正版MEMS材料與工藝手冊格迪斯林斌東南大學齣版社9787564140533 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2025

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格迪斯，林斌 著，黃慶安 譯

圖書標籤:

• MEMS
• 材料
• 工藝
• 微機電係統
• 傳感器
• 東南大學齣版社
• 格迪斯林斌
• 9787564140533
• 集成電路
• 電子工程

店鋪： 一碧萬頃圖書專營店

齣版社： 東南大學齣版社

ISBN：9787564140533

商品編碼：29264150292

頁數：966

圖書基本信息
書名：	MEMS材料與工藝手冊
叢書名：	微納係統係列譯叢
作者/主編：	格迪斯，林斌，黃慶安
齣版社：	東南大學齣版社
ISBN號：	9787564140533
齣版年份：	2014年3月1日

版次：	第1 版
總頁數：	966頁
開本：	16
圖書定價：	198元
實際重量：	1280g
新舊程度：	正版全新

編輯推薦

《MEMS材料與工藝手冊》是大型專業工具書，以查閱為主，適閤於微電子技術專業、半導體技術專業、傳感器技術專業、微機電係統專業、儀器儀錶專業、物聯網技術專業等領域的高年級本科生、研究生及工程科研技術人員閱讀和參考。

作者簡介

作者：（美國）利薩·格迪斯（Reza Ghodssi） （美國）林斌彥（Pinyen Lin） 譯者：黃慶安

1MEMS設計流程 

2半導體和介質材料的添加工藝 
3金屬材料的添加工藝 
4聚閤物材料的添加工藝 
5壓電材料的添加工藝：壓電MEMS 
6形狀記憶閤金材料與工藝 
7微機械加工中的乾法刻蝕 
8MEMS濕法腐蝕工藝和過程 
9MEMS光刻和微加工技術 
10MEMS中的摻雜工藝 
11圓片鍵閤 
12MEMS封裝材料 
13錶麵處理及平坦化 
14MEMS工藝集成

微機電係統（MEMS）技術是一個快速發展的前沿技術領域, 使用的材料種類多、工藝方法復雜, 需要係統地歸納、分析與整理, 以便於讀者查閱。本手冊是大型專業工具書, 以查閱為主。本書內容包括MEMS材料, MEMS加工工藝和製造工藝, MEMS工藝集成方法以及工業屆已經采用的工藝製造流程案例。

微機電係統（MEMS）：驅動未來創新的核心技術 微機電係統（MEMS），作為微電子技術與機械工程技術的完美融閤，已經成為21世紀最具顛覆性的技術之一。它將微小的傳感器、執行器、微處理器以及其他機械組件集成在矽或其他半導體材料上，賦予瞭傳統産品智能化的能力，正在以前所未有的速度滲透到我們生活的方方麵麵，從日常消費電子到尖端工業製造，從醫療健康到航空航天，MEMS技術的身影無處不在，深刻地改變著世界的運作方式。 MEMS技術的蓬勃發展及其重要性 MEMS技術的興起，源於人類對微型化、智能化、集成化和低功耗設備日益增長的需求。想象一下，一個能夠感知您心跳的微型植入式醫療設備，一個能夠精準控製汽車燃油噴射的微型傳感器，一個能夠實時監測空氣質量的智能傢居係統，這些都離不開MEMS技術的支撐。MEMS器件的尺寸從微米級到毫米級不等，但它們所承載的功能卻日益強大。它們的齣現，不僅 miniaturized 瞭現有産品，更重要的是，它開闢瞭全新的應用領域，催生瞭無數創新産品和服務。 MEMS技術的蓬勃發展，得益於半導體製造工藝的不斷進步，以及對材料科學、精密機械設計、微電子學、控製理論等多學科交叉融閤的深入探索。從最初的壓力傳感器、加速度計，到如今集成瞭計算、通信和傳感功能的復雜微係統，MEMS技術的復雜度與性能都在經曆著指數級的提升。這種技術的迭代與演進，預示著一個更加智能、互聯、高效的未來。 MEMS技術在各個領域的廣泛應用 MEMS技術的應用範圍之廣，幾乎涵蓋瞭現代社會的各個角落，展現瞭其強大的通用性和巨大的市場潛力。 消費電子産品： 這是MEMS技術最普遍的應用領域。智能手機中的加速度計和陀螺儀，讓您的手機能夠感知姿態變化，實現屏幕鏇轉、遊戲控製等功能；麥剋風和揚聲器，采用瞭MEMS技術，使得設備更加小巧輕便；指紋識彆傳感器，也常常采用MEMS技術實現高精度和快速響應。此外，在平闆電腦、智能手錶、無人機、VR/AR設備等産品中，MEMS傳感器扮演著至關重要的角色，提升瞭用戶體驗和産品功能。 汽車工業： 汽車是MEMS技術的另一個重要應用陣地。車載的各種傳感器，例如胎壓監測係統（TPMS）中的壓力傳感器，可以實時監測輪胎氣壓，提高行車安全；安全氣囊係統中的加速度計，能夠感知碰撞並觸發氣囊；電子穩定控製係統（ESC）中的陀螺儀和加速度計，幫助車輛在復雜路況下保持穩定。此外，發動機管理、排放控製、導航係統等許多方麵，都離不開MEMS傳感器提供精確的數據。 醫療健康： MEMS技術正在深刻地改變醫療保健領域。微型化的醫療診斷設備，例如用於血糖監測的微型傳感器，可以實現無創或微創的檢測，大大減輕患者的痛苦。植入式醫療設備，如起搏器、藥物輸送泵等，其核心組件往往是MEMS器件，它們體積小巧，功耗低，能夠精確地執行預設功能。微流控芯片（Microfluidics）作為MEMS技術的一個重要分支，正在推動著體外診斷、藥物篩選和基因測序等領域的快速發展。 工業自動化與機器人： 在工業自動化領域，MEMS傳感器被廣泛應用於各種檢測和控製係統中，例如用於監測機器人手臂的運動、檢測生産綫上的産品缺陷、測量流體流量和壓力等，極大地提高瞭生産效率和産品質量。在機器人領域，MEMS傳感器賦予瞭機器人感知環境、理解指令以及執行復雜任務的能力。 航空航天與國防： 嚴苛的應用環境對MEMS器件的可靠性和性能提齣瞭極高的要求。在航空航天領域，MEMS傳感器用於導航、姿態控製、飛行狀態監測等關鍵係統。在國防領域，MEMS技術則應用於無人偵察機、精確製導武器、戰場監測係統等。 MEMS材料與工藝：技術的基石 MEMS技術的進步，離不開對材料科學的深入理解和對精密製造工藝的不斷創新。MEMS器件的性能、可靠性以及成本，很大程度上取決於所使用的材料和製造方法。 材料選擇： 矽是MEMS最常用的基材，因為它具有優異的機械性能、電學性能以及成熟的加工工藝。除此之外，聚閤物、陶瓷、金屬以及各種復閤材料，也根據不同的應用需求被廣泛應用於MEMS器件的製造。對這些材料的理解，包括它們的機械強度、熱學性質、電學特性、化學穩定性以及與其它材料的兼容性，是設計和製造高性能MEMS器件的關鍵。 製造工藝： MEMS的製造工藝涵蓋瞭半導體領域的多種技術，並針對微型化結構進行瞭優化。 光刻（Photolithography）： 這是將電路或結構圖案轉移到基材上的關鍵步驟，類似於傳統半導體製造中的光刻技術。 刻蝕（Etching）： 通過乾法刻蝕（如反應離子刻蝕 RIE）或濕法刻蝕（使用化學溶液），選擇性地去除材料，形成微觀的三維結構。 薄膜沉積（Thin Film Deposition）： 通過化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）等方法，在基材上生長各種功能性薄膜，如絕緣層、導電層、壓阻材料等。 微機械加工（Micromachining）： 這是MEMS製造的核心工藝，包括體矽刻蝕（Bulk Micromachining）和錶麵矽刻蝕（Surface Micromachining）等技術，用於製造微型的機械結構。 封裝（Packaging）： MEMS器件的封裝至關重要，它不僅需要保護微型器件免受環境影響，還需要實現電氣連接和機械接口。MEMS封裝技術更加復雜，需要考慮集成度、密封性、應力隔離等問題。 MEMS技術的未來展望 MEMS技術正處於持續快速發展的軌道上，未來的發展方嚮充滿無限可能： 多功能集成與係統級封裝（SiP）： 未來的MEMS將不再是單一功能的器件，而是能夠集成多種傳感、處理、通信功能的微係統，並采用更先進的係統級封裝技術，實現更小的尺寸、更低的功耗和更強大的性能。 智能化與自學習能力： 結閤人工智能（AI）和機器學習（ML），MEMS器件將具備更強的環境感知、數據分析和自主決策能力，例如能夠預測故障、優化性能。 生物MEMS與醫療應用： 生物MEMS（Bio-MEMS）將是未來醫療健康領域的重要發展方嚮，例如用於精準藥物輸送、微創手術機器人、早期疾病診斷等。 柔性與可穿戴MEMS： 柔性基材和印刷電子技術的進步，將催生齣可穿戴的、柔性的MEMS器件，為健康監測、人機交互等領域帶來革命性的變化。 新能源與可持續發展： MEMS技術在能源收集（如能量收集器）、能源管理以及環境監測方麵也將發揮越來越重要的作用。 MEMS技術的發展，不僅是一場技術的革新，更是一場關於創新和無限可能的探索。它正在不斷突破人類對微觀世界的認知邊界，為構建一個更加智能、便捷、健康、高效的未來社會奠定堅實的基礎。理解MEMS材料與工藝，就是掌握瞭開啓未來之門的關鍵鑰匙。

評分☆☆☆☆☆

作為一名MEMS領域的資深研究者，我一直在關注該領域的前沿進展。讀到這本《MEMS材料與工藝手冊》，我首先被其內容的係統性和前瞻性所吸引。格迪斯教授和林斌教授在這本書中，不僅梳理瞭MEMS材料和工藝的經典知識，還積極地融入瞭近年來的一些新興技術和研究熱點。例如，書中關於新型壓電材料、熱電材料在MEMS中的應用，以及柔性MEMS、生物MEMS等前沿方嚮的材料選擇和工藝特點，都進行瞭深入的探討。這對於我指導研究生進行創新性研究非常有幫助。書中對各種先進加工技術，如聚焦離子束、原子層沉積、納米壓印等，在MEMS領域的應用前景和挑戰的分析，也為我們未來的研究方嚮提供瞭重要的參考。此外，書中對材料-工藝-器件性能之間相互關係的精闢論述，也為我們從更深層次理解MEMS器件的設計與優化提供瞭理論支撐。這本書不僅僅是一本手冊，更像是一份MEMS領域的“思想地圖”，它幫助我理清思路，拓展視野，為進一步深入研究打下瞭堅實的基礎。

評分☆☆☆☆☆

我是一名MEMS設備製造商的工藝工程師，工作瞭幾年，積纍瞭一些經驗，但總覺得對MEMS材料和工藝的理解還不夠係統和深入。《MEMS材料與工藝手冊》這本書的齣現，恰好能填補我在這方麵的知識鴻溝。我一直認為，MEMS器件的性能很大程度上取決於所使用的材料及其加工工藝的精確控製。這本書從材料的本徵屬性齣發，詳細介紹瞭各種材料的物理、化學、電學、力學性能，以及這些性能在MEMS器件中的錶現。比如，書中關於熱膨脹係數、介電常數、壓阻係數等關鍵參數的講解，以及它們對傳感器、執行器等不同類型MEMS器件的影響，都寫得非常透徹。而且，書中對主流的MEMS加工技術，如LIGA、深矽刻蝕、薄膜沉積、鍵閤技術等，都進行瞭深入的剖析，包括其原理、優缺點、適用範圍以及工藝參數的控製要點。特彆是書中提到的一些關鍵的工藝步驟，例如錶麵處理、界麵控製等，都給我帶來瞭很多啓發，讓我能夠更好地優化我們現有的生産流程，提高産品的一緻性和可靠性。

評分☆☆☆☆☆

最近在學習MEMS傳感器設計，正好聽朋友推薦瞭這本《MEMS材料與工藝手冊》。拿到書後，我發現它比我想象的還要更專業、更深入。作為一名非MEMS材料齣身的博士生，我之前的知識儲備主要集中在理論模型和算法層麵，對於具體的材料選擇和加工工藝瞭解得比較少。這本書正好彌補瞭我的這一短闆。它以一種非常係統化的方式，將MEMS領域涉及的各種材料，從金屬、陶瓷、半導體到聚閤物，都進行瞭詳細的分類和介紹。書中不僅列舉瞭各種材料的宏觀性能，還深入到微觀結構和晶體學層麵，解釋瞭這些特性是如何産生的。更讓我驚喜的是，書中對每種材料的加工工藝都進行瞭細緻的分析，包括各種沉積、刻蝕、圖案化技術，以及它們對材料性能的影響。例如，在介紹矽基MEMS時，書中詳細對比瞭濕法刻蝕和乾法刻蝕在不同晶嚮上的選擇性差異，以及這些差異如何影響器件的幾何形狀和性能。這種對工藝細節的關注，對於我理解和仿真MEMS器件的實際行為至關重要。它讓我明白，理論模型需要與實際加工工藝相結閤，纔能設計齣真正可行的MEMS器件。

評分☆☆☆☆☆

這本《MEMS材料與工藝手冊》真是太及時瞭！我是一名MEMS領域的初創公司工程師，之前一直在尋找一本能夠係統梳理MEMS材料選擇以及各種加工工藝的權威參考書。市麵上雖然有一些零散的資料，但要找一本既全麵又深入，還能覆蓋最新技術進展的書卻不容易。格迪斯和林斌教授的這本手冊，從我的角度來看，填補瞭這個巨大的空白。書的篇幅很大，光是目錄就讓人覺得內容詳實。我尤其關注的是書中對不同材料的物理、化學、力學特性的詳細介紹，以及它們在MEMS器件設計中的具體應用考量。比如，在選擇壓阻材料時，書中不僅列齣瞭常用的材料，還分析瞭它們的靈敏度、溫度穩定性、以及加工的難易程度，這對於我們這種需要快速迭代産品的公司來說，簡直是“救命稻草”。而且，書中對各種微納加工技術的闡述，從光刻、蝕刻到鍵閤、封裝，都做到瞭深入淺齣，既有理論深度，又不乏實踐指導。很多工藝參數和注意事項都寫得非常具體，這對於減少我們在實驗中摸索的時間和成本非常有幫助。總的來說，這是一本值得所有MEMS從業者和研究者擁有的寶典，它能極大地提升我們對MEMS材料和工藝的理解和應用水平。

評分☆☆☆☆☆

我是一名MEMS産業的投資人，在評估項目時，對技術可行性和成本效益的考量非常看重。所以，在接觸到《MEMS材料與工藝手冊》這本書時，我立刻感受到瞭它的價值。這本書的作者，格迪斯教授和林斌教授，在MEMS領域有著深厚的學術背景和豐富的實踐經驗，這使得他們撰寫的這本書具有極高的權威性和實用性。書中對MEMS材料的分類和性能分析，提供瞭非常清晰的視角，讓我能夠快速地理解不同材料的優缺點及其適用範圍。例如，在評估一個專注於生物傳感器的項目時，我可以通過書中關於生物相容性材料的介紹，來判斷其潛在的風險和優勢。同時，書中對各種加工工藝的詳細闡述，也讓我對項目生産成本和良品率有瞭更直觀的認識。書中對於不同工藝路綫的對比分析，以及對工藝優化和控製的建議，都非常具有參考價值。這本手冊不僅僅是一本技術書籍，更像是一本MEMS産業的“市場指南”和“技術羅盤”，它幫助我更準確地把握行業的發展趨勢和技術壁壘，從而做齣更明智的投資決策。