微米加工与纳米制造

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[美] Mark J. Jackson 著,张月霞 等 译
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  • 材料加工
  • 制造工程
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出版社: 机械工业出版社
ISBN:9787111514824
版次:1
商品编码:11826168
品牌:机工出版
包装:平装
丛书名: 国际机械工程先进技术译丛
开本:16开
出版时间:2015-12-01
用纸:胶版纸
页数:375

具体描述

内容简介

  《微米加工与纳米制造》是微米/纳米加工技术方面的一本优秀著作,既有一定的理论深度,又有足够的广度,而且还有较高的可读性。它较为系统地梳理了微米加工(特别是非硅基加工)技术以及纳米加工手段,结合微流体、微惯性器件、纳米传感器等方面的典型案例,阐释了这些技术的原理和特点,提出了特定问题的高效率解决方案,给出了工艺设计方面的指南,并对这些技术的发展走向做出了高屋建瓴的判断。

作者简介

  Mark J Jackson哲学博士,现任美国Purdue大学机械工程专业副教授。他在工程学方面的研究始于1983年,那时他进行了针对O.N.C.Part I考试的学习,而且修完了机械工程专业的头一年的学徒训练课程。在以优异的成绩获得国家普通学位并赢得I.C.I.的奖项后,他在英国Liverpool Polytechnic学院攻读机械与制造工程学位,而且在此期间他先后为I.C.I Pharmaceuticals、Unilever Industries和Anglo Blackwells等公司短期工作。在Jack Schofield教授的指导下,他以“优等”的成绩获得工程硕士学位,随后又在Liverpool获得了材料工程领域的哲学博士学位,专攻玻璃黏结磨削材料的微观结构—特性关系,导师是Benjamin Mills教授。
  他随后被Unicorn Abrasives公司(Saint—Gobain Abrasives集团)的中心研发实验室录用,担任材料技师,后来又升任技术经理,负责在欧洲的产品开发和新业务的拓展,而且作为与大学间的联络官,负责与磨削工艺开发相关的项目管理。后来,Jackson博士成为英国剑桥大学Cavendish实验室的研究员,与John Field教授,一起对金刚石的冲击断裂和摩擦学开展研究,并于1998年成为Liverpool大学的工程学方面的讲师。
  在Liverpool大学,Jackson博士开展了运用机械刀具、激光光束和磨粒进行微机械加工的研究。在Liverpool,他争取到一系列研究项目资助,凭借所开发具有革新性的工艺流程,他于2001年11月与他人一道被英国工程与物理科学研究委员会委任为一所“创新制造技术中心”的管理者。2002年,他成为美国田纳西科技大学(系美国Oak Ridge国家实验室的联系大学)的制造研究中心和电力研究中心的机械工程副教授和教授团助理以及Oak Ridge国家实验室的教授团助理。Jackson博士同时是美国田纳西科技大学的高校方程式大赛团队的学术指导。
  2004年,他转任美国Purdue大学机械工程技术系的机械工程副教授。Jackson博士在微米尺度金属切削领域的材料特性、微/纳米磨削机械加工和激光微机械加工等研究领域十分活跃。他还从事了新一代制造工艺和生物医学工程技术的开发。
  Jackson博士已经主持、共同主持和管理了如下组织、机构资助的项目:英国工程和物理科学研究委员会,英国伦敦皇家学会,英国皇家工程院,欧盟、英国国防部(伦敦),英国原子武器研究所,美国国家自然科学基金会,美国NASA,美国能源部(通过美国Oak Ridge 国家实验室),位于田纳西州Oak Ridge的Y12国家安全联合体,以及多家产业公司。获得研究经费总额超过1千万美元。Jackson 博士组织了多次会议,目前担任国际表面工程大会的主席。他撰写和共同撰写了超过150篇出版物,发表于各存档学报和同行评审的会议论文集中,他还担任一系列同行评审学报的客座编辑。他还是近新成立的International Journal of Nanomanufacturing的总编。

目录

译者序
译者简介
译丛序
原书序
原书主编简介
撰稿人
第1章微米和纳米加工
1.1前言
1.2微米加工
1.3纳米加工
1.3.1基于软刻印的纳米加工
1.3.2采用操纵技术的纳米加工
1.3.3采用碳纳米材料的纳米加工
1.4结论
参考文献
第2章采用X射线光刻的微米加工
2.1前言
2.2X射线光刻技术
2.3同步加速器辐射
2.3.1一般特性
2.3.2光谱特性
2.3.3光谱的辉度和亮度
2.4微米加工
2.4.1概述
2.4.2LIGA工艺
2.4.3光刻步骤
2.4.4X射线光刻
2.4.5X射线掩膜
2.4.6掩膜材料
2.4.7单吸收层制造
2.4.8衬底中X射线掩膜的对准
2.4.9大高宽比微光刻技术的掩膜
2.4.10光刻胶衬底的选择
2.4.11对光刻胶的要求
2.4.12光刻胶涂覆方法
2.4.13曝光
2.4.14台阶状和倾斜型的微结构
2.4.15微主模具制造方法
2.5展望
参考文献
第3章高纵横比微结构的刻蚀、加工和模铸
3.1前言
3.2干法刻蚀
3.3等离子刻蚀加工
3.4离子束辅助自由基刻蚀
3.5等离子体特性
3.5.1鞘区
3.5.2边界区域
3.6微结构的刻蚀
3.6.1刻蚀现象
3.6.2沟槽内的抑制剂的耗尽
3.6.3沟槽内的自由基的耗尽
3.6.4体积输运
3.7刻蚀的中断机制
3.8刻蚀效应
3.8.1倾斜效应
3.8.2弓形化效应
3.8.3瓶状效应(Bottling)
3.8.4TADTOP
3.8.5离子造成的刻蚀延迟效应
3.8.6由于自由基耗尽或反射造成的刻蚀延迟效应
3.8.7微草效应
3.9高深宽比微米结构的微机械加工
3.10微模塑
3.11微模塑加工
3.11.1注塑成型
3.11.2反应注塑成型
3.11.3热压印
3.11.4注塑压缩成型
3.12微模塑工具
3.13微模塑成型的设计
3.14微模塑应用
3.15微模塑的局限性
3.16结论
参考文献
第4章微机械加工中的尺寸效应
4.1前言
4.2机械加工的尺寸效应
4.3剪切角的预测
4.4大应变情况下的塑性行为
4.4.1Langford和Cohen的模型
4.4.2Walker和Shaw的模型
4.4.3Usui的模型
4.4.4硬车削中的锯齿切屑形成
4.4.5金属切屑形成中的类流体流动
4.4.6Kececioglu模型
4.4.7Zhang和Bagchi的模型
4.5大塑性流动机制
4.6不均匀应变
4.7尺寸效应的起源
参考文献
第5章机械微加工
5.1前言
5.2微流体系统
5.3微机械加工理论
5.3.1微铣削技术
5.3.2切屑初始卷曲建模
5.4微机械加工实验
5.4.1微机械加工装置
5.4.2切屑形成过程的观察
5.4.3微机械加工的结果
5.5微机械加工的刀具设计
5.6高速空气涡轮主轴
5.6.1流体流动分析
5.6.2CFD方法中的假设
5.6.3CFD几何学模型
5.6.4流体模型
5.6.5边界条件
5.6.6支配方程
5.6.7求解办法
5.7高速转子的机械设计
5.7.1转子的基本几何结构
5.7.2带圆角曲面的转子
5.7.3带70°叶片尖角的转子
5.7.4带90°叶片尖角的转轴
5.7.5带有12个叶片的转子
5.7.6带斜入口的外壳
5.7.7带有三个入口和三个出口的外壳
5.7.8双级转子
5.7.9双级转子的流型拓扑
5.7.10双级转子的压力变化
5.7.11转子上有三个倾斜角为45°的入口时的流线拓扑
5.7.12转子上有三个倾斜角为45°的入口时的压力变化
5.7.13所有几何体的压力系数
5.8讨论
5.9结论
5.10未来发展方向
参考文献
第6章精密微纳米磨削
6.1前言
6.2磨削砂轮
6.2.1黏结材料
6.2.2磨料类型
6.2.3磨料粒度
6.2.4分级
6.2.5结构
6.2.6浓度
6.2.7砂轮的设计和选择
6.2.8磨头
6.3常规磨削
6.4精密磨削工艺
6.4.1将加工中心升级至IC芯片制造用坐标磨床
6.4.2找到临界切削深度的新实验方法
6.4.3带在线电解修整(ELID)的精密磨削
6.4.4可减少抛光时间的部分延性模式磨削
6.4.5非球面曲面的生成
6.5超精密磨削
6.5.1各种超精密机床及其发展概况
6.5.2四面体台式机床(Jackson型号)[91]
6.5.3无黏结剂砂轮
6.5.4自由曲面光学器件
6.6结论
参考文献
第7章面向微刀具、NEMS和MEMS应用的金刚石CVD技术
7.1前言
7.2金刚石的属性
7.3历史沿革
7.3.1金刚石合成的早期历史
7.3.2当今的亚稳态金刚石的生长
7.4CVD技术的发展
7.5金刚石CVD工艺的类型
7.5.1等离子体增强CVD
7.5.2射频等离子体增强CVD
7.5.3直流等离子体增强CVD
7.5.4微波等离子体增强CVD
7.5.5热灯丝CVD(HFCVD)
7.5.6CVD工艺的优点
7.5.7CVD工艺的缺点
7.6衬底
7.6.1衬底材料的选择
7.6.2衬底预处理
7.6.3对钼/硅衬底的预处理
7.6.4对硬质合金衬底的预处理
7.7改进的HFCVD工艺
7.7.1热灯丝组件的改进
7.7.2工艺条件
7.8金刚石的成核和生长
7.8.1成核阶段
7.8.2同质外延生长
7.8.3异质外延生长
7.8.4偏压增强型成核(BEN)
7.8.5温度的影响
7.9金刚石在三维衬底上的淀积
7.9.1在金属(钼)丝上的金刚石淀积
7.9.2在WC�睠O(硬质合金)微型钻头上的淀积
7.9.3在碳化钨(WC�睠o)牙钻上的金刚石淀积
7.10性能研究
7.10.1涂有金刚石的微型钻头的性能
7.10.2涂有金刚石的牙钻的性能
7.11结论
参考文献
第8章基于激光的微纳米加工
8.1前言
8.2激光的基本原理
8.2.1单色光束的产生
8.2.2受激发射
8.2.3二极管激光器
8.2.4准分子激光器
8.2.5钛:蓝宝石激光器
8.3光束特性
8.4激光光学
8.4.1光学品质
8.4.2激光—材料的相互作用
8.5激光微米加工
8.5.1纳秒脉冲微米加工
8.5.2保护气体
8.5.3表面熔化的阶段划分
8.5.4纳秒脉冲微米加工的效果
8.5.5皮秒脉冲微米加工
8.5.6飞秒脉冲微米加工
8.6激光纳米加工技术
8.7结论
参考文献
第9章脉冲水滴微机械加工
9.1前言
9.2脉冲液体冲击原理
9.3水滴的冲击作用
9.3.1圆周损伤
9.3.2横向射流
9.4加工阈值的建模
9.4.1加工阈值模型
9.4.2准静态应力强度
9.4.3动态应力强度因子
9.4.4冲击加工的仿真
9.4.5加工阈值曲线
9.5结果比较
9.5.1硅
9.5.2氧化铝
9.5.3氟化镁
9.6材料去除速率
9.7水加工机床设计
9.8空间框架分析
9.8.1有限元模型
9.8.2闭式解模型
9.9四面体结构的振型
9.9.1试验方法
9.9.2试验步骤
9.9.3试验分析
9.10总结
参考文献
第10章金刚石纳米磨削
10.1前言
10.2压电纳米磨削
10.3纳米磨削磨粒的受力分析
10.4以磨粒断裂为主的磨损模型
10.5纳米磨削
10.5.1纳米磨削装置
10.5.2纳米磨削工序
10.5.3应力分析
10.6多孔纳米磨削刀具
10.6.1黏结桥中石英溶解模型
10.6.2纳米磨削砂轮中黏结桥的制备
10.6.3黏结剂体系的X射线衍射分析
10.7难熔型黏结体系的验证及其与石英溶解模型的比较
10.8易熔型黏结体系的验证及其与石英溶解模型的比较
10.9纳米磨削刀具的激光修整
10.10未来发展方向
参数命名表
参考文献
第11章纳米机械加工的原理、方法和实现
11.1前言
11.2纳米机械加工及其应用前景
11.3纳米机械加工的理论基础
11.3.1切削力和切削能量
11.3.2切削温度
11.3.3切屑形成和表面生成
11.3.4最小未变形切屑厚度
11.3.5临界切削刃半径
11.3.6工件材料特性
11.3.7纳米机械加工与常规机械加工的比较
11.4纳米机械加工的实现
11.4.1超精密机床
11.4.2切削刀具
11.4.3纳米测量
11.4.4加工过程变量
11.4.5实用化纳米尺度加工(车削、铣削和磨削)
11.5结论
标号和符号
参考文献
第12章纳米晶态金刚石的淀积途径与应用
12.1前言
12.2纳米晶态金刚石
12.2.1为什么是Nano?
12.2.2淀积途径
12.2.3时间调制式的CVD
12.3应用
12.3.1心脏瓣膜
12.3.2牙钻
12.3.3髋关节假体
12.3.4微流体装置
12.4小结
致谢
参考文献
第13章微纳米技术的商业化问题
13.1前言
13.2商业化问题
13.2.1一般性问题
13.2.2产品—市场的接口
13.3商业化所需的基础设施
13.4供应链网络
13.5产品制造
13.6制造中心
13.7微纳米技术的市场
参考文献
第14章微米纳米制造的未来
14.1前言
14.2微米制造
14.2.1电镀
14.2.2模铸
14.2.3模塑
14.2.4机械加工
14.2.5微米制造未来的发展
14.3纳米制造
14.3.1半导体制造
14.3.2软刻印制造
14.3.3纳米模塑制造
14.3.4纳米压印刻印技术
14.3.5刻印诱导自组装
14.3.6蘸水笔纳米制造
14.4未来的发展
参考文献

前言/序言


《微米加工与纳米制造》是一部聚焦于微观尺度制造技术的著作,旨在为读者提供一个全面而深入的视角,理解如何精确地操控物质,创造出尺寸介于微米和纳米级别的精巧结构与器件。本书并非一本小说,也非一本传记,更与历史事件、哲学思辨或文学艺术无关。它的核心内容围绕着“制造”这一动作本身,但将尺度大幅缩小,进入了人眼难以直接观察的微小世界。 在内容上,《微米加工与纳米制造》主要探讨的是实现这些微小尺寸制造的技术手段、原理以及在不同领域的应用。这其中会详细阐述各种加工方法,例如,光刻技术,这是半导体工业的核心工艺,通过光敏材料和特定波长的光照射,将设计好的电路图形转移到基底上。本书会深入剖析不同类型光刻(如紫外光刻、深紫外光刻、极紫外光刻)的原理、优缺点以及其在制造精细线路中的作用。 除了光刻,书中还会涵盖其他重要的微纳加工技术。例如,电子束光刻(EBL),它利用聚焦电子束来刻画更精细的图形,分辨率远超光学光刻,是研究和制造下一代超大规模集成电路的关键技术。离子束刻蚀(IBE)或聚焦离子束(FIB)技术,则利用高能离子束来精确地去除材料,实现复杂的三维结构加工,甚至进行纳米尺度的材料改性和分析。 化学方法在微纳制造中也扮演着至关重要的角色。湿法刻蚀(wet etching)和干法刻蚀(dry etching)是两种主要的材料去除技术。湿法刻蚀利用化学溶液来选择性地溶解或侵蚀材料,简单易行但控制精度相对较低;干法刻蚀则利用等离子体中的活性粒子与材料发生反应,实现各向异性刻蚀,能够制造出高深宽比的结构,是三维微纳器件制造的重要手段。 此外,本书还会涉及一些新兴的微纳制造技术,如纳米压印(nanoimprint lithography),这是一种成本较低、可大批量生产纳米结构的方法,通过物理模具将图案复制到基底上。原子层沉积(ALD)和分子束外延(MBE)等也可能被提及,它们是制备超薄、原子级精确薄膜的关键技术,对于实现高性能的纳米器件至关重要。 《微米加工与纳米制造》的读者将会了解到这些技术背后的物理和化学原理,例如,光子的能量如何与材料相互作用,等离子体的形成和反应机理,以及材料在不同环境下的化学反应动力学。书中还会探讨如何设计和制造用于这些加工过程的掩模板(mask)或纳米模具,以及如何对加工过程进行精确控制和表征。 在应用层面,本书将展示微米加工与纳米制造技术如何赋能各个高科技领域。半导体产业自然是重中之重,书中会详述这些技术如何用于制造微处理器、存储芯片以及其他集成电路。除此之外,光学领域,例如制造微透镜阵列、光子晶体、衍射光学元件等,也将是讨论的重点。在生物医药领域,微流控芯片(microfluidic chips)的制造,用于疾病诊断、药物筛选和细胞分析,离不开这些微纳加工技术。MEMS(微机电系统)和NEMS(纳米机电系统)的开发,如微型传感器、执行器、加速计、陀螺仪等,也是这些技术的重要应用方向。材料科学领域,通过精确控制材料的形貌和结构,可以实现新型功能材料的设计和制备,例如用于催化、能源储存或先进光学器件的纳米材料。 总而言之,《微米加工与纳米制造》是一部严谨的科技专著,它深入浅出地介绍了微米和纳米尺度下物质的制造与操控技术。它关注的是“如何做”以及“为什么能做”,通过阐述背后的科学原理和工程实践,为读者描绘了一个精密制造的微观世界,以及这个世界如何支撑起现代科技的蓬勃发展。本书的内容完全集中在这些特定的技术领域,不涉及任何小说情节、人物传记、历史叙事、哲学讨论或文学评价。

用户评价

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阅读这本书的过程中,我仿佛置身于一个奇妙的微观世界,感受着工程师们如何用巧手和智慧,在微小的尺度上雕刻出精密的器件。书中对材料的选用、加工的精度、以及最终的性能表现,都进行了详细的分析。我特别关注了书中关于“表面工程”和“纳米涂层”的内容,这些技术在提升材料的耐磨性、抗腐蚀性以及生物相容性方面,都有着至关重要的作用。我甚至联想到了一些日常用品,比如高性能的运动装备,或者防污易洁的家居用品,背后可能都蕴含着这些先进的微纳制造技术。这本书让我对“科技改变生活”有了更深刻的理解。

评分

这本书最让我印象深刻的地方在于,它不仅仅是罗列技术名称和原理,更重要的是它穿插了大量的应用案例。我一直对那些微小的、肉眼看不见的传感器和电子元件如何影响我们的生活感到好奇,而这本书恰恰满足了我的求知欲。例如,书中提到利用纳米制造技术制造的高灵敏度生物传感器,可以早期诊断疾病;又比如,通过微米加工技术制造的微流控芯片,在药物筛选和化学分析方面有着革命性的应用。这些例子让我深刻体会到,科学技术的发展,尤其是微观世界的探索,并非是空中楼阁,而是实实在在地改变着我们的世界,提升着我们的生活质量。我尤其被那些关于“智能材料”和“自组装”的章节所吸引,它们展现了未来制造的可能性,让我对科技的未来充满了期待。

评分

对于那些对物理学和化学有着一定基础的读者来说,这本书的内容将更具吸引力。书中在讲解微纳制造技术时,会深入到原子、分子的层面,解释其背后的物理和化学原理。例如,在介绍化学机械抛光(CMP)时,作者就详细阐述了化学反应和机械研磨的协同作用,以及如何通过调整工艺参数来达到理想的抛光效果。这种深入的原理剖析,让我觉得这本书不仅仅是一本技术介绍,更是一本科学的启蒙读物。同时,书中也对一些新兴的制造方法,比如3D打印在微纳尺度的应用进行了探讨,让我看到了传统制造模式的颠覆性变革。

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我是一名正在学习工程学的学生,在选择学习资料时,我总是希望找到那些既有深度又不失趣味性的书籍。这本书无疑满足了我的要求。书中对于各种微米加工和纳米制造技术的讲解,逻辑清晰,条理分明,即使是初次接触这些概念的学生,也能很快掌握其核心要点。我最喜欢的是书中那些“小贴士”和“思考题”,它们能够帮助我巩固所学知识,并且激发我对相关课题的进一步思考。例如,书中在介绍光刻技术时,就提到了不同波长的光源对分辨率的影响,并引导读者思考如何通过改进光源来突破技术瓶颈。这种互动式的学习方式,让我觉得学习过程充满乐趣。

评分

我是一名对设计领域感兴趣的普通读者,虽然不直接从事技术工作,但对科技的进步一直保持着好奇心。这本书以一种非常易于理解的方式,向我展示了微米加工和纳米制造的神奇之处。它并没有让我感到晦涩难懂,反而激发了我对设计的想象力。我开始思考,如果我们能够以这样的精度来制造物体,那么在服装设计、建筑设计,甚至艺术创作领域,将会带来怎样的革新?书中提到的“仿生学”在微纳制造中的应用,比如模仿荷叶的超疏水表面,让我看到了自然界智慧的启示。这本书让我觉得,科技与艺术并非是两个独立的领域,而是可以相互启发,共同发展的。

评分

这本书的内容之丰富,让我感到非常惊喜。除了各种加工技术和应用案例,书中还对相关领域的最新研究进展进行了梳理和介绍。我尤其关注了书中关于“量子点”和“纳米材料在能源领域的应用”的章节。这些前沿的课题,让我对未来的科技发展方向有了更清晰的认识。作者在引用研究成果时,也给出了详细的参考文献,这对于有兴趣深入研究的读者来说,是非常宝贵的资源。总的来说,这本书是一本内容翔实、条理清晰、充满启发的科技读物,无论是专业人士还是普通爱好者,都能从中获益匪浅。

评分

这本书给我的最大感受是,它让我重新认识了“微小”的力量。我之前总觉得,要做出伟大的成就,必须要有宏大的规模和巨大的投入,但这本书却让我看到,在微米乃至纳米尺度上,通过精密的控制和巧妙的设计,同样能够创造出令人惊叹的奇迹。书中对微纳机器人的介绍,让我脑洞大开,想象着未来医生可以通过纳米机器人进入人体进行精准治疗,或者工程师可以利用微纳机器人进行微观世界的维修。这种对未来科技的描绘,让我对人类的创造力和智慧充满了敬畏。而且,这本书的语言风格也比较活泼,不像一些技术书籍那样枯燥乏味,读起来感觉很轻松。

评分

作为一名对材料科学有着浓厚兴趣的爱好者,我购买这本书的初衷是想了解一些前沿的制造技术,但这本书带给我的惊喜远不止于此。作者在介绍各种加工方法时,不仅仅停留于技术层面,还会追溯其发展历史,介绍相关的科学家和关键的突破性时刻。这种历史性的视角,让我觉得这本书不仅仅是一本技术手册,更是一部微米和纳米制造领域的发展史。我尤其喜欢书中对“摩尔定律”的探讨,以及它如何推动着半导体产业的进步。同时,作者也对当前技术面临的挑战和未来发展方向进行了展望,比如对绿色制造、可持续发展的思考,这让我觉得这本书的内容非常“接地气”,而且富有前瞻性。

评分

我是一位在电子行业工作的工程师,日常工作会接触到一些半导体制造的环节,但对于整个微米加工和纳米制造的产业链条,始终觉得有些模糊。这本书恰好填补了我的知识盲区。它不仅详细介绍了各种制造设备和工艺流程,还对不同工艺之间的协同作用进行了深入的阐述。例如,书中在讨论芯片制造时,就将光刻、刻蚀、薄膜沉积等多个工艺环节有机地结合起来进行讲解,让我能更全面地理解一个复杂产品的诞生过程。我尤其喜欢书中关于“良率”和“成本控制”的讨论,这对于实际的工业生产具有重要的参考价值。

评分

这本书的封面设计就非常吸引人,那种深邃的蓝色背景,配合上精准的线条和闪烁的微粒,立刻就让人联想到微观世界的奇妙。我刚拿到这本书的时候,就被它的纸质和印刷质量所打动,拿在手里沉甸甸的,翻阅起来也很顺滑,没有廉价感。我本来对“微米加工”和“纳米制造”这两个词汇总有一种高高在上的感觉,觉得那是属于实验室里顶尖科学家才接触的领域,但翻开目录,看到里面列举的各种加工技术,比如光刻、电子束曝光、聚焦离子束等等,竟然觉得离我并不遥远。书中对这些技术的原理讲解,虽然专业,但采用了大量的图示和流程图,即便我不是该领域的专家,也能大致理解其工作流程和核心思想。

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