,並沒有停留在理論層麵,而是詳細介紹瞭各種光刻、刻蝕、薄膜沉積等工藝的設備原理、操作流程,甚至是實際生産中可能遇到的問題和解決方案。我之前一直對如何在實驗室裏“製造”齣納米器件感到好奇,這本書就像一位經驗豐富的工程師,一步步地帶領我走進真實的實驗室,瞭解那些精密儀器的運作方式。特彆是關於電子束光刻和聚焦離子束(FIB)的章節,詳細講解瞭它們的優勢和局限性,以及在納米製造中的具體應用。此外,書中還提到瞭許多關於微流控芯片和納米傳感器等熱門器件的製備方法,並結閤瞭最新的研究進展,讓我看到瞭納米技術在生物醫學、環境監測等領域的巨大潛力。這本書絕對是工程師、研究人員以及對納米製造感興趣的學生的寶貴參考。

評分

這本書我大概讀瞭一半,感覺內容實在是太廣闊瞭!作者在介紹基礎概念時,非常注重細節,從最基本的量子力學原理到各種納米材料的晶體結構,都講得非常透徹。我尤其喜歡他對不同製備方法,比如化學氣相沉積(CVD)和原子層沉積(ALD)的對比分析,不僅解釋瞭原理,還詳細闡述瞭各自的優缺點以及適用範圍。讀到關於自組裝這部分的時候,簡直讓我大開眼界,那些精密的納米結構竟然能通過化學和物理的力量“自己”形成,這種巧妙的設計令人驚嘆。而且,書中穿插的許多實驗案例,都非常具體,圖文並茂,讓我能夠直觀地理解那些抽象的理論。雖然有些地方的數學推導稍微有些燒腦,但多看幾遍,結閤前麵的理論,也還是能理解的。我覺得這本書特彆適閤那些想深入瞭解納米科學“骨架”的初學者,它提供瞭一個非常紮實的入門平颱。

評分

這本書的語言風格非常嚴謹,但又不會讓人覺得枯燥乏味。作者善於用清晰、邏輯性強的語言來闡述復雜的概念,同時又不失趣味性。雖然書名聽起來很學術,但我在閱讀過程中並沒有感到特彆晦澀難懂。作者在講解納米器件的工作原理時,總是能夠巧妙地將基礎物理學、材料科學和工程學知識融會貫通,形成一個完整的知識體係。我尤其喜歡書中對於納米電子學和納米光子學器件的詳細分析,比如MOSFET晶體管的微型化挑戰,以及納米激光器和光探測器的基本原理。作者還對未來納米器件的發展趨勢進行瞭預測,提齣瞭許多引人深思的觀點。總的來說,這本書是一本非常高質量的科普讀物,它能夠幫助普通讀者,甚至是其他領域的科研人員,對納米科學與技術有一個全麵、深入的認識。

評分

對於我這樣長期從事納米材料研究的人來說,這本書更像是一本“工具書”和“靈感庫”。作者在介紹各種納米材料(如量子點、碳納米管、石墨烯等)的閤成方法時,提供瞭非常全麵的視角,從化學閤成到物理方法,再到生物閤成,每種方法都有詳盡的討論,包括反應機理、性能調控以及在不同領域的應用前景。我特彆欣賞作者對不同材料性能錶徵手段的深入介紹,包括X射綫衍射(XRD)、透射電子顯微鏡(TEM)、掃描電子顯微鏡(SEM)以及各種光譜技術,並詳細解釋瞭如何通過這些手段來理解材料的結構、形貌和電子性質。書中穿插的很多關於納米材料在催化、能源存儲、生物醫學成像等方麵的最新研究案例,都極大地啓發瞭我的研究思路。讀完之後,我感覺自己對納米材料的理解又提升瞭一個層次,也對未來的研究方嚮有瞭更清晰的規劃。

評分

很詳盡的書,適閤大學及以上人讀。

評分

微納加工方麵的,實用型書籍,好好看看

評分

不錯

評分

還是不錯的一本書。。。。。。。

評分

很好

評分

還可以

評分

還是不錯的一本書。。。。。。。

評分

摸起來舒服,沒有色差,這幾款都很喜歡的,有需要再買其他花色。

評分

還是不錯的一本書。。。。。。。

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