薄膜體聲波諧振器的原理、設計與應用 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2025

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張亞非，陳達 著

圖書標籤:

• 體聲波
• 薄膜體聲波
• 諧振器
• 傳感器
• 微納器件
• MEMS
• 射頻器件
• 聲學
• 材料科學
• 電子工程

齣版社： 上海交通大學齣版社

ISBN：9787313065162

版次：1

商品編碼：10483729

包裝：平裝

開本：16開

齣版時間：2011-01-01

用紙：膠版紙

頁數：174

字數：215000

正文語種：中文

編輯推薦

近年發展起來的薄膜聲波諧振(FBAR)，性能好，效率高，可製成高性能的濾波器、雙工器、振蕩器等集成微波器件的高靈敏傳感器，在新一代通信實驗和超微量生化檢測領域具有廣闊的應用前景。張亞非和陳達閤著的這本《薄膜體聲波諧振器的原理設計與應用》係統地闡述瞭FBAR的基本原理、設計方法、關鍵技術及對材料體係的要求，有著較高的學術和應用價值。全書共有9章，對FBAR的重要技術進？瞭總結概括與深入分析。
本書適閤諧振器研究開發人員以及高校相關專業師生閱讀使用。

內容簡介

隨著薄膜與微納製造技術的發展，電子器件正嚮微型化、高密集復用、高頻率和低功耗的方嚮迅速發展。近年來發展起來的薄膜體聲波諧振器（FBAR）的工作頻率比傳統聲錶麵波（SAW）器件、石英晶體諧振器和陶瓷介質器件都要高（可達1-10GHz），又具有體積小、Q值更高、損耗低、功率承載性好、換能效率高等優點。可以製成高性能濾波器、雙工器、振蕩器等多種射頻集成微波器件和高靈敏傳感器等，在新一代無綫通信係統和超微量生化檢測領域具有廣闊的應用前景。張亞非和陳達閤著的這本《薄膜體聲波諧振器的原理設計與應用》係統地闡述瞭FBAR的基本原理、設計方法、關鍵技術及其材料體係的要求，並對FBAR的重要應用技術進行瞭總結概括與深入分析。《薄膜體聲波諧振器的原理設計與應用》可供從事諧振器理論和器件研究開發的專業技術人員閱讀，也可供高等院校電子信息、通信係統、傳感器檢測、微電子學、微機電係統（MEMS）、自動化等領域的科技人員和相關專業師生閱讀參考。

目錄

第1章 緒論
1.1 無綫通信係統的發展對射頻器件的要求
1.2 薄膜體聲波諧振器的原理和特點
1.3 薄膜體聲波諧振器的結構和材料
1.3.1 薄膜體聲波諧振器的結構
1.3.2 薄膜體聲波諧振器的材料
1.4 薄膜體聲波諧振器的研究進展
參考文獻
第2章 固體中的平麵波
2.1 固體中平麵聲波方程
2.1.1 彈性形變的基本方程
2.1.2 彈性體中的平麵聲波方程
2.2 各嚮同性介質中的平麵聲波
2.3 各嚮異性介質中的平麵聲波
2.3.1 色散關係和倒速度麵
2.3.2 波方程求解舉例
2.4 壓電介質中的平麵聲波
2.5 六方晶係介質中?聲平麵波
參考文獻
第3章 薄膜體聲波諧振器的理論模型
3.1 理想薄膜體聲波諧振器的電學阻抗
3.1.1 理想諧振器阻抗的解析錶達
3.1.2 薄膜體聲波諧振器的諧振頻率
3.2 復閤結構薄膜體聲波諧振器的電學阻抗
3.2.1 聲阻抗的定義
3.2.2 復閤模型的邊界條件
3.3 薄膜體聲波諧振器的損耗和性能參數
3.4 薄膜體聲波諧振器的機電等效模型
3.4.1 各層材料的等效模型
3.4.2 普適機電等效模型
3.4.3 諧振點附近的近似等效電路
3.5 諧振器材料和結構對性能的影響
3.5.1 電極材料和厚度的影響
3.5.2 支撐層和殘餘背矽層的影響
參考文獻
第4章 壓電薄膜的製備方法
4.1 真空蒸發澱積
4.1.1 真空蒸發澱積特點與蒸發過程
4.1.2 蒸發過程的重要參量
4.1.3 蒸發源的蒸氣發射特性
4.1.4 加熱源的類型
4.1.5 反應蒸發
4.1.6 分子束外延
4.2 濺射沉積
4.2.1 濺射的基本原理
4.2.2 濺射産額
4.2.3 反應濺射
4.2.4 射?濺射
4.2.5 磁控濺射
4.3 化學氣相澱積
4.3.1 化學氣相澱積的特點
4.3.2 化學氣相澱積的基本過程和化學反應
4.3.3 金屬有機氣相化學澱積
4.3.4 CVD的裝置
4.4 脈衝激光沉積技術
4.4.1 脈衝激光沉積的原理和特點
4.4.2 激光光源
4.4.3 沉積係統
參考文獻
第5章 AlN薄膜的濺射沉積和刻蝕
5.1 射頻磁控濺射製備AlN薄膜
5.1.1 AlN薄膜的製備工藝
5.1.2 射頻功率對薄膜結構的影響
5.1.3 氣氛壓強和比例對薄膜晶體結構的影響
5.1.4 襯底溫度對薄膜晶體結構的影響
5.1.5 AlN薄膜的微觀形貌和成分
5.1.6 AlN薄膜的生長機製
5.1.7 濺射AlN薄膜的應力
5.2 在不同電極上沉積的A1N薄膜的結構特性
5.3 氟基氣體對AlN薄膜的反應離子刻蝕
5.3.1 AlN薄膜的乾法刻蝕方法
5.3.2 刻蝕速率
5.3.3 刻蝕圖形形貌
5.3.4 氟基氣體對AlN薄膜的刻蝕機理分析
5.4 AlN薄膜的濕法刻蝕
5.4.1 實驗過程
5.4.2 薄膜織構和晶體?量對濕法刻蝕速率的影響
5.4.3 刻蝕反應的激活能
5.4.4 刻蝕圖形形貌
參考文獻
第6章 橫膈膜型薄膜體聲波諧振器
6.1 橫膈膜型諧振器的結構和測試方法
6.1.1 橫膈膜型諧振器的結構
6.1.2 測試器件的電極形狀和測試方法
6.2 橫膈膜型諧振器的製作過程
6.3 PZT壓電薄膜的製備和性質
6.3.1 溶膠凝膠法製備PZT
6.3.2 PZT薄膜的結構和性質
6.4 橫膈膜型諧振器的工藝過程
6.4.1 光刻工藝
6.4.2 PZT膜的刻蝕
6.4.3 二氧化矽的刻蝕
6.4.4 矽的刻蝕
6.5 PZT橫膈膜型諧振器的性能測試
6.5.1 諧振器的測試結果
6.5.2 器件性能分析
參考文獻
第7章 固體裝配型體聲波諧振器
7.1 固體裝配型諧振器的設計
7.1.1 固體裝配型諧振器的結構
7.1.2 固體裝配型諧振器的理論模型
7.1.3 固體裝配型諧振器頻率響應的模擬
7.2 AlN固體裝配型諧振器的製備
7.2.1 布拉格反射層
7.2.2 固體裝配型諧振器的製備工藝
7.2.3 AlN薄膜的結?和形貌
7.2.4 多層薄膜的應力
7.3 固體 裝配型諧振器的性能測試
7.3.1 固體裝配型諧振器的S11參數
7.3.2 固體裝配型諧振器的阻抗特性
7.3.3 固體裝配型諧振器的性能參數
參考文獻
第8章 薄膜體聲波諧振器在射頻濾波器中的應用
8.1 薄膜體聲波濾波器的基本拓撲結構
8.2 梯形拓撲結構的薄膜體聲波濾波器
8.2.1 薄膜體聲波濾波器的工作原理
8.2.2 梯形拓撲薄膜體聲波濾波器的設計
8.2.3 聲學耦閤的薄膜體聲波濾波器
8.3 PCS CDMA接收濾波器的設計實例
8.4 基於FBAR的雙工器與振蕩器
8.4.1 基於薄膜體聲波諧振器的雙工器
8.4.2 基於薄膜體聲波諧振器的振蕩器
8.4.3 FBAR的片上集成
參考文獻
第9章 基於薄膜體聲波諧振器的高靈敏傳感器
9.1 壓電石英晶體微天平傳感器
9.1.1 石英晶體微天平
9.1.2 壓電晶體的傳感原理
9.1.3 壓電晶體諧振傳感器的測量方法
9.2 壓電晶體傳感器的敏感材料
9.2.1 吸附敏感材料的要求與作用機理
9.2.2 敏感材?的塗覆方法
9.2.3 壓電晶體傳感器的應用
9.3 碳納米管敏感材料
9.3.1 碳納米管的吸附性能
9.3.2 碳納米管作為吸附層的應用
9.4 基於薄膜體聲波諧振器的傳感器
9.4.1 薄膜體聲波諧振器的傳感原理
9.4.2 傳感器的MBVD電路
9.4.3 薄膜體聲波諧振器的物質檢測
9.4.4 基於薄膜體聲波諧振器的其他檢測
9.5 基於碳納米管敏感材料的FBAR傳感器
9.5.1 碳納米管敏感層的形成方法
9.5.2 FBAR傳感器的實例
9.5.3 傳感器頻率的質量敏感性
9.5.4 傳感器對碳納米管層沉積的頻率響應
9.5.5 傳感器對碳納米管層吸附的頻率響應
參考文獻
索引

前言/序言

《聲波的秘密：從基礎到前沿》 這本書將帶您踏上一段探索聲波奇妙世界的旅程。我們將從最基本的聲波概念齣發，逐步深入到更復雜的聲學現象，並揭示其在科學、工程及日常生活中無處不在的應用。 第一部分：聲波的基礎原理 本部分將全麵剖析聲波的本質。您將瞭解到聲音是如何産生的，例如通過振動源（如樂器、說話時的聲帶）擾動介質（空氣、水、固體）而形成的。我們將詳細解釋聲波的幾個關鍵特性： 波的性質： 深入探討聲波作為一種機械波，需要介質傳播的特性。我們將分析其縱波的性質，即介質粒子振動方嚮與波傳播方嚮一緻。 聲速： 解釋聲速為何會隨介質的密度、彈性模量等因素而變化，並提供不同介質下的典型聲速數據。 波長、頻率與振幅： 詳細闡述這三個核心參數如何決定聲音的音高、響度以及音色。您將理解高頻對應高音，大振幅對應大音量，而波形復雜性則影響音色。 聲壓與聲強： 介紹衡量聲音強弱的物理量，以及它們與我們感知聲音響度之間的關係。 聲的疊加與乾涉： 學習聲波如何相互疊加，産生增強（相長乾涉）或減弱（相消乾涉）的現象，並瞭解駐波的形成原理，這在樂器發聲等領域至關重要。 衍射與反射： 探索聲波遇到障礙物時的衍射現象，解釋聲音為何能繞過障礙物傳播，以及聲波在光滑錶麵上的反射規律，為聲學設計提供理論基礎。 吸收與透射： 分析聲波在不同材料中的吸收和透射特性，這對建築聲學和隔音材料的設計至關重要。 第二部分：聲波的測量與分析 要理解和應用聲波，精確的測量與分析是不可或缺的。本部分將聚焦於聲波的量化技術： 聲學測量儀器： 介紹各種用於測量聲壓、聲強、頻率等參數的儀器，包括麥剋風（測量聲壓）、聲強計（測量聲強）、頻譜分析儀（分析聲音的頻率成分）等。 分貝（dB）標度： 詳細解釋分貝作為一種對數標度，用於錶示聲音的相對強度和響度，並說明其在聲學測量中的重要性。 頻譜分析： 講解如何通過頻譜分析將復雜的聲音分解為不同頻率成分的組閤，從而揭示聲音的構成和特性，例如識彆語音的基頻和共振峰。 傅裏葉變換： 深入介紹傅裏葉變換在聲學信號分析中的核心作用，它能將時域的聲波信號轉換為頻域的頻譜錶示。 噪聲測量與評價： 討論不同類型的噪聲（如穩態噪聲、衝擊噪聲）的測量方法，以及客觀評價噪聲對人體健康和環境影響的各種指標，如等效聲級、A計權聲級等。 第三部分：聲波的前沿技術與應用 掌握瞭基礎原理和測量方法後，本部分將展示聲波如何在現代科技中發揮關鍵作用，並展望未來的發展方嚮： 超聲波技術： 成像技術： 深入介紹超聲波成像在醫學診斷中的應用，例如産科超聲、心髒超聲等，解釋其利用聲波反射原理構建體內圖像的機理。 無損檢測： 闡述超聲波在工業無損檢測領域的應用，通過檢測材料內部缺陷對聲波傳播的影響來評估材料完整性。 清洗與焊接： 介紹超聲波清洗的原理，利用高頻振動剝離汙垢，以及超聲波焊接在微小部件連接中的應用。 聲學顯微鏡： 探討利用超聲波進行高分辨率成像的技術，用於觀察微觀結構。 次聲波的應用： 地質勘探與監測： 介紹次聲波在監測地震、火山爆發、大氣現象等自然災害中的作用。 遠程探測： 探討次聲波在遠程探測領域的一些潛在應用。 聲學在通信中的應用： 語音識彆與閤成： 介紹聲學模型在語音識彆係統中的核心地位，以及語音閤成技術如何模擬人類發聲。 水下通信： 探討聲波作為水下通信的主要媒介，以及相關的挑戰和技術。 聲學在工程設計中的應用： 建築聲學： 講解如何通過閤理的空間設計、材料選擇和吸音、隔音處理來優化室內聲環境，營造舒適的聽覺體驗，例如音樂廳、會議室的聲學設計。 噪聲控製： 介紹各種主動和被動降噪技術，用於減少交通噪聲、工業噪聲對環境的影響。 生物聲學： 動物的聽覺與發聲： 探索不同動物（如蝙蝠、海豚）如何利用聲波進行導航、捕食和交流，以及它們獨特的聲學能力。 聲學在生物醫學中的應用： 除瞭成像，還將探討聲波在藥物輸送、組織治療等新興醫學領域的潛力。 新型聲學材料與設備： 智能吸音材料： 介紹能夠根據環境變化自動調節吸音特性的新型材料。 聲學超材料： 探討具有前所未有聲學調控能力的結構，例如負摺射率材料，以及它們在聲學隱身、定嚮傳聲等方麵的應用前景。 聲學能量收集： 介紹將聲能轉化為電能的技術，為低功耗設備供電提供新的思路。 結語 《聲波的秘密：從基礎到前沿》旨在為讀者提供一個全麵而深入的聲學知識體係。通過本書，您將不僅理解聲波的物理本質，更能領略到它在現代科技發展中的強大驅動力，並激發您對聲學領域未來探索的無限可能。無論您是學生、研究人員，還是對聲音充滿好奇的愛好者，本書都將為您打開一扇通往聲波奇妙世界的大門。

評分☆☆☆☆☆

我最近對微機械振子和微波器件産生瞭濃厚的興趣，而FBAR技術正是連接這兩者的關鍵。因此，《薄膜體聲波諧振器的原理、設計與應用》這本書的齣現，如同給我點亮瞭一盞明燈。我尤其看重這本書在“原理”部分能否提供一個清晰的、易於理解的解釋。我希望它能從最基礎的物理概念齣發，介紹聲波如何在薄膜結構中産生和傳播，以及壓電效應在其中的作用。書中是否會涉及到一些核心的數學模型，例如描述體聲波在多層介質中傳播的方程，以及如何通過邊界條件來推導齣諧振條件？我希望能夠通過這些原理性的闡述，建立起對FBAR器件工作機製的深刻認識。在“設計”方麵，我期待這本書能夠提供一些實用的指導和案例。我知道，FBAR器件的設計是一個復雜且精密的工程過程，涉及到材料選擇、結構優化、以及工藝控製等多個環節。我希望書中能夠介紹如何根據不同的應用需求，設計齣具有特定性能指標的FBAR器件。例如，如何通過優化反射層的結構來提高器件的Q值和插入損耗？如何通過選擇閤適的壓電材料和電極結構來提高器件的功率處理能力？書中是否會提供一些實際的設計流程和仿真方法，幫助讀者掌握FBAR器件的設計技巧？最後，“應用”部分的內容，也讓我充滿瞭期待。FBAR技術在現代通信、導航、傳感等領域都有著廣泛的應用。我希望書中能夠列舉一些具體的應用案例，並分析FBAR器件在這些應用中所扮演的角色，以及它帶來的技術優勢。

評分☆☆☆☆☆

最近，我迷上瞭一個非常有趣的領域——微聲波諧振器，特彆是那種隻有薄薄一層材料的。在浩瀚的科技文獻中，我偶然翻到瞭這本《薄膜體聲波諧振器的原理、設計與應用》。光是書名就足以勾起我的好奇心，因為它直接點齣瞭我最想深入瞭解的核心。我一直對那些能夠將電信號轉化為聲波，或者反過來，並且體積如此之小的器件感到驚嘆。這種微觀世界的魔力，如何能夠被精確地控製和利用，是我一直以來思考的問題。這本書就像是為我打開瞭一扇通往這個神秘世界的大門。我期待著它能從最基礎的物理原理講起，比如聲波在薄膜材料中的傳播方式，以及材料本身的聲學特性是如何影響諧振頻率和品質因子的。我猜想，書中會詳細介紹體聲波（BAW）和錶麵聲波（SAW）的根本區彆，以及薄膜體聲波（FBAR）為何能在兩者之間找到一個獨特的優勢區間。更重要的是，我希望它能深入解析FBAR的工作機製，例如壓電效應在其中的關鍵作用，以及如何通過精巧的結構設計來優化能量轉換效率和降低損耗。我聽說FBAR器件在射頻通信領域有著廣泛的應用，比如作為濾波器和振蕩器，所以我迫切希望瞭解這些設計的具體實現細節。這不僅僅是理論上的探討，更是將物理原理轉化為實際器件的工程實踐，這其中的挑戰與智慧，是我非常渴望學習的。

評分☆☆☆☆☆

最近，我對微型化和高性能的電子器件産生瞭濃厚的興趣，而FBAR技術無疑是其中的翹楚。《薄膜體聲波諧振器的原理、設計與應用》這本書，恰好滿足瞭我係統學習這一領域的迫切需求。我非常希望書中能在“原理”部分，為我揭示FBAR器件的核心工作機製。我期望它能從宏觀的聲波理論和微觀的材料特性齣發，解釋體聲波如何在薄膜結構中被激發、傳播和反射。書中是否會詳細介紹壓電效應的數學模型，以及它如何與聲波的傳播相結閤，實現電能到聲能的有效轉換？我希望能夠通過這些原理性的闡述，對FBAR器件的性能極限有更深入的理解。在“設計”方麵，我希望這本書能夠提供一些實用的設計指南和經驗。我知道，FBAR器件的設計是一個復雜且精密的工程過程，涉及到材料選擇、結構優化、以及工藝控製等多個環節。我希望書中能夠介紹如何根據不同的應用需求，設計齣具有特定性能指標的FBAR器件。例如，如何通過優化聲學反射層的結構來提高器件的Q值和插入損耗？如何通過選擇閤適的壓電材料和電極結構來提高器件的功率處理能力？書中是否會提供一些實際的設計流程和仿真方法，幫助讀者掌握FBAR器件的設計技巧？最後，“應用”部分的內容，也讓我充滿瞭期待。FBAR器件在射頻前端、傳感器、以及微機電係統中的應用越來越廣泛。我希望書中能夠列舉一些具體的應用案例，並分析FBAR器件在這些應用中所扮演的關鍵角色，以及它所帶來的技術革新。

評分☆☆☆☆☆

對於任何一個對精密電子元器件及其背後物理機製充滿好奇的人來說，《薄膜體聲波諧振器的原理、設計與應用》這本書無疑是一份寶貴的財富。我在閱讀這本書時，尤其被其“原理”部分所吸引。我希望它能從最基本的物理定律齣發，詳細闡述聲波如何在極薄的材料層中以體波的形式傳播，以及壓電材料在其中所扮演的關鍵角色。我希望能理解，為何FBAR器件能夠實現如此高的頻率和如此高的品質因子，它在聲學邊界的反射和多層結構中的乾涉起到瞭怎樣的作用？書中對“設計”部分的探討，更是我關注的重點。我知道，要實現一個高性能的FBAR器件，需要在材料選擇、薄膜沉積、電極製作以及結構優化等多個環節進行精密的控製。我希望書中能夠提供一些關於如何進行器件結構設計的詳細指導，例如聲學反射層的材料選擇和層數設計，壓電薄膜的厚度控製和晶體取嚮，以及電極的幾何形狀和金屬材料的選擇。書中是否會介紹一些實用的設計流程和優化方法，以幫助讀者剋服實際設計中的挑戰？最後，我對“應用”部分的介紹也充滿瞭期待。FBAR技術已經廣泛應用於通信、導航、傳感等領域。我希望書中能夠列舉一些具體的應用實例，並深入分析FBAR器件在這些應用中是如何工作的，以及它如何為現代科技的發展做齣貢獻。

評分☆☆☆☆☆

近期，我沉迷於探索那些能夠將微小物理現象轉化為實際功能的奇妙器件，而薄膜體聲波諧振器（FBAR）無疑是其中最令我著迷的一種。當我看到《薄膜體聲波諧振器的原理、設計與應用》這本書時，我知道我找到瞭我一直在尋找的寶藏。我非常期待這本書能在“原理”章節，深入剖析FBAR器件的物理基礎。我希望它能詳細介紹體聲波在薄膜介質中的傳播模式，以及邊界條件對聲波反射和駐波形成的影響。書中是否會提及一些重要的聲學參數，例如聲傳播速度、聲阻抗以及材料的損耗因子，並且解釋這些參數如何影響FBAR器件的性能？在我看來，理解瞭這些基本原理，纔能更好地進行器件的設計。因此，“設計”部分的內容對我來說至關重要。我希望它能夠提供關於FBAR器件結構布局的詳細指導，例如聲學腔的尺寸、壓電層的厚度、以及反射層的材料選擇和結構設計。書中是否會介紹一些常用的FBAR器件設計工具和仿真軟件，並提供一些實際的設計案例，展示如何通過參數優化來達到特定的性能指標？例如，如何提高插入損耗，減小通帶內的波動，以及增加帶寬？最後，我對“應用”部分的描述也充滿瞭期待。FBAR器件在射頻前端、傳感器、以及微機電係統中的應用越來越廣泛。我希望書中能夠列舉一些具體的應用實例，並分析FBAR器件在該應用中所發揮的關鍵作用，以及它所帶來的技術革新。

評分☆☆☆☆☆

我是一名對微電子器件懷有極大熱情的業餘愛好者，最近的目光鎖定在瞭FBAR技術上。偶然間，我發現瞭《薄膜體聲波諧振器的原理、設計與應用》這本書，它的標題立刻吸引瞭我。我深知，任何前沿技術的背後，都離不開堅實的理論基礎和精妙的設計思路。因此，我寄予厚望於這本書能在“原理”部分，為我揭示FBAR器件的內在運行機製。我希望能學習到關於體聲波在薄膜結構中的傳播特性，以及聲阻抗匹配和聲反射層設計的重要性。我尤其期待書中能夠詳細解釋壓電材料在FBAR器件中如何通過逆壓電效應轉化為聲能，以及如何通過電極的設計來優化電聲轉換效率。在“設計”方麵，我希望能夠瞭解到關於FBAR器件的結構優化和性能提升策略。例如，如何通過調整薄膜的厚度、密度以及界麵的平整度來獲得更高的品質因子（Q值）？如何通過設計不同的反射層結構來抑製雜散模式的産生，提高器件的隔離度？書中是否會涉及一些先進的設計技術，例如利用三維建模和電磁-聲學耦閤仿真來優化器件性能？最後，在“應用”部分，我迫切希望看到FBAR器件在各種實際場景中的案例分析，例如在5G通信中的高頻濾波器，在傳感器中的高靈敏度檢測，或者在MEMS係統中的微型執行器。這本書能否為我提供一個清晰的FBAR技術全景圖，是我的最大期待。

評分☆☆☆☆☆

說實話，在閱讀《薄膜體聲波諧振器的原理、設計與應用》之前，我對薄膜體聲波諧振器的瞭解僅限於一些零散的科普文章。這本書的齣現，如同及時雨，極大地滿足瞭我係統學習這一領域知識的渴望。我尤其看重它“原理”和“設計”這兩個部分。在我看來，一個器件的成功，離不開對其工作原理的深刻理解，以及在設計上的巧妙構思。我希望能在這本書中找到關於FBAR器件基本工作模式的詳盡闡述，比如它如何利用壓電材料在電場作用下産生形變，進而激發體聲波的産生和傳播。同時，我也期待能夠瞭解到不同材料體係（如AlN、ZnO等）在FBAR器件中的性能差異，以及它們的優缺點。在設計方麵，我非常好奇書中會如何介紹FBAR器件的結構構成，例如聲學反射層的設計、壓電薄膜的製備工藝、以及金屬電極的優化等。我知道，這些看似微小的結構調整，往往會直接影響到器件的性能錶現，比如插入損耗、帶寬和功率處理能力。我希望能看到書中給齣一些具體的仿真案例或者設計流程，讓我能夠更直觀地理解如何在實際中進行FBAR器件的設計。此外，這本書的“應用”部分也讓我充滿期待，我希望能瞭解到FBAR器件在手機、基站、雷達等領域的具體應用實例，以及它們在這些應用中扮演的關鍵角色。

評分☆☆☆☆☆

當我開始深入研究微波電子器件時，FBAR技術以其獨特的優勢吸引瞭我的目光。《薄膜體聲波諧振器的原理、設計與應用》這本書，正好是我瞭解這一技術的理想途徑。我非常看重它在“原理”部分能否提供一個紮實的理論基礎。我希望它能夠詳細解釋體聲波在薄膜介質中的傳播特性，以及聲阻抗匹配和聲反射層設計的重要性。書中是否會深入探討壓電效應如何轉化為聲能，以及電極的材料和幾何形狀如何影響電聲轉換效率？我期望能夠通過對這些原理的理解，為後續的設計打下堅實的基礎。在“設計”方麵，我希望這本書能夠提供一些具體的方法和技巧。我知道，FBAR器件的設計是一個涉及材料科學、微納加工和電磁學等多個學科的復雜過程。我希望書中能夠介紹如何根據不同的應用需求，設計齣性能優異的FBAR器件。例如，如何通過調整薄膜的厚度、密度以及界麵質量來獲得更高的品質因子？如何通過設計精巧的反射層結構來抑製雜散模式的産生，提高器件的隔離度？書中是否會涉及一些先進的設計理念和仿真工具，例如三維建模和電磁-聲學耦閤仿真，來幫助讀者優化器件性能？最後，這本書在“應用”方麵的介紹，也讓我充滿瞭好奇。FBAR器件在射頻濾波器、振蕩器、以及傳感器等領域有著廣泛的應用。我希望書中能夠列舉一些具體的應用案例，並分析FBAR器件在這些應用中所發揮的關鍵作用，以及它所帶來的技術革新。

評分☆☆☆☆☆

在探索聲波在微納尺度下的神奇錶現時，《薄膜體聲波諧振器的原理、設計與應用》這本書的齣現，無疑為我指明瞭一個重要的方嚮。作為一名對精密製造和傳感器技術感興趣的讀者，我尤其看重這本書在“原理”和“設計”上能否提供深刻的洞見。我期望書中能夠詳細闡述FBAR器件之所以能夠工作的核心物理機製。這可能包括對壓電效應的數學建模，以及聲波在多層薄膜結構中傳播的波動方程的解。我希望能瞭解到，為何FBAR能夠實現比錶麵聲波（SAW）更高的頻率和更好的溫度穩定性。書中對“設計”部分的闡述，則是我關注的另一個焦點。我希望看到關於如何選擇閤適的壓電材料、如何精確控製薄膜的厚度和均勻性、以及如何設計高效的聲學反射層和電極結構的具體指導。我知道，這些參數的微小變動都可能對器件的性能産生顯著影響。我希望書中能夠提供一些實際的設計經驗和技巧，例如如何通過調整薄膜堆棧的聲阻抗失配來最大化聲波的反射，從而提高器件的Q值。此外，書中關於“應用”的介紹，也讓我充滿瞭好奇。FBAR技術在現代通信、導航和醫療診斷等領域都扮演著越來越重要的角色。我希望能夠瞭解到FBAR器件在這些領域是如何被應用的，以及它們相比於傳統技術有哪些獨特的優勢。例如，在手機射頻前端，FBAR濾波器是如何實現對復雜射頻信號的精確濾波，從而保證通信質量的？

評分☆☆☆☆☆

在我看來，一本優秀的科技書籍，不僅要講述“是什麼”，更要深入剖析“為什麼”以及“如何做”。《薄膜體聲波諧振器的原理、設計與應用》這本書，正是以這樣的視角，為我打開瞭FBAR技術的大門。我尤其看重它在“原理”部分能否提供一個清晰且嚴謹的解釋。我希望它能夠從聲波的物理特性齣發，詳細闡述體聲波在有限厚度的薄膜材料中傳播的獨特性質，以及聲學邊界條件如何影響諧振行為。書中是否會涉及到關於能量損耗的機製，例如聲波的吸收、散射以及在層間的耦閤，並解釋這些因素如何影響器件的品質因子？在“設計”方麵，我期待這本書能夠提供一些實用的方法和工具。我知道，FBAR器件的設計是一個高度工程化的過程，需要綜閤考慮材料、結構、以及工藝等多個方麵。我希望書中能夠介紹如何根據不同的應用需求，設計齣滿足特定性能指標的FBAR器件。例如，如何通過調整多層反射層的厚度和材料組閤，來獲得更高的反射係數和更優的聲學匹配？如何通過優化壓電薄膜的沉積工藝，來提高其壓電常數和降低內應力？書中是否會提供一些具體的仿真案例，演示如何使用先進的仿真軟件來優化器件的性能？最後，“應用”部分的介紹，也讓我充滿瞭期待。FBAR技術在現代通信、導航、傳感等領域都發揮著至關重要的作用。我希望書中能夠列舉一些典型的應用實例，並深入分析FBAR器件在該應用中所扮演的關鍵角色，以及它如何為相關技術的發展帶來突破。

評分☆☆☆☆☆

一般般般般般般般般般般

評分☆☆☆☆☆

喜歡京東網購首選，貨全送貨快

評分☆☆☆☆☆

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評分☆☆☆☆☆

比較專業的書，現在國內做的人還不算多，內容還可以

評分☆☆☆☆☆

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主要講的是AlN的，介紹的比較詳細

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good!!!!!!

評分☆☆☆☆☆

雖然買的時候顯示無貨，可以調貨

評分☆☆☆☆☆

但是下單後還是兩天就到瞭